【技术实现步骤摘要】
本申请涉及激光加工领域，尤其是涉及一种激光光斑匀化系统，此外，本申请还涉及一种激光加工设备。
技术介绍
1、激光加工是一种无接触加工，是指根据待加工材料的特征，利用激光束照射到待加工材料上，形成高功率密度的激光光斑，对待加工材料进行如切割、表面处理、焊接、打标和打孔等加工操作的加工方式。激光加工具有不需要工具、加工速度快、表面变形小，可加工材料种类多等优点，在材料加工领域得到了广泛应用。
2、激光光束中的能量通常呈高斯分布，即激光束中部的能量密度较高，边缘部分的能量密度较低，容易导致激光束照射到材料上形成的光斑的边缘部分能量达不到材料的加工阈值，影响激光束的加工效果。为此，通常需要对在激光束进行匀化整形，激光光束整形也迅速成为激光光学以及激光应用中的一个重要的研究方向。整形后的激光束形成的宽带匀化光斑具有激光热作用均匀、加工效率高等优势，不仅在传统的激光热加工如激光淬火、激光熔覆、激光合金化中具有重要应用，而且在硅片退火、led加工中的剥离和结晶、太阳能电池的结晶、干燥和烧结以及有机发光二极管、印刷电路板、聚合物的加工等领域...
【技术保护点】
1.一种激光光斑匀化系统，其特征在于：包括准直单元（1）、透射式带式积分镜（2）和反射式带式积分镜（3）；
2.根据权利要求1所述的激光光斑匀化系统，其特征在于：所述带形透镜（21）为柱面轴垂直于第一方向的凸柱面透镜，所述透射式带式积分镜（2）由多个所述带形透镜（21）拼接形成。
3.根据权利要求2所述的激光光斑匀化系统，其特征在于：所述带形透镜（21）的宽度为2-8mm，所述带形透镜（21）的焦距根据公式d=s*fC/fD确定，式中：d为激光光斑在与第一方向相对应的方向上的宽度，s是带形透镜（21）的宽度，fC是所述反射式带式积分镜（3）的有...
【技术特征摘要】
1.一种激光光斑匀化系统，其特征在于：包括准直单元（1）、透射式带式积分镜（2）和反射式带式积分镜（3）；
2.根据权利要求1所述的激光光斑匀化系统，其特征在于：所述带形透镜（21）为柱面轴垂直于第一方向的凸柱面透镜，所述透射式带式积分镜（2）由多个所述带形透镜（21）拼接形成。
3.根据权利要求2所述的激光光斑匀化系统，其特征在于：所述带形透镜（21）的宽度为2-8mm，所述带形透镜（21）的焦距根据公式d=s*fc/fd确定，式中：d为激光光斑在与第一方向相对应的方向上的宽度，s是带形透镜（21）的宽度，fc是所述反射式带式积分镜（3）的有效焦距，fd是带形透镜（21）的焦距。
4.根据权利要求1所述的激光光斑匀化系统，其特征在于：所述反射式带式积分镜（3）的反射面平行于第一方向的母线为凹入的圆弧，与垂直于第一方向的平面的交线整体呈凹入的抛物线形。
5....
【专利技术属性】
技术研发人员：毛玉林，丁海洋，陶鸣，黄河，蔡国双，齐欢，
申请(专利权)人：南京辉锐光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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