【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种机器手臂防撞系统及方法，特别是涉及一种用于晶圆制程的机器手臂防撞系统及方法。
技术介绍
1、一般的振动传感器，仅针对振动值大小进行判断，也就是可判断是否超过临界值。但是对于某些本身执行动态操作机台，特别是以机器手臂来说，由于周遭产生振动的因素太多，如马达、手臂扭力等，实际上所造成的振动值都远大于碰撞产生的振动值。因此要将振动传感器运用在手臂侦测领域以感测碰撞，现阶段仍非常有限。
2、对于晶圆自动化制程领域而言，在手臂高速运动的过程中若持续以振动传感器不断进行感测并对其感测值进行异常判断的运算，不仅易因手臂姿态变化多端而有所误判，庞大的运算量亦需耗费庞大的电量。
技术实现思路
1、鉴于上述，本专利技术提供一种机器手臂防撞系统及方法。
2、依据本专利技术一实施例的机器手臂防撞方法，适用于机器手臂，机器手臂的支撑件上设置有一组位移传感器、一组振动传感器及影像捕获装置。机器手臂防撞方法包含：以位移传感器取得多个待评估线位移参数及多个待评估角位移参数；以振动传感器取得多个待评估振动参数；以影像捕获装置取得待评估影像；以处理控制装置利用碰撞预测模型判断待评估影像是否指示碰撞风险；以处理控制装置根据待评估线位移参数、待评估角位移参数及振动模型，判断待评估振动参数是否指示平移状态中的异常振动；以及当碰撞预测模型判断待评估影像指示碰撞风险，或振动模型判断待评估振动参数指示平移状态中的异常振动时，以处理控制装置停止机器手臂运作。。
3、依据本专利技
4、藉由上述结构，本专利技术所揭示的机器手臂防撞系统及方法利用碰撞预测模型以影像辨识的方式判断是否有碰撞风险，并利用振动模型判断是否有平移状态中的异常振动，藉此可以达成两级防护措施，进而将设备损伤降到最低。
5、以上的关于本
技术实现思路
的说明及以下的实施方式的说明系用以示范与解释本专利技术的精神与原理，并且为本专利技术的保护范围提供更进一步的解释。
【技术保护点】
1.一种机器手臂防撞方法，适用于一机器手臂，其特征在于，该机器手臂的一支撑件上设置有一组位移传感器、一组振动传感器及一影像捕获装置，且该机器手臂防撞方法包含：
2.如权利要求1所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，更包含：
3.如权利要求1所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，更包含以该处理控制装置执行：
4.如权利要求3所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，该多个原始参数组中的每一个的该多个原始角位移参数组成多个角位移曲线，且该多个目标时间点分别对应于该多个角位移曲线中的一者的多个转折点。
5.如权利要求3所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，根据该多个原始参数组中对应于该多个学习时间点者，产生并储存该多个学习参数组包含：
6.如权利要求3所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，该振动模型取决于该多个学习参数组中具有该平移类别者各自的该多个学习振动参数。
7.如权利要求2所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，更包含：
8.一种机器手臂防撞系统，其特征在于，包含：
9.如权利要求8所述的机器手臂防撞
10.如权利要求8所述的机器手臂防撞系统，其特征在于，该组振动传感器埋设于该支撑件。
...【技术特征摘要】
1.一种机器手臂防撞方法，适用于一机器手臂，其特征在于，该机器手臂的一支撑件上设置有一组位移传感器、一组振动传感器及一影像捕获装置，且该机器手臂防撞方法包含：
2.如权利要求1所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，更包含：
3.如权利要求1所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，更包含以该处理控制装置执行：
4.如权利要求3所述的机器手臂防撞方法，其特征在于，该多个原始参数组中的每一个的该多个原始角位移参数组成多个角位移曲线，且该多个目标时间点分别对应于该多个角位移曲线中的一者的多个转折点。
5.如权利要求3所述的机器手臂...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾俊皓，余建宏，蔡易廷，
申请(专利权)人：德利森科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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