【技术实现步骤摘要】
本专利技术一种直插式探针性能测试架及其测试方法涉及半导体测试。
技术介绍
1、探针卡是一种测试接口，用于测试裸芯的产品良率。测试过程中，探针卡上的探针与裸芯上的焊盘或凸块直接接触，通过测试机向裸芯写入程序，并读取数据，对裸芯做功能测试，以筛选不良品。
2、探针是确保测试机和裸芯有效连接的关键精密零部件。早期的探针存在以下问题：
3、第一、金属探针在施加力的作用下与待测物体基板表面接触时，力的作用下接触处产生相互的压痕，出现探针的灵敏性降低、电路板形成扎痕的问题；
4、第二、待测定点与探针之间在接触时存在滑动，造成接触不稳定、电阻变化较大的问题，从而导致测试误差变大。
5、针对上述问题，法特迪精密科技（苏州）有限公司的申请号202011227744.9的专利技术专利《一种测试装置及测试方法》给出了解决方案：其包括：测试探针、测试插座、支撑架和测试构件；测试探针设置在测试插座内，待测物体的下端面与安装在测试插座内的测试探针上端相抵靠，测试探针的下端通过测试插座与测试构件电性连接；测试探针包括柱形管、定位环、第一柱端、弹簧、第二柱端、套筒、丝杠螺母、储液管、活塞、漏斗状管、封堵环、导电流体和固定套；这种设计，能够有效保护待测物和测试探针，同时满足测量更准确、更有效的要求，解决了现有的待测裸芯和探针接触损伤、待测物体与探针接触不稳定的问题。
6、但是，探针反复接触裸芯上的焊盘或凸块，容易导致探针前端出现磨损弯折的现象，也容易受到外界环境中的异物污染，从而影响探针卡的测试准确性。
技术实现思路
1、针对现有技术中探针反复接触裸芯上的焊盘或凸块，容易出现磨损弯折的现象，以及受到外界环境中异物的污染，影响探针卡的测试准确性的问题，本专利技术设计了一种直插式探针性能测试架，以获得探针使用过程中的退化数据。
2、本专利技术的目的是这样实现的：
3、一种直插式探针性能测试架，包括：
4、用于固定探针的固定臂，所述固定臂设置有两个，两个所述固定臂分别安装在下插结构的两侧处，所述下插结构的底端处固定设置有旋转结构，所述旋转结构用于带动下插结构旋转使得两侧的探针旋转调换位置，从而实现两个探针交替使用的功能；
5、磨损检测结构，所述磨损检测结构固定设置在固定底座的上表面处，所述磨损检测结构对插入的探针进行检测是否磨损弯折变短；
6、所述污染物处理结构，所述污染物处理结构固定设置在固定底座的上表面处，所述污染物处理结构能够自动旋转并喷洒有机溶剂对探针表面污染物清理。
7、进一步地，所述旋转结构包括固定底座、转动台、弧形滑槽、伺服电机a和定位杆，所述固定底座固定设置在固定底座的上表面处，所述固定底座的上表面处转动连接有转动台，所述固定底座的内部固定安装有伺服电机a，所述伺服电机a的输出轴末端与转动台之间固定连接。
8、进一步地，所述转动台上开设有弧形滑槽，所述固定底座的侧边处固定连接有定位杆，所述定位杆的一端延伸至弧形滑槽处且与弧形滑槽之间滑动配合。
9、进一步地，所述下插结构包括固定立柱、升降座、螺纹杆和伺服电机b，所述固定立柱固定设置在转动台的上表面处，所述固定立柱的内腔中滑动连接有升降座，所述升降座的外表面两侧处均固定连接有固定臂，两个所述固定臂上均固定设置有探针，所述固定立柱的内腔上下壁之间转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿升降座且与升降座之间螺纹配合，所述固定立柱的上表面处固定安装有伺服电机b，所述伺服电机b的输出轴末端与螺纹杆的一端固定连接。
10、进一步地，所述磨损检测结构包括固定套筒、针头插座、按压开关和灯光提示器，所述固定套筒固定设置在固定底座的上表面处，所述固定套筒的内腔中滑动设置有针头插座，所述针头插座的两侧处均嵌合转动设置有滚珠，所述滚珠与固定套筒的内腔侧壁之间接触。
11、进一步地，所述针头插座的底面处固定连接有顶杆，所述针头插座的底面处固定连接有连接弹簧的一端，所述连接弹簧的另一端与固定套筒的内腔底壁之间固定连接，所述固定套筒的内腔底壁位置处固定安装有按压开关，所述灯光提示器固定设置在固定底座的上表面处，所述按压开关与灯光提示器之间电性连接。
12、进一步地，所述污染物处理结构包括矩形固定壳、u形架、转盘、连接筒和储液仓，所述矩形固定壳固定设置在固定底座的上表面处，所述矩形固定壳的侧壁处固定连接有u形架，所述u形架的内侧壁处固定连接有固定珠，所述转盘上开设有环形滑槽，所述固定珠延伸至转盘的环形滑槽内且与转盘之间转动配合，所述转盘的中心位置处开设有开孔，所述转盘的内部设置有内腔，所述转盘的两侧内腔中均滑动设置有海绵柱，所述转盘的内腔侧壁处固定连接有套杆，所述套杆的内腔中滑动连接有连杆，所述连杆的一端与海绵柱之间固定连接，所述连杆的另一端处固定连接有弹簧的一端，所述弹簧的另一端与套杆的内腔壁固定连接。
13、进一步地，所述转盘的弧形壁处固定连接有齿圈，所述u形架的内侧转动连接有旋转杆a，所述旋转杆a上固定连接有齿轮a，所述齿轮a与齿圈之间相互啮合，所述旋转杆a的底端处固定连接有锥形齿轮a，所述矩形固定壳的侧壁处转动连接有旋转杆b，所述旋转杆b的一端处固定连接有锥形齿轮b，所述锥形齿轮b与锥形齿轮a之间相互啮合，所述旋转杆b的另一端处固定连接有齿轮b。
