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基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法技术

技术编号:41144090 阅读:15 留言:0更新日期:2024-04-30 18:12
本发明专利技术涉及样品分析技术领域,提供了一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,包括:对样品进行扫描处理,得到扫描电子信号,对扫描电子信号进行调制编码处理,得到目标电子信号;生成样品对应的样品微观图像,对样品微观图像进行特征提取,得到第一图像特征;对样品进行光照处理,得到光谱数据,构建样品对应的红外光谱图,对红外光谱图进行特征提取,得到第二图像特征;计算第一图像特征和第二图像特征之间的特征相关系数,对样品微观图像和红外光谱图进行配准处理,得到配准图像,分析第一图像特征和第二图像特征之间的位置关系,根据位置关系,得到样品的微区共定位结果。本发明专利技术在于提高样品的微区共定位的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及样品分析,尤其涉及一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法


技术介绍

1、微区共定位指的是在分析样品时,同时确定不同技术或方法获得的数据在空间上的准确位置关系,它通常用于将不同的成像或分析方法结合在一起,以便在微观尺度下对样品进行更详细的分析。

2、现有的微区共定位方法主要是采用质谱成像方法,该方法是将质谱仪与显微镜结合,通过在样品表面逐点或逐区域进行离子化,并将产生的离子带入质谱仪进行质谱分析,并且通过扫描样品表面或截面,同时记录每个位置的质谱信号,即可获得化学成分在空间上的分布图像,但是该方法会对样品造成损坏,并且样品表面的平整度会直接影响图像的精确度,因此该方法对样品的微区共定位的准确性较低,因此需要一种能够提高样品的微区共定位的准确性的方法。


技术实现思路

1、本专利技术提供一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其主要目的在于提高样品的微区共定位的准确性。

2、为实现上述目的,本专利技术提供的一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述对所述扫描电子信号进行调制编码处理,得到目标电子信号,包括:

3.如权利要求2所述的一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述对所述放大电子信号进行调制编码处理,得到目标电子信号,包括:

4.如权利要求1所述的一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述根据所述扫描电子信号、所述扫描参数以及所述能量谱信息,生成所述样品对应的样品微观图像,包...

【技术特征摘要】

1.一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述方法包括:

2.如权利要求1所述的一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述对所述扫描电子信号进行调制编码处理,得到目标电子信号,包括:

3.如权利要求2所述的一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述对所述放大电子信号进行调制编码处理,得到目标电子信号,包括:

4.如权利要求1所述的一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述根据所述扫描电子信号、所述扫描参数以及所述能量谱信息,生成所述样品对应的样品微观图像,包括:

5.如权利要求4所述的一种基于扫描电镜结合显微红外光谱的微区共定位方法,其特征在于,所述对所述信号像素进行像素转换,得到...

【专利技术属性】
技术研发人员:靳凤民方卉田娜娜刘士新
申请(专利权)人:天津大学
类型:发明
国别省市:

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