【技术实现步骤摘要】
本申请涉及存储容器的领域，尤其是涉及一种光罩盒。
技术介绍
1、光罩盒是在晶圆制程中，用于存储和移动光罩掩膜的容器，相关技术中，如公开号为cn201030990y的专利中，光罩盒包含一底座2、一壳罩3及数个抵接件4。该底座2可供承托置放一光罩5，该壳罩3用以覆盖结合该底座2以构成一光罩盒结构，各个抵接件4配置于壳罩3的内侧，抵接件4的不同侧边分别独立形成第一弹性片41及第二弹性片42，用于分别抵接光罩5的上表面及侧面，同时底座2设有数个承托件21以及至少一抵靠板24，承托件21会抵接光罩5的下表面，抵靠板24也会与光罩5的侧面抵接，其中不同抵接件4的第二弹性片42会分别抵接光罩5相对的两个侧面，而抵靠板24会抵接光罩5上与第二弹性片42相邻设置的侧面，所以光罩5远离抵靠板24的一侧会作为光罩5进入底座2的位置，故而抵接件4还会延伸形成有导推板45，在壳罩3盖合在底座2上时，导推板45会借助自身的倾斜面来光罩5向靠近抵靠板24的方向移动，待壳罩3与底座2固定好后，光罩5便会与抵靠板24相抵接。
2、针对上述中的相关技术，存在有在壳罩盖合在底座的过程中，导推板不只会产生朝向抵靠板方向的水平推力，也会产生朝向竖直向下的压力，所以在壳罩盖合过程中容易让光罩靠近抵靠板的一端翘起，而使光罩的移动不流畅，从而导致光罩容易发生损坏的缺陷。
技术实现思路
1、为了在壳罩盖合过程中让光罩更流畅地向预定位置移动，而不易让光罩发生损坏，本申请提供一种光罩盒。
2、本申请提供的一种光
3、一种光罩盒，包括：
4、底座，设置有承托件以及入料限位板，所述承托件用于抵接光罩的下表面，所述入料限位板用于抵接光罩垂直于自身入料方向的侧面；
5、壳罩，覆盖设置在所述底座上，所述壳罩的内侧设置有竖向抵接件、水平抵接件以及引导转轮，所述竖向抵接件用于产生向下的限位，所述水平抵接件用于产生垂直于光罩入料方向的水平限位，所述引导转轮位于所述壳罩上远离所述入料限位板的一侧上，所述引导转轮转动设置用于对光罩施加朝向所述入料限位板方向的滚动式推力。
6、通过采用上述技术方案，因引导转轮的设置，则在壳罩盖合过程中，一方面，可以借助引导转轮自身形状的周侧弧面对光罩施加朝向入料限位板方向的推力，另一方面，可以借助引导转轮与光罩之间的相对滚动对光罩施加朝向入料限位板方向的推力，所以光罩能更流畅地向预定位置移动，以使光罩靠近入料限位板的一端更加不易翘起，从而能让光罩更加不易发生损坏。
7、优选的，所述引导转轮还滑动设置在所述壳罩的内侧，用于靠近或远离所述入料限位板；所述壳罩设置有引导调节组件，所述引导调节组件与所述引导转轮相连接。
8、通过采用上述技术方案，光罩放在底座时光罩远离入料限位板的一端是不能超过引导转轮的回转轴线的，故引导转轮能滑动以及引导调节组件的设置，能够改变引导转轮与入料限位板初始状态下的水平距离，所以引导转轮在引导调节组件的作用下，可以对光罩进行更大幅度的位置调整，从而能提升光罩盒对光罩的装载兼容性，进而能让光罩更加不易发生损坏。
9、优选的，所述壳罩的内侧间隔设置有两个安装块，两个所述安装块的间隔处供所述引导转轮设置，所述安装块设置有连接孔，所述连接孔供所述引导转轮的转轴穿设，所述连接孔沿光罩的入料方向延伸设置；两个所述安装块之间还设置有滑杆以及串连杆，所述滑杆的两端分别滑动连接在两个所述安装块上，所述滑杆的运动方向平行于所述连接孔的长度方向，所述滑杆与所述引导调节组件相连接；所述串连杆一端与所述滑杆相连接，另一端转动套设在所述引导转轮的转轴上。
10、通过采用上述技术方案，借助滑杆以及串连杆的设置，既保持了引导转轮的正常转动，也保持了引导转动滑动轨迹的准确性，所以能保持引导转轮对光罩进行位置调整的流畅性。
11、优选的，所述引导调节组件包括工作气管、活塞杆以及复位弹性块，所述工作气管一端连通所述壳罩的外表面，另一端连通所述壳罩的内侧；所述活塞杆一端与所述滑杆固定连接，另一端密封滑动在所述工作气管内，用于通过所述工作气管的气压变化让所述活塞杆缩入或移出所述工作气管；所述复位弹性块设置在所述连接孔中，所述复位弹性块与所述引导转轮的转轴相抵接，用于对所述引导转轮施加朝向所述入料限位板的作用力。