14、进一步地，所述矩形固定壳的内腔中固定连接有固定筒a，所述固定筒a的内腔中滑动连接有活塞a，所述活塞a的上表面处固定连接有推杆a的一端，所述推杆a的另一端贯穿固定筒a的内腔上壁且延伸至壁外，所述推杆a的顶端处固定连接有齿条，所述齿条与齿轮b之间相互啮合，所述矩形固定壳的侧边处固定连接有固定筒b，所述固定筒b的内腔与固定筒a的内腔之间通过管道连通，所述固定筒b的内腔中滑动连接有活塞b，所述活塞b的上表面处固定连接有推杆b的一端，所述推杆b的另一端贯穿固定筒b的内腔上壁且延伸至壁外，所述推杆b的顶端处固定设置有顶板，所述顶板的底面处固定连接有复位弹簧的一端，所述复位弹簧的另一端与矩形固定壳的上表面固定连接。
15、进一步地，所述顶板的侧边处固定连接有磁铁板，所述矩形固定壳的侧壁处固定连接有连接筒，所述连接筒的内腔中滑动连接有移动活塞，所述移动活塞的上表面处固定连接有连接杆的一端，所述连接杆的另一端贯穿连接筒的内腔上壁且延伸至壁外，所述连接杆的顶端处固定连接有金属块，所述连接筒的底侧位置处固定连接有固定管的一端，所述固定管的另一端处固定安装有喷嘴，所述连接筒的底侧位置处固定连接有输入管的一端，所述输入管的另一端延伸至储液仓的内腔中，所述储液仓的内腔中填充有有机溶剂，所述固定管和输入管上均安装设置有单向阀。
16、一种直插式探针测试方法，步骤如下：通过伺服电机a驱动转动台旋转，带动下插结构转动，使左右两侧的探针通过旋转调换位置，从而使其中一侧的探针下本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种直插式探针性能测试架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述旋转结构（2）包括固定底座（8）、转动台（9）、弧形滑槽（10）、伺服电机A（11）和定位杆（12），所述固定底座（8）固定设置在固定底座（1）的上表面处，所述固定底座（8）的上表面处转动连接有转动台（9），所述固定底座（8）的内部固定安装有伺服电机A（11），所述伺服电机A（11）的输出轴末端与转动台（9）之间固定连接；
3.根据权利要求1所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述下插结构（3）包括固定立柱（13）、升降座（14）、螺纹杆（15）和伺服电机B（16），所述固定立柱（13）固定设置在转动台（9）的上表面处，所述固定立柱（13）的内腔中滑动连接有升降座（14），所述升降座（14）的外表面两侧处均固定连接有固定臂（4），两个所述固定臂（4）上均固定设置有探针（5），所述固定立柱（13）的内腔上下壁之间转动连接有螺纹杆（15），所述螺纹杆（15）贯穿升降座（14）且与升降座（14）之间螺纹配合，所述固定立柱（13）的上表面处固
4.根据权利要求1所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述磨损检测结构（6）包括固定套筒（17）、针头插座（18）、按压开关（22）和灯光提示器（23），所述固定套筒（17）固定设置在固定底座（1）的上表面处，所述固定套筒（17）的内腔中滑动设置有针头插座（18），所述针头插座（18）的两侧处均嵌合转动设置有滚珠（19），所述滚珠（19）与固定套筒（17）的内腔侧壁之间接触。
5.根据权利要求4所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述针头插座（18）的底面处固定连接有顶杆（20），所述针头插座（18）的底面处固定连接有连接弹簧（21）的一端，所述连接弹簧（21）的另一端与固定套筒（17）的内腔底壁之间固定连接，所述固定套筒（17）的内腔底壁位置处固定安装有按压开关（22），所述灯光提示器（23）固定设置在固定底座（1）的上表面处，所述按压开关（22）与灯光提示器（23）之间电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述污染物处理结构（7）包括矩形固定壳（24）、U形架（25）、转盘（27）、连接筒（50）和储液仓（56），所述矩形固定壳（24）固定设置在固定底座（1）的上表面处，所述矩形固定壳（24）的侧壁处固定连接有U形架（25），所述U形架（25）的内侧壁处固定连接有固定珠（26），所述转盘（27）上开设有环形滑槽（28），所述固定珠（26）延伸至转盘（27）的环形滑槽（28）内且与转盘（27）之间转动配合，所述转盘（27）的中心位置处开设有开孔，所述转盘（27）的内部设置有内腔，所述转盘（27）的两侧内腔中均滑动设置有海绵柱（30），所述转盘（27）的内腔侧壁处固定连接有套杆（31），所述套杆（31）的内腔中滑动连接有连杆（32），所述连杆（32）的一端与