【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆及晶舟盒清洁领域，尤其涉及一种晶圆及晶舟盒清洁装置及其清洁方法。
技术介绍
1、在半导体生产中，晶舟盒主要起到放置和输送晶圆的作用，晶舟盒内部有对称的沟槽，尺寸严格统一用于支撑晶圆的两边，通常一个晶舟盒装25片晶圆。晶舟盒一般采用耐温，耐磨，防静电添加的半透明塑料材质，不同颜色的添加剂用于区分半导体生产中的金属制程段。由于半导体的关键尺寸小，图案密集，生产中的颗粒度要求非常严格，晶舟盒必须保证洁净的环境，来连接到不同生产机台的微环境盒反应腔。
2、为了避免晶舟盒污染晶圆，需要对晶舟盒进行清洗。然而，相关技术中，晶舟盒的清洗效果欠佳，且为了保证清洗效果，需要耗费较多的清洗时间，导致清洗效率较低。
技术实现思路
1、本专利技术目的是：提供一种晶圆及晶舟盒清洁装置，以解决现有技术中晶舟盒清洗效率较低的问题。
2、本专利技术的技术方案是：一种晶圆及晶舟盒清洁装置，用于清洁晶舟盒及其内部装载的晶圆，所述晶舟盒具有盒体以及可拆卸的盒盖，盒体内平行设置有多个晶圆；所述晶圆及晶舟盒清洁装置包括基座，用于搭载晶舟盒的搭载组件，为晶舟盒开盖的开盖组件，执行清洁作业的清洁组件，以及对应上述组件设置的上料工位、开盖工位和清洁工位；
3、其中，所述搭载组件与盒体卡接，并携带晶舟盒移动至开盖工位；
4、所述开盖组件邻近搭载组件设置，并对应盒盖设置有开盖器，所述开盖器具有扣合部，所述扣合部于开盖工位与盒盖上预设的被扣合部扣合，并与盒盖一起先后沿远
5、所述清洁组件采用气流对盒体内的腔室进行清洁，所述气流包括离子风。
6、优选的，所述基座的顶部开设有供开盖组件贯穿的开口，且内部中空，形成容纳开盖组件的空间；
7、所述开盖器通过开盖驱动部驱动其带动盒盖运行，所述开盖驱动部包括沿竖直方向固定于基座内部的开盖升降机构，所述开盖升降机构上固定有盒盖分离机构，所述开盖器设置于盒盖分离机构上；
8、所述盒盖在盒盖分离机构的作用下与盒体分离，并在开盖升降机构的带动下收入基座内部。
9、优选的，所述清洁组件具有壳体，所述壳体于清洁工位与盒体配合形成封闭的腔室，为气流的流动提供导向；所述壳体内设置有用于产生清洁用的气流的离子风风力装置，所述离子风风力装置的出风端沿盒体内晶圆的排列方向设置；
10、所述离子风风力装置设置为一对，且之间通过隔板分隔形成独立的工作空间；并且，于特定的时刻，使得其中一个离子风风力装置所处空间为进风通道，另一个离子风风力装置所处空间为出风通道；并且，任意离子风风力装置均可围绕自身轴线旋转，从而更好的清理盒体内的每个角落。
11、优选的，所述清洁组件还设置有晶圆支撑架，所述晶圆支撑架具有对应晶圆数量设置的多个支撑部，所述支撑部于清洁工位中卡接于任意相邻晶圆之间，起到支撑作用的同时使得相邻晶圆之间形成气流通道。
12、优选的，所述晶圆支撑架还包括沿竖直方向垂直固定于隔板靠近盒盖的一侧的支撑架本体；所述支撑部设置为c型结构，两端与支撑架本体固定，中部的上下两端面用于与相邻晶圆之间的相邻面抵接。
13、优选的，所述支撑部采用弹性材料制成。
14、优选的，所述清洁组件还包括设置于壳体顶端的轴流风机，所述轴流风机用于排出壳体内的气流，且其出风口处还设置有尘埃离子检测器，用于检测排除的气流中尘埃粒子浓度。
15、优选的，所述开盖器包括开盖板，所述开盖板上设置有第一连杆，所述第一连杆的两端分别与一对扣合部铰接；
16、还设置有第二连杆，所述第二连杆一端通过倾斜设置的通槽与第一连杆中部滑动配合，另一端与驱动器固定；
17、所述扣合部在驱动器、所述第一连杆和第二连杆的共同作用下围绕被扣合部旋转，进行开盖作业。
18、优选的，所述搭载组件和清洁组件均连接有移动机构，所述移动机构由气缸、导轨和滑块组成；所述移动机构用于带动搭载组件和清洁组件靠近或远离。
19、一种晶圆及晶舟盒清洁方法，该方法采用晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，包括：
20、步骤一、人工将晶舟盒卡接于搭载板上；
21、步骤二、搭载板在移动机构的作用下朝向开盖组件运动，使得开盖组件上的扣合部与盒盖上的被扣合部扣合；
22、步骤三、开盖组件将盒盖与盒体分离后将盒盖收纳入基座内部；
23、步骤四、清洁组件在移动机构的带动下使其外壳与盒体对接，同时离子风风力装置启动，对盒体内的晶圆进行清洁作业。
24、步骤五、所述轴流风机将壳体内的气流同步向外排出，所述尘埃粒子检测器对排出的气流中的尘埃粒子浓度进行检测，当检测值满足预设的标准时，结束清洁作业。
