【技术实现步骤摘要】
本文描述的本专利技术构思的实施例涉及一种用于基板处理设备的无线电力设备和一种用于基板处理设备的无线电力设备的制造方法。更具体地，本专利技术构思的实施例涉及一种用于基板处理设备的无线电力设备和一种用于基板处理设备的为基板制造设施无线供电的无线电力设备的制造方法。
技术介绍
1、无线电力设备使用磁共振方法无线地供应电力，并且广泛用于向半导体生产线的物品设施或半导体制造设施无线地供应电力。
2、传统的无线电力设备以供电的轨道的形式安装，并且由外壳和内壳组成，所述外壳通过流过高频电流在其周围产生磁场，所述内壳产生由安装在半导体制造设施或物品设施上的外壳的磁场磁感应的电流，在所述外壳处形成感应磁场。
3、在这种情况下，外壳由线圈固定部分和紧固元件组成，所述线圈固定部分用于将内部线圈固定到特定位置，所述紧固元件用于紧固线圈固定部分。在这种情况下，紧固元件通常使用铁质或铝质螺钉。铁质或铝质螺钉具有比其他金属相对高的非导磁率，并且涡电流会增加螺钉温度。
4、因此，如果在外壳周围使用金属螺钉，则螺钉受到加热会增加无线电力设备的漂移负载损耗，从而造成降低无线电力设备的电力传输效率的问题。
5、此外，传统的无线电力设备被视为稳定地增加驱动频率以提高无线电力效率。随着驱动频率增加，金属材料的螺钉温度会增加，这造成进一步降低无线电力设备的电力传输效率的问题。
技术实现思路
1、本专利技术构思的实施例提供了一种用于基板处理设备的无线电力设备和一种用于基板处理设备
2、本专利技术构思的技术目的不限于上述目的，并且根据以下描述，其他未提及的技术目的对于本领域技术人员而言将变得显而易见。
3、本专利技术构思提供了一种用于基板处理设备的无线电力设备。所述无线电力设备包括外壳和内壳，所述外壳具有：主电力线，所述主电力线通过接收电力形成感应磁场，和联接部分，所述联接部分将定位在主电力线的外周处以用于固定主电力线的部件中的至少两个部件联接起来，所述内壳定位成与所述外壳间隔开，通过外壳产生的感应磁场产生电动势，并将所产生的电动势供应到基板处理设备，并且其中所述联接部分由一种材料形成，在所述材料处，感应磁场不产生涡电流。
4、在一个实施例中，所述外壳还包括作为部件安装在基板处理设备的外周处的基座，以及与基座紧密接触并提供安装主电力线的区域的轨道部分。
5、在一个实施例中，所述外壳还包括引导部分，所述引导部分与轨道部分紧密接触并围绕主电力线并联接到主电力线，并且联接部分被配置为多个，并且多个联接部分中的每一个联接基座和轨道部分，并且联接轨道部分和引导部分。
6、在一个实施例中，所述外壳还包括定位在基座与轨道部分之间的防漂移体。
7、在一个实施例中，所述防漂移体由铁氧体材料形成。
8、在一个实施例中，联接部分连通并螺纹联接到轨道部分和基座。
9、在一个实施例中，所述外壳还包括辅助联接部分，其联接到联接部分并对基座和轨道部分加压。
10、在一个实施例中，在基座和轨道部分未螺纹联接的状态下，联接部分紧固到辅助联接部分。
11、在一个实施例中，辅助联接部分具有主体部分和突起，在所述主体部分处形成联接孔，所述突起形成为在主体部分的外圆周方向上延伸，并且辅助联接部分的主体部分被插入以与基座连通，基座和轨道部分定位在联接部分与辅助联接部分的突起之间，并且联接部分和辅助联接部分被紧固处理对基座和轨道部分加压的状态。
12、在一个实施例中，联接部分通过粘合来联接基座和轨道部分。
13、在一个实施例中，联接部分由树脂材料形成，所述联接部分在被填充在基座与轨道部分之间时通过粘合来联接基座和轨道部分。
14、在一个实施例中，联接部分通过粘合来联接轨道部分和引导部分。
15、在一个实施例中，联接部分由树脂材料组成，所述树脂材料在被填充在基座与引导部分之间时通过粘合来联接基座和轨道部分。
16、在一个实施例中，联接部分由树脂材料或陶瓷材料形成。
17、在一个实施例中，内壳包括线圈和芯部，线圈缠绕在芯部上。
18、在一个实施例中，芯部包括线圈缠绕区域和外部区域，线圈缠绕在线圈缠绕区域周围，外部区域形成为在与线圈缠绕区域相同的方向上突出，同时从线圈缠绕区域延伸，并且所述外部区域定位成围绕线圈的外部空间。
19、在一个实施例中，线圈部分由铁氧体材料形成。
20、在一个实施例中，基板处理设备由半导体制造设施或半导体传送机器人形成。
21、本专利技术构思提供了一种用于基板处理设备的无线电力设备的制造方法。所述制造方法包括：使用联接部分通过直接紧固或粘合联接而将引导部分联接到轨道部分；通过将基座和轨道部分紧固到联接部分或者通过用粘合来联接基座和轨道部分而联接轨道部分；通过插入主电力线以装配到引导部分中而联接主电力线；以及定位内壳，使得线圈和芯部的缠绕区域定位在主电力线之间。
22、本专利技术构思提供了一种用于基板处理设备的无线电力设备。所述无线电力设备包括外壳和内壳，所述外壳具有：主电力线，所述主电力线通过接收电力形成感应磁场；基座，所述基座安装在基板处理设备的外周处；轨道部分，所述轨道部分与基座紧密接触；引导部分，所述引导部分与轨道部分紧密接触、围绕主电力线并联接到主电力线；防漂移体，所述防漂移体定位在主电力线的外周处、处于基座与轨道部分之间并由铁氧体材料形成；联接部分，所述联接部分联接所述基座、所述轨道部分、所述引导部分以及所述防漂移体中的至少两个部件，并且由树脂材料或陶瓷材料形成；以及辅助联接部分，所述辅助联接部分与联接部分联接并对基座和轨道部分加压，所述内壳具有：线圈，所述线圈通过由外壳产生的感应磁场产生电动势，并将所产生的电动势供应到基板处理设备；线圈缠绕区域，所述线圈缠绕区域由铁氧体材料形成，并且线圈缠绕在所述线圈缠绕区域上；以及外部区域，所述外部区域形成为在与线圈缠绕区域相同的方向上突出，同时从线圈缠绕区域延伸，并且所述外部区域围绕线圈的外部空间定位；并且其中联接部分被配置为多个，并且多个联接部分各自联接基座和轨道部分，并且联接轨道部分和引导部分，防漂移体由铁氧体材料形成，联接部分连通并螺纹联接到轨道部分和基座，在基座和轨道部分未螺纹连接的状态下，联接部分紧固到辅助联接部分，辅助联接部分具有主体部分和突起，在所述主体部分处形成联接孔，所述突起形成为在主体部分的外圆周方向上延伸，辅助联接部分的主体部分被插入以与基座连通，基座和轨道部分定位在联接部分与辅助联接部分的突起之间，联接部分和辅助联接部分被紧固处于对基座和轨道部分加压的状态，联接部分通过粘合来联接基座和轨道部分，联接部分在被填充在基座与轨道部分之间时通过粘合来联接基座和轨道部分，联接部分通过粘合来联接轨道部分和引导部分，在联接部分由树脂材料形成时，联本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于基板处理设备的无线电力设备，包括：
