【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流动基板的安装结构相关申请的交叉参考本申请要求美国专利法(35U.S.C.)第§119(e)项下的下列申请的优先权:2018年7月17日提交的美国临时申请No.62/699,196、以及2019年2月11日提交的美国临时申请No.62/804,086,它们都全文引入本文作为参考。
本申请涉及用于流体输送系统的安装结构(mountingstructures),更具体地涉及用于半导体加工和石油化学工业中的极限流速和/或高温表面安装流体输送系统。
技术介绍
流体输送系统被用于许多现代工业过程中,以调节和操纵流体流量(fluidflows),从而使所需物质受控式地进入所述过程中。从业者已经开发出了一类完整的流体输送系统,其流体处理部件可拆卸地连接到包含流体通道导管的流动基板(flowsubstrates)上。许多流体输送系统利用一些中间结构将流动基板、歧管(manifold)或流体输送杆安装到支撑表面。在大多数情况下,这些结构专用于具体的流体输送系统设计,不能与其他设计一起使用。这类流动基板的布置建立了流动顺 ...
【技术保护点】
1.一种流动基板安装结构,包括:/n紧固件孔;和/n对准特征,其中所述对准特征包括对准销、对准槽和对准台阶中的至少之一,所述对准销与所述流动基板安装结构可拆卸地耦接。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180717 US 62/699,196;20190211 US 62/804,0861.一种流动基板安装结构,包括:
紧固件孔;和
对准特征,其中所述对准特征包括对准销、对准槽和对准台阶中的至少之一,所述对准销与所述流动基板安装结构可拆卸地耦接。
2.根据权利要求1所述的流动基板安装结构,其中,所述对准销被构造为与基板主体孔可拆卸地耦接。
3.根据权利要求1所述的流动基板安装结构,其中,所述对准槽被构造成与流动基板的对准部件耦接,其中,所述对准部件包括板。
4.根据权利要求1所述的流动基板安装结构,其中,所述对准台阶被构造为与流动基板边缘部的一部分耦接。
5.根据权利要求1所述的流动基板安装结构,其中,所述流动基板安装结构包括铝合金和聚合物中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的流动基板安装结构,其中,所述流动基板安装结构被构造成与任何厚度的流动基板耦接。
7.一种流动基板,包括:
基板主体,其包括部件附接表面,其中所述部件附接表面具有多个导管端口;和
流动基板安装结构,其包括第一孔和第二孔,其中,所述第一孔和所述第二孔各自被构造成接收将所述流动基板安装结构与所述基板主体耦接的紧固件。
8.根据权利要求7所述的流动基板,还包括盖,其中,所述盖被构造为与所述基板主体耦接。
9.根据权利要求7所述的流动基板,其中,所述基板主体还包括基板主体孔,其中所述基板主体孔被构造成接收对准销或定位销。
10.根据权利要求7所述的流动基板,其中,所述盖还包括盖孔,并且所述流动基板安装结构包括安装结构孔。
11.根据权利要求10所述的流动基板,还包括与流动基板孔、流动基板安装结构孔、和盖孔中的一个或多个孔可拆卸地耦接的对准销或定位销。
12.根据权利要求10所述的流动基板,还包括与所述盖孔可拆卸地耦接的对准销。
13.根据权利要求7所述的流动基板,还包括与所述流动基板安装结构耦接的对准框架,其中,所述对准框架被构造为将所述流动基板安装结构与所述流动基板对准,且所述对准框架是与所述流动基板和所述流动基板安装结构分开的部件。
14.根据权利要求7所述的流动基板,所述流动基板安装结构还包括与所述流动基板安装结构成一体的第一对准台阶,并且所述流动基板还包括流动基板边缘,其中所述第一对准台阶被构造为与所述流基板边缘的一部分耦接。
15.根据权利要求7所述的流动基板,所述流动基板安装结构还包括对准槽,并且所述流动基板还包括对准部件,其中,所述对准部件被构造成与所述对准槽可拆卸地耦接。
16.根据权利要求15所述的流动基板,其中,所述对准部件包括板。
17.根据权利要求7所述的流动基板,所述流动基板安装结构还包括通道,其中,所述通道包括流体输送管线。
18.根据权利要求17所述的流动基板,其中,所述流体输送管线与所述多个流体导管端口中的至少两个发生流体连接。
19.一种流动基板安装结构,包括:
夹持部分,其被构造成与第一流动基板的第一表...
【专利技术属性】
技术研发人员:F·雷扎伊,乌金玉,
申请(专利权)人:肯发系统有限公司,
类型:发明
国别省市:新加坡;SG
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