【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体测试，尤其涉及一种ate漏电流场景下的电流测量方法、装置及测试设备。
技术介绍
1、元器件和电路通常都会存在漏电流，在使用自动测试设备(ate，automatic testequipment)对待测设备测量电流时，由于漏电流的存在，会影响测试设备的测量结果；现有技术中针对漏电流作出了补偿方案能够一定程度上还原测量数据；在测试系统中漏电流非常小并且温度变化不大情况下，基本上可以认为漏电流是线性变化的，现有的补偿方案是针对漏电流非常小的情况，对电流的测量值进行补偿。但是，漏电流不仅与电流大小有关，还与电压、温度有关；当测试系统漏电流比较大时，漏电流呈现的非线性现象严重，现有补偿方案没有考虑温度与电压对漏电流的影响，从而导致测量的数据偏差较大，严重失真。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种ate漏电流场景下的电流测量方法、装置及测试设备，旨在提供一种漏电流的测量以解决现有的测量方法在漏电流较大的情况下无法对漏电流进行有效补偿，导致测量的数据偏差较大，严重失真的问题。
2、为解决上述技术问题，第一方面，本专利技术提供的一种测试设备漏电流场景下的电流测量方法，其包括
3、在所述测试设备对待测设备进行测试的过程中，确定与电流、电压以及温度相关的补偿模型；
4、获取所述待测设备的测量值，所述测量值包括电流测量值、电压测量值以及测试环境的温度测量值；
5、基于所述补偿模型对所述待测设备的测量值进行补偿计算，得到所述待测设备的电
6、第二方面，本专利技术提供的一种ate漏电流场景下的电流测量装置，其包括确定单元，用于确定与电流、电压以及温度相关的补偿模型；
7、获取单元，用于获取所述待测设备的测量值，所述测量值包括电流测量值、电压测量值以及测试环境的温度测量值；
8、计算单元，用于基于所述补偿模型对所述待测设备的测量值进行补偿计算，得到所述待测设备的电流实际值。
9、第三方面，本专利技术提供的一种测试设备，其包括
10、所述主控模块，用于生成数字信号，并传输所述数字信号至所述测量模块；所述测量模块，与所述主控模块连接，用于将所述数字信号转换为模拟信号，并传输至待测设备，以为所述待测设备提供电压或电流；还用于采集所述待测设备的测量值，所述测量值包括电流测量值、电压测量值以及测试环境的温度测量值；
11、所述主控模块，还用于上述的方法，基于所述待测设备的测量值计算所述待测设备的电流实际值。
12、与现有技术相比，本专利技术基于电流、电压以及温度构建补偿模型，并通过该补偿模型对获取到的电流的测量值进行补偿，从而获得电流的实际值；该方法充分考虑到了漏电流较大的情况下，漏电流与电流、电压以及温度之间的关系；基于此补偿方法测量获得的数据精度更高，能够更好的还原数据的实际值。
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1.一种ATE漏电流场景下的电流测量方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定与电流、电压以及温度相关的补偿模型之前，所述方法还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，确定测试场景以及所述测试场景下的补偿参数，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，基于所述测量档位下的漏电流大小确定所述测试场景，包括：
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述测量档位包括第一档位、第二档位、第三档位以及第四档位，所述第一档位的电流测量范围最小，所述第四档位对应所述小漏电流场景。
6.根据权利要求2至5任一项所述的方法，其特征在于，所述补偿模型的公式如下式所示：
7.一种ATE漏电流场景下的电流测量装置，其特征在于，所述装置包括：
8.一种测试设备，其特征在于，所述测试设备包括：主控模块及测量模块；其中，
9.根据权利要求8所述的测试设备，其特征在于，所述测量模块包括：数模转换单元、测量单元、反馈电路；其中，
10.根据权利要求8所
...【技术特征摘要】
1.一种ate漏电流场景下的电流测量方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定与电流、电压以及温度相关的补偿模型之前，所述方法还包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，确定测试场景以及所述测试场景下的补偿参数，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，基于所述测量档位下的漏电流大小确定所述测试场景，包括：
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述测量档位包括第一档位、第二档位、第三档位以及第四档位，所述第一档位的电流测量范围最小，所述第四档位对应所述小漏电流...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘恒甫，许应，成源涛，
申请(专利权)人：深圳市辰卓科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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