钙钛矿X射线面阵探测器的制备方法、X射线面阵探测器技术

本发明专利技术提供了一种钙钛矿X射线面阵探测器的制备方法、X射线面阵探测器。所述方法包括：得到含有功能层的基底；将所述含有功能层的基底固定至热蒸发设备的蒸发腔内的样品台，FABr置于所述蒸发腔内的第一蒸发舟，PbBr<subgt;2</subgt;置于所述蒸发腔内的第二蒸发舟；将所述含有功能层的基底进行加热；将所述第一蒸发舟中的所述FABr粉末熔化及冷却为块状，以防止FABr蒸发过程中发生暴沸；将具有相等摩尔蒸发速率的FABr与PbBr<subgt;2</subgt;沉积在所述含有功能层的基底上，后进行退火，得到FAPbBr<subgt;3</subgt;层；在所述FAPbBr<subgt;3</subgt;层的至少部分表面设置金属电极，得到钙钛矿X射线面阵探测器。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及x射线探测器，尤其涉及一种钙钛矿x射线面阵探测器的制备方法、x射线面阵探测器。

技术介绍

1、传统制备钙钛矿(perovskite)x射线面阵探测器的方法主要涉及两个方面：钙钛矿薄膜的制备和面阵探测器的构建。首先，钙钛矿薄膜的制备方法包括旋涂法、溶剂热法等。旋涂法是最常用的制备方法之一，它通过将钙钛矿前体材料溶液涂布在基底上并旋转，使其形成薄膜。这种方法简单易行，适用于大面积制备，但在薄膜均匀性和晶粒大小控制上存在一定困难。溶剂热法通过在高温下使钙钛矿前体溶解并重新结晶形成薄膜，可以获得较高质量的薄膜，但工艺复杂且繁琐。其次，面阵探测器的构建方法主要包括像素定义、电极制备和封装等步骤。像素定义是通过光刻和蚀刻技术将钙钛矿薄膜分割成一系列小像素，以增加探测器的分辨率。电极制备涉及到阳极和阴极的制备，常用的方法是通过物理气相沉积或磁控溅射在钙钛矿薄膜上沉积金属电极。封装是将制备好的钙钛矿面阵探测器与封装材料结合，以保护器件不受外界环境的干扰。

2、然而，传统制备钙钛矿x射线面阵探测器的方法存在一些缺陷。首先，钙钛矿材料对潮湿环境非常敏感，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种钙钛矿X射线面阵探测器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述加热的温度为50℃～70℃。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述加热的温度为60℃。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述第一蒸发舟中的所述FABr粉末熔化及冷却为块状包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述得到含有功能层的基底包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述得到含有功能层的基底之前，所述方法还包括：

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种钙钛矿x射线面阵探测器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述加热的温度为50℃～70℃。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述加热的温度为60℃。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述第一蒸发舟中的所述fabr粉末熔化及冷却为块状包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述得到含有功能层的基底包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛广达，向伍晨，唐江，徐凌，郑志平，刘志强，
申请(专利权)人：华中科技大学鄂州工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：