25、与现有技术相比，本专利技术的优点是：
26、(1)本专利技术通过设置搭载组件、开盖组件和清洁组件，实现了晶舟盒的自动化开盖和清洁作业，大幅提高了工作效率。
27、(2)清洁组件中的一对离子风风力装置交替工作，使得污浊的气流能够及时排出，获得更好的清洁效果。
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1.一种晶圆及晶舟盒清洁装置，用于清洁晶舟盒以及其内部装载的晶圆，所述晶舟盒具有盒体以及可拆卸的盒盖，盒体内平行设置有多个晶圆；其特征在于，所述晶圆及晶舟盒清洁装置包括基座，用于搭载晶舟盒的搭载组件，为晶舟盒开盖的开盖组件，执行清洁作业的清洁组件，以及对应上述组件设置的上料工位、开盖工位和清洁工位；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述清洁组件具有壳体，所述壳体于清洁工位与盒体配合形成封闭的腔室，为气流的流动提供导向；所述壳体内设置有用于产生清洁用的气流的离子风风力装置，所述离子风风力装置的出风端沿盒体内晶圆的排列方向设置；
4.根据权利要求3所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述清洁组件还设置有晶圆支撑架，所述晶圆支撑架具有对应晶圆数量设置的多个支撑部，所述支撑部于清洁工位中卡接于任意相邻晶圆之间，起到支撑作用的同时使得相邻晶圆之间形成气流通道。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述晶圆支撑架还包括
6.根据权利要求5所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述支撑部采用弹性材料制成。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述清洁组件还包括设置于壳体顶端的轴流风机，所述轴流风机用于排出壳体内的气流，且其出风口处还设置有尘埃离子检测器，用于检测排除的气流中尘埃粒子浓度。
8.根据权利要求2所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述开盖器包括开盖板，所述开盖板上设置有第一连杆，所述第一连杆的两端分别与一对扣合部铰接；
9.根据权利要求7或8所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述搭载组件和清洁组件均连接有移动机构，所述移动机构由气缸、导轨和滑块组成；所述移动机构用于带动搭载组件和清洁组件靠近或远离。
10.一种晶圆及晶舟盒清洁方法，该方法采用如权利要求9所述的晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆及晶舟盒清洁装置，用于清洁晶舟盒以及其内部装载的晶圆，所述晶舟盒具有盒体以及可拆卸的盒盖，盒体内平行设置有多个晶圆；其特征在于，所述晶圆及晶舟盒清洁装置包括基座，用于搭载晶舟盒的搭载组件，为晶舟盒开盖的开盖组件，执行清洁作业的清洁组件，以及对应上述组件设置的上料工位、开盖工位和清洁工位；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述清洁组件具有壳体，所述壳体于清洁工位与盒体配合形成封闭的腔室，为气流的流动提供导向；所述壳体内设置有用于产生清洁用的气流的离子风风力装置，所述离子风风力装置的出风端沿盒体内晶圆的排列方向设置；
4.根据权利要求3所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述清洁组件还设置有晶圆支撑架，所述晶圆支撑架具有对应晶圆数量设置的多个支撑部，所述支撑部于清洁工位中卡接于任意相邻晶圆之间，起到支撑作用的同时使得相邻晶圆之间形成气流通道。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆及晶舟盒清洁装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李光，黄朝龙，常强强，
申请(专利权)人：马达西奇苏州智能装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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