【技术实现步骤摘要】
本技术涉及涂胶显影机，具体为一种涂胶显影机的涂胶喷嘴。
技术介绍
1、涂胶显影机是利用智能程序控制机器自动化操作制备半导体芯片的机械设备，通过机械手取放晶圆，经过机械系统制作芯片工艺流程的传输和加工阶段，对晶圆进行涂胶、烘烤和显影的作用，在涂胶环节，通常采用点胶滴落在芯片上，或者采用喷嘴经过液压喷射到芯片上，芯片再经过高速旋转进行均匀涂覆过程。
2、目前，涂胶机上的涂胶喷嘴在对胶液进行存储时，胶液容易粘附在涂胶喷嘴内部内壁，当时间较长时，其内壁上的胶液容易凝固和结块，长期如此，容易导致涂胶机喷嘴堵塞。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，具备可对其喷嘴内壁附着的胶液进行加热清理等优点，解决了胶液容易粘附在涂胶喷嘴内部内壁，当时间较长时，其内壁上的胶液容易凝固和结块，长期如此，容易导致涂胶机喷嘴堵塞的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，包括涂胶喷嘴，所述涂胶喷嘴的下端连通有胶头，所述涂胶喷嘴的上端开设有通孔，所述通孔的内侧活动连接有转动座，所述转动座的外侧固定连接有刮板，所述涂胶喷嘴的内侧壁固定连接有电加热板，所述转动座的内侧活动连接有连接头。
3、进一步，所述涂胶喷嘴内侧的顶壁开设有转槽，所述转槽的示意图为圆环状。
4、进一步，述通孔的位于涂胶喷嘴的中间位置，所述通孔的直径小于转槽的直径。
5、进一步，所述转动座侧面剖视图为“凸”状，所述转动
6、进一步，所述转动座的上端固定连接有滚珠，所述滚珠在转槽的内侧转动。
7、进一步，所述连接头的外侧固定连接有限位座，所述限位座位于活动槽的内侧。
8、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
9、该涂胶显影机的涂胶喷嘴，通过设置了电加热板，通过电连接座的电连接，使其电加热板进行加热处理，使其涂胶喷嘴内侧壁凝固的胶液受热融化，旋转转动座，在滚珠与转槽的配合下，转动座带动刮板进行旋转，使其刮板对其涂胶喷嘴的内侧壁进行清理，从而避免了涂胶喷嘴的胶头发生堵塞。
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1.一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，包括涂胶喷嘴(1)，其特征在于：所述涂胶喷嘴(1)的下端连通有胶头(2)，所述涂胶喷嘴(1)的上端开设有通孔(3)，所述通孔(3)的内侧活动连接有转动座(4)，所述转动座(4)的外侧固定连接有刮板(5)，所述涂胶喷嘴(1)的内侧壁固定连接有电加热板(6)，所述转动座(4)的内侧活动连接有连接头(7)。
2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述涂胶喷嘴(1)内侧的顶壁开设有转槽(101)，所述转槽(101)的示意图为圆环状。
3.根据权利要求2所述的一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述通孔(3)的位于涂胶喷嘴(1)的中间位置，所述通孔(3)的直径小于转槽(101)的直径。
4.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述转动座(4)侧面剖视图为“凸”状，所述转动座(4)的外侧开设有防滑槽(401)，所述转动座(4)的表面开设有穿孔，所述穿孔的内侧壁开设有活动槽(402)。
5.根据权利要求2所述的一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述转动座(4)的上端
6.根据权利要求4所述的一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述连接头(7)的外侧固定连接有限位座(701)，所述限位座(701)位于活动槽(402)的内侧。
...【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，包括涂胶喷嘴(1)，其特征在于：所述涂胶喷嘴(1)的下端连通有胶头(2)，所述涂胶喷嘴(1)的上端开设有通孔(3)，所述通孔(3)的内侧活动连接有转动座(4)，所述转动座(4)的外侧固定连接有刮板(5)，所述涂胶喷嘴(1)的内侧壁固定连接有电加热板(6)，所述转动座(4)的内侧活动连接有连接头(7)。
2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述涂胶喷嘴(1)内侧的顶壁开设有转槽(101)，所述转槽(101)的示意图为圆环状。
3.根据权利要求2所述的一种涂胶显影机的涂胶喷嘴，其特征在于：所述通孔(3)的位于涂胶喷嘴(1)的中间位置，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，李昌国，席强，
申请(专利权)人：湖北共铭电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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