【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，具体为一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器及其制备方法。
技术介绍
1、皮肤作为人体面积最大的“器官”，是与外界沟通的直接桥梁，它能将外界多种刺激转化为生理信号。受人体皮肤的启发，开发者试图模拟皮肤的相关特性设计出能够对压力、应变、湿度、温度等物理量高度敏感的可伸缩传感网络，该网络被形象的称为“电子皮肤”。由于电子皮肤在可穿戴设备、假肢、健康监测、机器人皮肤、远程手术、触摸界面等领域具有潜在且巨大的应用前景，因此其相关研究受到了越来越多的关注。
2、对于电子皮肤而言，实现对压力的高精度测量成为其最基本、最重要的要求之一，比如，柔性高灵敏压力传感器可以准确感知昆虫爬行，叶片掉落等微弱的外界刺激物，也可以贴合于人体皮肤表面以监测静脉脉搏，还可以安置于机器人触手或义肢上保证其对目标物进行操作时动作轻柔力度适宜。
3、迄今为止，基于不同传感机制的“皮肤状”压力传感器已经取得了很大进展，如采用晶体管、压阻、压电、压电容、摩擦电和光学传感技术等。其中，基于压电容效应的压力传感器由于具备作用灵活、功耗低、响应速度快、器件结构简单、制造成本不高、可扩展等固有优势而备受关注。然而，实际使用过程中，由于并联极板的电容变化相对较小，基于该效应的压力传感器往往表现出低灵敏度。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器及其制备方法。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种
3、所述介电层由重叠的pet衬底二和紫外光固化胶二组成，所述pet衬底二靠近电极层二。
4、进一步地，所述石墨烯为单层石墨烯。
5、一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器的制备方法，包括如下步骤：
6、s1、获取单层石墨烯薄膜，将单层石墨烯薄膜转移至弹性胶带上，使其粘附在弹性胶带上；
7、s2、沿长度方向拉伸弹性胶带，胶带宽度始终保持不变，释放弹性胶带后，石墨烯薄膜形成波浪状；
8、s3、将紫外光固化胶滴涂在波浪状的石墨烯上进行固化定形，并且将pet衬底平铺于未固化的紫外光固化胶上，待紫外光固化胶完全固化后将弹性胶带剥离掉形成电极层一，以同样的方法制备电极层二；
9、s4、在平整的pet衬底上旋涂紫外光固化胶，并在紫外光照射下使其固化后以充当介电层；
10、s5、将电极层一、介电层、电极层二从上至下依次重叠设置，使得电极层一中的石墨烯与电极层二中的石墨烯呈90°交错且相对设置，即得柔性电容式压力传感器。
11、进一步地，所述获取单层石墨烯薄膜的方法为：
12、采用化学气相沉积法在在多晶铜箔上生长出单层石墨烯，利用混合蚀刻剂对单层石墨烯的铜箔基底刻蚀完全后，在去离子水中反复洗涤，得到漂浮于去离子水中的单层石墨烯薄膜。
13、进一步地，所述混合蚀刻剂的制备方法为：将盐酸、过氧化氢分散在水中。
14、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过引入结构化的高性能柔性导电材料(石墨烯)替代传统电极，不仅可以通过提高电极粗糙度的方式有效提高电容式压力传感器的灵敏度，而且对于改善传感器的柔性，韧性等方面也有天然的优势。
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1.一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器，其特征在于，包括自上而下设置的电极层一(1)、介电层(2)以及电极层二(3)，所述电极层一(1)由重叠的PET衬底一(101)、紫外光固化胶一(102)和石墨烯(103)组成，所述紫外光固化胶一位于PET衬底一(101)与石墨烯(103)之间，所述石墨烯(103)为波浪形，所述电极层一(1)与电极层二(3)的结构相同，所述电极层一(1)中的石墨烯与电极层二(3)中的石墨烯呈90°交错且相对设置；
2.根据权利要求1所述的一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器，其特征在于，所述石墨烯(103)为单层石墨烯。
3.一种根据权利要求2所述的一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
4.根据权利要求3所述的一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器的制备方法，其特征在于，获取单层石墨烯薄膜的方法为：
5.根据权利要求4所述的一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述混合蚀刻剂的制备方
...【技术特征摘要】
1.一种基于双共形波浪石墨烯电极的柔性电容式压力传感器，其特征在于，包括自上而下设置的电极层一(1)、介电层(2)以及电极层二(3)，所述电极层一(1)由重叠的pet衬底一(101)、紫外光固化胶一(102)和石墨烯(103)组成，所述紫外光固化胶一位于pet衬底一(101)与石墨烯(103)之间，所述石墨烯(103)为波浪形，所述电极层一(1)与电极层二(3)的结构相同，所述电极层一(1)中的石墨烯与电极层二(3)中的石墨烯呈90°交错且相对设置；
2.根据权利要求1所述的一种基于双共形波浪石墨...
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