海绵柱（30）之间固定连接，所述连杆（32）的另一端处固定连接有弹簧（33）的一端，所述弹簧（33）的另一端与套杆（31）的内腔壁固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述转盘（27）的弧形壁处固定连接有齿圈（29），所述U形架（25）的内侧转动连接有旋转杆A（34），所述旋转杆A（34）上固定连接有齿轮A（35），所述齿轮A（35）与齿圈（29）之间相互啮合，所述旋转杆A（34）的底端处固定连接有锥形齿轮A（36），所述矩形固定壳（24）的侧壁处转动连接有旋转杆B（37），所述旋转杆B（37）的一端处固定连接有锥形齿轮B（38），所述锥形齿轮B（38）与锥形齿轮A（36）之间相互啮合，所述旋转杆B（37）的另一端处固定连接有齿轮B（39）。
8.根据权利要求6所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述矩形固定壳（24）的内腔中固定连接有固定筒A（41），所述固定筒A（41）的内腔中滑动连接有活塞A（42），所述活塞A（42）的上表面处固定连接有推杆A（43）的一端，所述推杆A（43）的另一端贯穿固定筒A（41）的内腔上壁且延伸至壁外，所述推杆A（43）的顶端处固定连接有齿条（40），所述齿条（40）与齿轮B（39）之间相互啮合，所述矩形固定壳（24）的侧边处固定连接有固定筒B（44），所述固定筒B（44）的内腔与固定筒A（41）的内腔之间通过管道连通，所述固定筒B（44）的内腔中滑动连接有活塞B（45），所述活塞B（45）的上表面处固定连接有推杆...
【技术特征摘要】
1.一种直插式探针性能测试架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述旋转结构（2）包括固定底座（8）、转动台（9）、弧形滑槽（10）、伺服电机a（11）和定位杆（12），所述固定底座（8）固定设置在固定底座（1）的上表面处，所述固定底座（8）的上表面处转动连接有转动台（9），所述固定底座（8）的内部固定安装有伺服电机a（11），所述伺服电机a（11）的输出轴末端与转动台（9）之间固定连接；
3.根据权利要求1所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述下插结构（3）包括固定立柱（13）、升降座（14）、螺纹杆（15）和伺服电机b（16），所述固定立柱（13）固定设置在转动台（9）的上表面处，所述固定立柱（13）的内腔中滑动连接有升降座（14），所述升降座（14）的外表面两侧处均固定连接有固定臂（4），两个所述固定臂（4）上均固定设置有探针（5），所述固定立柱（13）的内腔上下壁之间转动连接有螺纹杆（15），所述螺纹杆（15）贯穿升降座（14）且与升降座（14）之间螺纹配合，所述固定立柱（13）的上表面处固定安装有伺服电机b（16），所述伺服电机b（16）的输出轴末端与螺纹杆（15）的一端固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述磨损检测结构（6）包括固定套筒（17）、针头插座（18）、按压开关（22）和灯光提示器（23），所述固定套筒（17）固定设置在固定底座（1）的上表面处，所述固定套筒（17）的内腔中滑动设置有针头插座（18），所述针头插座（18）的两侧处均嵌合转动设置有滚珠（19），所述滚珠（19）与固定套筒（17）的内腔侧壁之间接触。
5.根据权利要求4所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述针头插座（18）的底面处固定连接有顶杆（20），所述针头插座（18）的底面处固定连接有连接弹簧（21）的一端，所述连接弹簧（21）的另一端与固定套筒（17）的内腔底壁之间固定连接，所述固定套筒（17）的内腔底壁位置处固定安装有按压开关（22），所述灯光提示器（23）固定设置在固定底座（1）的上表面处，所述按压开关（22）与灯光提示器（23）之间电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种直插式探针性能测试架，其特征在于，所述污染物处理结构（7）包括矩形固定壳（24）、u形架（25）、转盘（27）、连接筒（50）和储液仓（56），所述矩形固定壳（24）固定设置在固定底座（1）的上表面处，所述矩形固定壳（24）的侧壁处固定连接有u形架（25），所述u形架（25）的内侧壁处固定连接有固定珠（26），所述转盘（27）上开设有环形滑槽（28），所述固定珠（26）延伸至转盘（27）的环形滑槽（28）内且与转盘（27）之间转动配合，所述转盘（27）的中心位置处开设有开孔，所述转盘（27）的内部设置有内腔，所述转盘（27）的两侧内腔中均滑动设置有海绵柱（30），...
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