2.根据权利要求1所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述外壳还包括作为部件安装在所述基板处理设备的外周处的基座，以及与所述基座紧密接触并提供安装所述主电力线的区域的轨道部分。
3.根据权利要求2所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述外壳还包括引导部分，所述引导部分与所述轨道部分紧密接触，并且围绕所述主电力线并联接到所述主电力线，并且
4.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述外壳还包括定位在所述基座与所述轨道部分之间的防漂移体。
5.根据权利要求4所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述防漂移体由铁氧体材料形成。
6.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述联接部分连通并螺纹联接到所述轨道部分和所述基座。
7.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述外壳还包括辅助联接部分，所述辅助联接部分联接到所述联接部分并对所述基座和所述轨道部分加压。
8.根据权利要求7所述的用于
9.根据权利要求8所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述辅助联接部分具有主体部分和突起，在所述主体部分处形成联接孔，所述突起形成为在所述主体部分的外圆周方向上延伸，并且
10.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述联接部分通过粘合来联接所述基座和所述轨道部分。
11.根据权利要求10所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述联接部分由树脂材料形成，所述联接部分在被填充在所述基座与所述轨道部分之间时通过粘合来联接所述基座和所述轨道部分。
12.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述联接部分通过粘合来联接所述轨道部分和所述引导部分。
13.根据权利要求12所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述联接部分由树脂材料组成，并且在被填充在所述基座与所述引导部分之间时通过粘合来联接所述基座和所述引导部分。
14.根据权利要求1所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述联接部分由树脂材料或陶瓷材料形成。
15.根据权利要求1所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述内壳包括线圈和芯部，所述线圈缠绕在所述芯部周围。
16.根据权利要求15所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述芯部包括线圈缠绕区域和外部区域，所述线圈缠绕在所述线圈缠绕区域周围，所述外部区域形成为在与所述线圈缠绕区域相同的方向上突出，同时从所述线圈缠绕区域延伸，并且所述外部区域定位成围绕所述线圈的外部空间。
17.根据权利要求15所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述芯部由铁氧体材料形成。
18.根据权利要求1所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述基板处理设备由半导体制造设施或半导体传送机器人形成。
19.一种用于基板处理设备的无线电力设备的制造方法，包括：
20.一种用于基板处理设备的无线电力设备，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于基板处理设备的无线电力设备，包括：
2.根据权利要求1所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述外壳还包括作为部件安装在所述基板处理设备的外周处的基座，以及与所述基座紧密接触并提供安装所述主电力线的区域的轨道部分。
3.根据权利要求2所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述外壳还包括引导部分，所述引导部分与所述轨道部分紧密接触，并且围绕所述主电力线并联接到所述主电力线，并且
4.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述外壳还包括定位在所述基座与所述轨道部分之间的防漂移体。
5.根据权利要求4所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述防漂移体由铁氧体材料形成。
6.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述联接部分连通并螺纹联接到所述轨道部分和所述基座。
7.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述外壳还包括辅助联接部分，所述辅助联接部分联接到所述联接部分并对所述基座和所述轨道部分加压。
8.根据权利要求7所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中在所述基座和所述轨道部分未螺纹联接的状态下，所述联接部分紧固到所述辅助联接部分。
9.根据权利要求8所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述辅助联接部分具有主体部分和突起，在所述主体部分处形成联接孔，所述突起形成为在所述主体部分的外圆周方向上延伸，并且
10.根据权利要求3所述的用于基板处理设备的无线电力设备，其中所述联接部分通过粘合来联接所述基座和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔赞永，韩基元，郑完熙，金教蜂，金喜赞，白斗铉，金相吴，边熙宰，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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