12、通过采用上述技术方案，其一，可以通过外部气泵让工作气管处于负压状态，以使活塞杆缩入工作气管中，此时引导转轮与入料限位板之间的距离会变远，以适配更远初始位置的光罩，同时在引导转轮接触光罩后，让工作气管恢复至常压状态，接着通过复位弹性块让引导转轮向靠近入料限位板的方向运动，以实现对光罩的位置调整；其二，在复位弹性块让引导转轮向靠近入料限位板的方向运动，以对光罩位置进行的调整过程中，若壳罩的盖合速度突然加快，则可以让工作气管处于正压状态来加速活塞杆的移出，以使光罩的移动跟上壳罩的盖合，综上既可以兼容初始状态下光罩的位置不同，也可以兼容壳罩盖合过程中的速度变化，从而能提升光罩盒的综合装载能力。
13、优选的，所述复位弹性块设置有形变孔，多个所述形变孔沿所述连接孔的长度方向分布设置。
14、通过采用上述技术方案，因形变孔的设置，则能够让复位弹性块的弹性形变更加流畅，从而提升引导转轮对光罩位置进行调整的流畅性。
15、优选的，所述承托件包括承托主体块以及承托凸块，所述承托主体块一体成型在所述底座的上表面上，所述承托凸块一体成型在所述承托主体块的上侧，所述承托凸块用于与光罩的下表面抵接。
16、通过采用上述技术方案，因承托凸块的设置，则可以降低承托件与光罩之间的接触面积，所以能让光罩的移动更加流畅。
17、优选的，所述壳罩的内侧设置有两个限位弹片，两个所述限位弹片分别设置在所述引导转轮与所述入料限位板连线的两侧上，所述竖向抵接件以及所述水平抵接件为所述限位弹片端部设置的限位斜面，所述限位斜面用于与光罩的边角相抵接。
18、通过采用上述技术方案，相比于竖向抵接件以及水平抵接件分别有两个构件来实现的方式，此种设计方式，其一，用于对光罩进行限位的元件能更加简洁，所以壳罩与底座所形成的密封腔室能在更小的体积下实现对光罩的装载；其二，限位斜面是设置在限位弹片上，所以可以借助限位弹片对光罩产生可以在预定范围内进行变化的限位作用，从而在光罩盒内实现对光罩的精准定位。
19、优选的，所述承托件还包括有承托保护块，所述承托保护块一体成型在所述承托主体块上；所述限位弹片内凹设置有配合缺口，所述配合缺口供所述承托保护块设置，用于限制所述限位弹片过压光罩。
20、通过采用上述技术方案，则在壳罩过压时，承托保护块可以通过配合缺口让限位弹片上具有限位斜面的一端翘起，所以能防止限位弹片过压光罩，从而能对光罩进行保护。
21、优选的，所述壳罩的壳口处具有密封壁以及辅助壁，所述密封壁与所述底座的周侧相连接；所述辅助壁位于所述密封壁的外本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光罩盒，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述引导转轮(21)还滑动设置在所述壳罩(2)的内侧，用于靠近或远离所述入料限位板(12)；所述壳罩(2)设置有引导调节组件(3)，所述引导调节组件(3)与所述引导转轮(21)相连接。
3.根据权利要求2所述的光罩盒，其特征在于：所述壳罩(2)的内侧间隔设置有两个安装块(4)，两个所述安装块(4)的间隔处供所述引导转轮(21)设置，所述安装块(4)设置有连接孔(41)，所述连接孔(41)供所述引导转轮(21)的转轴穿设，所述连接孔(41)沿光罩的入料方向延伸设置；两个所述安装块(4)之间还设置有滑杆(42)以及串连杆(43)，所述滑杆(42)的两端分别滑动连接在两个所述安装块(4)上，所述滑杆(42)的运动方向平行于所述连接孔(41)的长度方向，所述滑杆(42)与所述引导调节组件(3)相连接；所述串连杆(43)一端与所述滑杆(42)相连接，另一端转动套设在所述引导转轮(21)的转轴上。
4.根据权利要求3所述的光罩盒，其特征在于：所述引导调节组件(3)包括工作气管(
5.根据权利要求4所述的光罩盒，其特征在于：所述复位弹性块(33)设置有形变孔(331)，多个所述形变孔(331)沿所述连接孔(41)的长度方向分布设置。
