【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅，具体涉及一种多晶硅再生氢固体杂质过滤系统。
技术介绍
1、多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。
2、目前，多晶硅的生产中会产生含有大量氯硅烷（包括sihcl3、sicl4、sih2cl2）的氢气，比如精馏系统中硅烷液罐的吹扫及稳压氢气、尾气回收装置中氢气吸附系统的反吹氢气（含有少量吸附柱中的碳粉）、冷氢化装置中的低压放空氢气（含有少量硅粉）、还原装置中还原炉氢气置换后的放空气（含有硅粉），它们在实现氯硅烷与氢气分离的过程中，其含有的固体杂质容易对管道、设备造成磨损和堵塞，影响生产系统的安全稳定运行，亟需解决。
技术实现思路
1、本技术的目的是开发一种对混合气体中的固定杂质过滤，避免管道、设备造成磨损和堵塞的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统。
2、本技术通过如下的技术方案实现：
3、一种多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，包括：
4、顺次连通的一级换热器、二级换热器、压缩机、三级换热器、四级换热器及五级换热器；
5、第一收集罐，与一级换热器、二级换热器连通；
6、第二收集罐，与三级换热器、四级换热器及五级换热器连通；
7、其中，所述一级换热器上连通有进料主管，
8、可选的，所述一级换热器上连通有循环水上水管及循环水回水管
9、可选的，所述二级换热器上连通有冷冻水上水管及冷冻水回水管
10、可选的，所述压缩机与解析气过滤器之间连通有吸入罐，所述压缩机与三级换热器之间顺次连通有缓冲罐及排出罐。
11、可选的，所述吸入罐、缓冲罐及排出罐均与第一收集罐连通。
12、可选的，所述缓冲罐与排出罐之间连通有回气管，所述回气管上设有气动阀。
13、可选的，所述缓冲罐与排出罐之间连通有冷却器，所述冷却器上连通有冷冻水上水管和冷冻水回水管，所述冷却器与第一收集罐连通。
14、可选的，所述五级换热器上连通有冷媒进管和冷媒出管，所述冷媒进管输送-40℃的r22。
15、可选的，所述四级换热器与五级换热器之间连通有循环管，所述四级换热器上设有氢气管。
16、可选的，所述三级换热器上连通有冷量利用进管和冷量利用出管，所述冷量利用进管与第二收集罐连通。
17、本技术的有益效果是：
18、本技术通过多级换热将氯硅烷逐步冷凝，使氯硅烷与氢气分离，氯硅烷与氢气均得到回收利用，设置的尾气过滤器将硅粉过滤，避免硅粉对系统内的管道、换热器及储罐设备造成损坏或堵塞，设置的解析气过滤器对可能存在的二氧化硅及碳粉进行过滤，避免对压缩机及后续的管道、换热器及储罐设备造成影响。
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1.一种多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述一级换热器上连通有循环水上水管及循环水回水管。
3.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述二级换热器上连通有冷冻水上水管及冷冻水回水管。
4.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述压缩机与解析气过滤器之间连通有吸入罐，所述压缩机与三级换热器之间顺次连通有缓冲罐及排出罐。
5.根据权利要求4所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述吸入罐、缓冲罐及排出罐均与第一收集罐连通。
6.根据权利要求4所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述缓冲罐与排出罐之间连通有回气管，所述回气管上设有气动阀。
7.根据权利要求4所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述缓冲罐与排出罐之间连通有冷却器，所述冷却器上连通有冷冻水上水管和冷冻水回水管，所述冷却器与第一收集罐连通。
8.根据权利要求1所述的多晶硅再生
9.根据权利要求8所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述四级换热器与五级换热器之间连通有循环管，所述四级换热器上设有氢气管。
10.根据权利要求8所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述三级换热器上连通有冷量利用进管和冷量利用出管，所述冷量利用进管与第二收集罐连通。
...【技术特征摘要】
1.一种多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述一级换热器上连通有循环水上水管及循环水回水管。
3.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述二级换热器上连通有冷冻水上水管及冷冻水回水管。
4.根据权利要求1所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述压缩机与解析气过滤器之间连通有吸入罐，所述压缩机与三级换热器之间顺次连通有缓冲罐及排出罐。
5.根据权利要求4所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述吸入罐、缓冲罐及排出罐均与第一收集罐连通。
6.根据权利要求4所述的多晶硅再生氢固体杂质过滤系统，其特征在于，所述缓冲罐与排...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘真，彭中，杨强，江庆云，邓洪汶，李俊朝，杨文学，段春林，肖冬，赵振刚，
申请(专利权)人：云南通威高纯晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：
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