【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体，具体涉及一种缺陷检测方法及设备。
技术介绍
1、半导体是电子产品的重要制造材料。通过对半导体进行缺陷检测，可以发现和修复潜在的制造缺陷，确保电子产品的质量符合规定标准。目前常用采图测量的方式对半导体进行缺陷检测。但是在采图测量的过程中，由于半导体表面特征复杂以及采图存在视角限制的原因，通过采集的图像难以准确表征半导体的各个部分，这会导致缺陷检测准确性低的问题。
技术实现思路
1、第一方面，本申请实施例提供了缺陷检测方法，可以提高缺陷检测的准确性，该方法可以包括：
2、获取物体在移动平台上的全局图像；控制移动平台进行移动，移动平台的移动具有多个移动阶段；在多个移动阶段中的每个移动阶段获取物体的检测图像；多个移动阶段中除第一个移动阶段之外的每个移动阶段的移动轨迹是根据全局图像和在上一个移动阶段获取的检测图像确定的；在移动平台的移动结束后，根据获取到的所有检测图像对物体进行缺陷检测。
3、在上述实现过程中，可以基于物体的全局图像和在每一个移动阶段获取的物体的检测图像实时规划移动平台的移动轨迹，使获得的检测图像能够表征物体的各个部分。根据物体位置进行路径规划确定移动平台下一阶段的移动轨迹，确保物体进行稳定的运动，提高获取检测图像的稳定性，继而能够提高缺陷检测的准确性。
4、在一种可能的实现方式中，获取物体在移动平台上的全局图像，可以包括：
5、通过第一拍摄装置获取物体在移动平台上的多个外观图像；对多个外观图像进行图像融合操作
6、在上述实现过程中，通过融合晶圆的位置信息与采集的多个外观图像得到物体的全局图像，可以全面地展现物体的整体特征和外观状态。融合得到的全局图像具有更高的数据一致性，将多个角度、位置的信息整合在一个图像中，可以减少了外观图像间的差异性，有利于后续的数据处理。
7、在一种可能的实现方式中，控制移动平台进行移动，可以包括：
8、将第一个移动阶段作为当前移动阶段；在当前移动阶段控制移动平台按照当前移动阶段的移动轨迹进行移动；在当前移动阶段结束时，根据全局图像和在当前移动阶段获取的检测图像，确定检测图像对应的物体位置；根据物体位置确定下一个移动阶段的移动轨迹，将下一个移动阶段作为当前移动阶段，重新执行在当前移动阶段控制移动平台按照当前移动阶段的移动轨迹进行移动的步骤及后续步骤。
9、在上述实现过程中，通过对全局图像和在一个移动阶段后获取的检测图像进行分析，确定检测图像对应的物体位置，再根据物体位置进行路径规划确定移动平台下一阶段的移动轨迹，可以确保物体进行稳定的运动，可以确保物体的每个检测区域都被覆盖，避免漏检或重复检测，从而提高缺陷检测的效率和准确性。
10、在一种可能的实现方式中，根据物体位置确定下一个移动阶段的移动轨迹，可以包括：
11、获取移动平台的目标位置；根据目标位置和物体位置，确定移动平台的位移量和位移方向；根据位移量和位移方向，确定下一个移动阶段的移动轨迹。
12、在上述实现过程中，通过将目标位置和物体位置作为输入，确定移动平台的位移量和位移方向来控制移动轨迹，可以准确确定需要移动的距离和方向，确保移动平台准确移动到目标位置，并与物体对齐或保持所需的相对位置关系，可以提高获取检测图像的稳定性，继而提高缺陷检测的准确性。
13、在一种可能的实现方式中，根据获取到的所有检测图像对物体进行缺陷检测。可以包括：
14、拼接获取到的所有检测图像，得到拼接图像；对拼接图像进行图像识别，得到图像识别结果；根据图像识别结果，确定物体的缺陷种类、缺陷数量、缺陷物理坐标中的一项或多项。
15、在上述实现过程中，通过拼接多个视角的检测图像，可以获得更详细的物体表面信息。且拼接图像可以覆盖更大的物体表面面积，能够得到更全面的缺陷检测结果，继而能够在一次检测过程中对物体进行全面的缺陷检测，提高了缺陷检测的效率。
16、在一种可能的实现方式中，缺陷检测方法还可以包括：
17、在多个移动阶段中的每个移动阶段获取光照参数，光照参数为表征物体的光照情况的参数；根据光照参数确定曝光时间；根据曝光时间对物体进行曝光。
18、在上述实现过程中，物体在移动平台中不同的移动阶段对应的不同的光照条件下，根据物体的光照情况确定使用长短曝光时间的策略，降低了光照不均匀对缺陷检测结果的影响，可以提高缺陷检测的可靠性。通过使用不同的长短曝光策略，还可以提高图像的对比度，曝光时间较长的图像可以显示出较暗的缺陷，而曝光时间较短的图像可以显示出较亮的缺陷，从而可以增强缺陷检测设备的检测能力。