6.根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述承托件(11)包括承托主体块(111)以及承托凸块(112)，所述承托主体块(111)一体成型在所述底座(1)的上表面上，所述承托凸块(112)一体成型在所述承托主体块(111)的上侧，所述承托凸块(112)用于与光罩的下表面抵接。
7.根据权利要求6所述的光罩盒，其特征在于：所述壳罩(2)的内侧设置有两个限位弹片(5)，两个所述限位弹片(5)分别设置在所述引导转轮(21)与所述入料限位板(12)连线的两侧上，所述竖向抵接件以及所述水平抵接件为所述限位弹片(5)端部设置的限位斜面(51)，所述限位斜面(51)用于与光罩的边角相抵接。
8.根据权利要求7所述的光罩盒，其特征在于：所述承托件(11)还包括有承托保护块(113)，所述承托保护块(113)一体成型在所述承托主体块(111)上；所述限位弹片(5)内凹设置有配合缺口(52)，所述配合缺口(52)供所述承托保护块(113)设置，用于限制所述限位弹片(5)过压光罩。
9.根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述壳罩(2)的壳口处具有密封壁(6)以及辅助壁(7)，所述密封壁(6)与所述底座(1)的周侧相连接；所述辅助壁(7)位于所述密封壁(6)的外侧，所述辅助壁(7)设置有两个卡扣弹片(71)，两个所述卡扣弹片(71)分别位于所述辅助壁(7)相对的两侧上，一个所述卡扣弹片(71)具有两个扣合端部(72)；所述底座(1)的下表面设置有扣合缺口(13)，所述扣合缺口(13)供所述扣合端部(72)嵌入。
10.根据权利要求9所述的光罩盒，其特征在于：所述底座(1)设置有气阀(8)，所述气阀(8)连通所述底座(1)与所述壳罩(2)形成的密封腔室。
...【技术特征摘要】
1.一种光罩盒，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述引导转轮(21)还滑动设置在所述壳罩(2)的内侧，用于靠近或远离所述入料限位板(12)；所述壳罩(2)设置有引导调节组件(3)，所述引导调节组件(3)与所述引导转轮(21)相连接。
3.根据权利要求2所述的光罩盒，其特征在于：所述壳罩(2)的内侧间隔设置有两个安装块(4)，两个所述安装块(4)的间隔处供所述引导转轮(21)设置，所述安装块(4)设置有连接孔(41)，所述连接孔(41)供所述引导转轮(21)的转轴穿设，所述连接孔(41)沿光罩的入料方向延伸设置；两个所述安装块(4)之间还设置有滑杆(42)以及串连杆(43)，所述滑杆(42)的两端分别滑动连接在两个所述安装块(4)上，所述滑杆(42)的运动方向平行于所述连接孔(41)的长度方向，所述滑杆(42)与所述引导调节组件(3)相连接；所述串连杆(43)一端与所述滑杆(42)相连接，另一端转动套设在所述引导转轮(21)的转轴上。
4.根据权利要求3所述的光罩盒，其特征在于：所述引导调节组件(3)包括工作气管(31)、活塞杆(32)以及复位弹性块(33)，所述工作气管(31)一端连通所述壳罩(2)的外表面，另一端连通所述壳罩(2)的内侧；所述活塞杆(32)一端与所述滑杆(42)固定连接，另一端密封滑动在所述工作气管(31)内，用于通过所述工作气管(31)的气压变化让所述活塞杆(32)缩入或移出所述工作气管(31)；所述复位弹性块(33)设置在所述连接孔(41)中，所述复位弹性块(33)与所述引导转轮(21)的转轴相抵接，用于对所述引导转轮(21)施加朝向所述入料限位板(12)的作用力。
5.根据权利要求4所述的光罩盒，其特征在于：所述复位弹性块(33)设置有形变孔(331)，多个...
【专利技术属性】
技术研发人员：左步伟，唐坤成，邓宗晖，梁磊，
申请(专利权)人：深圳海纳新材应用技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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