【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例涉及数据仿真，尤其涉及一种半导体器件的数值仿真方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、随着微电子技术的发展，半导体工艺水平和器件性能不断提升，tcad（technologycomputer aided design，计算机辅助设计）算法在该过程中发挥着重要作用。tcad算法是建立在半导体物理基础上的数值仿真工具，可以对不同工艺条件进行仿真，取代或部分取代昂贵、费时的工艺实验。
2、为了获得更高的准确性，现有的tcad算法模型加入了量子修正项，方程组由原来的每个格点三个方程变成了五个方程；目前的tcad算法通常采用牛顿迭代算法，在牛顿迭代过程中，给定一个初始自变量值，通过计算雅克比（jacobi）矩阵的逆以及方程残差，可以得到自变量的修正量，反复修正后即可得到最优解；但是由于雅克比（jacobi）矩阵求逆的时间复杂度与方程数目的平方线性相关，加入量子修正项后，算法求解时间增长到原来的近三倍。因此，在算法模型中加入量子修正项的基础上，如何加快算法求解速度，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
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【技术保护点】
1.一种半导体器件的数值仿真方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体器件的数值仿真方法，其特征在于，所述静电泊松方程f1为：
3.根据权利要求2所述的半导体器件的数值仿真方法，其特征在于，根据各网格点当前的自变量参数，采用耦合式Gummel迭代法对物理仿真方程组中的静电泊松方程f1、空穴修正方程f3、电子修正方程f2、空穴连续性方程f5和电子连续性方程f4依次求解，依次得到各网格点更新后的电势、穴的量子修正值、电子的量子修正值、空穴准费米势和电子准费米势，包括：
4.根据权利要求3所述的半导体器件的数值仿真方法，其特
【技术特征摘要】
1.一种半导体器件的数值仿真方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体器件的数值仿真方法，其特征在于，所述静电泊松方程f1为：
3.根据权利要求2所述的半导体器件的数值仿真方法，其特征在于，根据各网格点当前的自变量参数，采用耦合式gummel迭代法对物理仿真方程组中的静电泊松方程f1、空穴修正方程f3、电子修正方程f2、空穴连续性方程f5和电子连续性方程f4依次求解，依次得到各网格点更新后的电势、穴的量子修正值、电子的量子修正值、空穴准费米势和...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏素缦，刘亚雄，
申请(专利权)人：苏州珂晶达电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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