19、在一种可能的实现方式中，全局图像是通过面阵相机获取的多个外观图像确定的，检测图像是通过线扫相机获取的。
20、第二方面，本申请实施例提供了一种缺陷检测设备，可以包括：
21、第一图像获取装置，用于获取物体在移动平台上的全局图像。
22、移动平台驱动装置，用于控制移动平台进行移动，移动平台的移动具有多个移动阶段。
23、第二图像获取装置，用于在多个移动阶段中的每个移动阶段获取物体的检测图像；多个移动阶段中除第一个移动阶段之外的每个移动阶段的移动轨迹是根据全局图像和在上一个移动阶段获取的检测图像确定的。
24、缺陷检测装置，用于在移动平台的移动结束后，根据获取到的所有检测图像对物体进行缺陷检测。
25、在一种可能的实现方式中，缺陷检测设备还可以包括：
26、光源装置；
27、物料固定装置，设置在移动平台上，用于固定物体；
28、镜头调节装置，分别与第一图像获取装置和第二图像获取装置连接，用于调节第一图像获取装置和第二图像获取装置的镜头位置和镜头焦距。
29、在一种可能的实现方式中，缺陷检测设备还可以包括：
30、检测镜头选择单元，用于控制第一图像获取装置或第二图像获取装置进入工作状态。
31、检测镜头驱动单元，用于控制第一图像获取装置和第二图像获取装置的镜头位置。
32、移动平台驱动单元，用于控制移动平台驱动装置驱动移动平台进行移动。
33、图像纠偏单元，用于确定多个移动阶段中除第一个移动阶段之外的每个移动阶段的移动轨迹。
34、本申请实施例与现有技术相比存在的有益效果是：可以基于物体的全局图像和在每一个移动阶段获取的物体的检测图像实时规划移动平台的移动轨迹，使获得的检测图像能够表征物体的各个部分。根据物体位置进行路径规划确定移动平台下一阶段的移动轨迹，确保物体进行稳定的运动，提高获取检测图像的稳定性，继而能够提高缺陷检测的准确性。
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1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取物体在移动平台上的全局图像，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述移动平台进行移动，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述物体位置确定下一个移动阶段的移动轨迹，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据获取到的所有所述检测图像对所述物体进行缺陷检测，包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.根据权利要求1-6任一所述的方法，其特征在于，所述全局图像是通过面阵相机获取的多个外观图像确定的，所述检测图像是通过线扫相机获取的。
8.一种缺陷检测设备，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，还包括：
【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取物体在移动平台上的全局图像，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述移动平台进行移动，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述物体位置确定下一个移动阶段的移动轨迹，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据获取到的所有所述检测图像对所...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑华，汤深富，白绳武，
申请(专利权)人：深圳诺星光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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