【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清灰，特别涉及一种单晶炉真空管道真空清灰装置。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉主要包括炉体、电气控制柜、加热器、电源柜、主真空泵、副室真空泵、真空管道、液压系统、氩气系统，以及冷却水系统。在使用时，将预先合成好的多晶原料装在炉体中，并被加热到原料的熔点以上使其熔化，控制温度、炉压、功率，晶升速度、埚升速度、晶转速度、埚转速度等关键控制参数，完成调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾及停炉等一些列工艺过程，进而得到所需直径大小的圆柱状单晶硅棒。在整个过程中原料熔融状态后易产生挥发物，随着单晶炉长时间运行，挥发物易附着在真空管道的管壁以及管口处。现有的真空管道清灰结构如说明书附图10所示，真空管道10上预设有与其相通的清灰管11，清灰管端部的法兰固定有可拆卸的盖板13，当需要清灰时，将盖板拆除，然后外界的刮灰工具通过清灰管伸入到真空管道内进行清灰工作，但此种清灰方式需要将设备停止，从而影响单晶硅棒的正常生产。
【技术保护点】
1.一种单晶炉真空管道真空清灰装置，包括真空管道（10），真空管道（10）上预制有清灰管（11），清灰管（11）端部的连接法兰（12）上设有真空清灰机构（20），其特征在于：所述真空清灰机构（20）包括密封固定在法兰（12）上的主连接板（201），主连接板（201）上套接有中心杆（202），中心杆（202）穿过清灰管（11）伸入到真空管道（10）内的端部固定有刮灰部（30），所述中心杆（202）的另一端穿过柔性波纹管（204）后固定在驱动板（205）上，所述柔性波纹管（204）的两端分别密封固定在主连接板（201）和驱动板（205）上；
2.根据权利要求1...
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉真空管道真空清灰装置，包括真空管道（10），真空管道（10）上预制有清灰管（11），清灰管（11）端部的连接法兰（12）上设有真空清灰机构（20），其特征在于：所述真空清灰机构（20）包括密封固定在法兰（12）上的主连接板（201），主连接板（201）上套接有中心杆（202），中心杆（202）穿过清灰管（11）伸入到真空管道（10）内的端部固定有刮灰部（30），所述中心杆（202）的另一端穿过柔性波纹管（204）后固定在驱动板（205）上，所述柔性波纹管（204）的两端分别密封固定在主连接板（201）和驱动板（205）上；
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述伸缩缸（206）的伸缩杆端部固定有升降板（207），升降板（207）固定在多根推拉杆（208）的上端，推拉杆（208）的中部插套在石墨铜套（209）内，推拉杆（208）的底部与驱动板（205）固定连接；
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述柔性波纹管（204）包括波纹管本体（2041）及分别设置在波纹管本体（2041）两端的上法兰（2042）和下法兰（2043），上法兰（2042）与主连接板（201）之间设有第一密封圈（210）且两者之间固定连接；
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述主连接板（201）上成型有上小下大设置的台阶孔（2011），台阶孔（2...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙明，吴杰，
申请(专利权)人：绍兴赛致捷机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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