【技术实现步骤摘要】
本申请涉及流体输送系统，更特别地涉及用于半导体加工和石油化工工业中的极端流速和/或高温表面安装流体输送系统。
技术介绍
1、流体输送系统用于许多现代工业工艺中，用于调节和操纵流体流动以提供将所需物质受控进入所述工艺中。从业者已经开发了一类完整的流体输送系统，其具有可拆卸地附接至包含流体通道导管的流动基板的流体处理部件。这种流动基板的布置建立了流动顺序，通过该流动顺序，流体处理部件能提供期望的流体调节和控制。这种流动基板和可拆卸式流体处理部件之间的接合部是标准化的，几乎没有变化。这种流体输送系统设计通常被描述为模块化或表面安装系统。表面安装流体输送系统的代表性应用包括用在半导体制造设备中使用的气体面板和用在石化精炼中的采样系统。用于执行制造半导体的工艺步骤的许多类型的制造设备统称为工具。本申请的实施例总体上涉及用于半导体加工的流体输送系统，并具体涉及特别适用于极端流速和/或高温应用中(其中工艺流体将被加热至高于环境温度)的表面安装流体输送系统。本申请的各方面适用于表面安装流体输送系统设计，无论是局部性质还是分布在半导体加工工具周围。>
2、工业上的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种流体基板，包括：
2.根据权利要求1所述的流体基板，其中，所述防旋转特征包含在所述管桩柱塞中。
3.根据权利要求1所述的流体基板，其中，所述防旋转特征包含在所述歧管中。
4.根据权利要求1所述的流体基板，其中，所述管桩柱塞还包括圆形形状和管桩柱塞通孔，并且
【技术特征摘要】
1.一种流体基板，包括：
2.根据权利要求1所述的流体基板，其中，所述防旋转特征包含在所述管桩柱塞中。
3.根据权利要求1所述...
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