【技术实现步骤摘要】
本技术涉及x荧光光谱仪，具体涉及一种晶圆放置的快换结构。
技术介绍
1、目前，市面上大多数x荧光光谱仪没有专门用于测试晶圆的工作台。部分试样测试只在仪器现有工作台上测试，没有固定卡位结构，且工作台面会划伤晶圆底面，不便于拿取。部分高端设备仪器配置有真空吸附平台，但对于非量产晶圆试样测试，或者大小不一的晶圆试样测试，需要投入大量成本制造多种真空吸附平台，很显然初期投入成本太高。
2、因此，如何提供一种晶圆放置的快换结构，以解决现有技术所存在的问题，对其应用具有重要意义。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种晶圆放置的快换结构，以解决大量成本制造多种真空吸附平台，很显然初期投入成本太高问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种晶圆放置的快换结构，包括仪器平台、快换平台、晶圆放置台；
4、所述快换平台安装于仪器平台的顶部，所述快换平台的正面开设有避让槽一，所述避让槽一可拆卸连接有防辐射避让块；
5、所述晶圆放置台的底端开设有定位孔，所述定位孔与定位销相适配，所述晶圆放置台的顶端开设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽的内部安装有三个硅胶软垫，所述晶圆放置台的正面开设有避让槽二，所述避让槽二可拆卸连接有晶圆避让块。
6、优选的，所述晶圆放置槽的一侧开设有限位卡口，所述限位卡口的内部安装有限位卡块。
7、优选的，所述避让槽二的一端延伸至晶圆放置槽的内部，所述晶圆避让块包括本体和把手
8、优选的，所述所述避让槽一和避让槽二的形状均为矩形，所述避让槽二位于避让槽一的正上方，所述防辐射避让块的厚度与快换平台相等。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
10、1、本技术将晶圆放置平台等独立开，可根据实际需求定制多种尺寸平台；
11、2、本技术通过快换平台实现了晶圆放置平台的快速切换，简单方便；
12、3、本技术放置平台可以针对设计卡口结构，匹配不同的晶圆定位方式。
13、本技术的效果：可实现多种非量产试样的检测放置需求，且更换简单、操作方便，同时成本较低，易于实现。
14、上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，从而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下以本申请的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
15、根据下文结合附图对本申请具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本申请的上述及其他目的、优点和特征。
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1.一种晶圆放置的快换结构，其特征在于：包括仪器平台(1)、快换平台(2)、晶圆放置台(3)；
2.如权利要求1所述的一种晶圆放置的快换结构，其特征在于：所述晶圆放置槽(37)的一侧开设有限位卡口(34)，所述限位卡口(34)的内部安装有限位卡块(33)。
3.如权利要求2所述的一种晶圆放置的快换结构，其特征在于：所述避让槽二(35)的一端延伸至晶圆放置槽(37)的内部，所述晶圆避让块(31)包括本体和把手，所述本体的厚度与晶圆放置槽(37)底面的厚度相等。
4.如权利要求3所述的一种晶圆放置的快换结构，其特征在于：所述所述避让槽一(22)和避让槽二(35)的形状均为矩形，所述避让槽二(35)位于避让槽一(22)的正上方，所述防辐射避让块(21)的厚度与快换平台(2)相等。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆放置的快换结构，其特征在于：包括仪器平台(1)、快换平台(2)、晶圆放置台(3)；
2.如权利要求1所述的一种晶圆放置的快换结构，其特征在于：所述晶圆放置槽(37)的一侧开设有限位卡口(34)，所述限位卡口(34)的内部安装有限位卡块(33)。
3.如权利要求2所述的一种晶圆放置的快换结构，其特征在于：所述避让槽二(35)...
【专利技术属性】
技术研发人员：马云，
申请(专利权)人：江苏一六仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：
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