【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子元件材料，具体为一种可重复使用大容量吸水剂及其生产工艺。
技术介绍
1、近年来随着传统电真空器件及各类传感器、mems器件向小型化、扁平化、集成化，其所需的吸气剂从蒸散型为主逐渐转变为以非蒸散型为主，其形状也从传统的圆柱形，发展为薄片状的厚膜、薄膜、进而集成在晶元上，吸气剂在厚度方向的尺寸也从数毫米，发展为几百微米，进而发展为数微米。
2、为使这些吸气剂可以正常工作，需要在真空或惰性气体中加热一段时间以使吸气剂表面的碳、氧向内部扩散从而暴露出活性的吸气表面。这一过程称之为激活。不同的吸气合金需要不同的激活温度和时间组合，如锆铝吸气合金750℃需要数小时，或900℃30秒；锆钒铁合金500℃需要10min，或400℃数小时。一般说来，激活温度越高，需要的时间越短。同一种合金，不同的吸气剂形态，所需要的激活温度也会有所不同。如锆钴稀土吸气剂，以粉末形式压制的产品，需要350℃-400℃维持数十分钟，而以磁控溅射方式获得的晶粒尺寸为数十纳米的吸气薄膜，可以在300℃维持30min激活。
3、近年来，随...
【技术保护点】
1.一种可重复使用大容量吸水剂，包括吸水层，其特征在于，所述吸水层中均匀混合有添加物质，所述添加物质是由聚丙烯酸盐、硅铝酸盐和丙二醇甲醚醋酸酯混合而成，所述吸水层的材质为碳铝硅等元素混合物，所述吸水层的基底可为不锈钢、可伐、硅和铝，所述吸水层是通过高温烘烤工艺制备，吸水层的膜厚总和为0.1毫米到5毫米。
2.根据权利要求1所述的一种可重复使用大容量吸水剂的生产工艺，其特征在于，包括装置底板（1）；
3.根据权利要求1所述的一种可重复使用大容量吸水剂的生产工艺，其特征在于：所述基底制备组件（2）包括固定于装置底板（1）顶端一侧的四个支腿（201）...
【技术特征摘要】
1.一种可重复使用大容量吸水剂，包括吸水层，其特征在于，所述吸水层中均匀混合有添加物质，所述添加物质是由聚丙烯酸盐、硅铝酸盐和丙二醇甲醚醋酸酯混合而成，所述吸水层的材质为碳铝硅等元素混合物，所述吸水层的基底可为不锈钢、可伐、硅和铝，所述吸水层是通过高温烘烤工艺制备，吸水层的膜厚总和为0.1毫米到5毫米。
2.根据权利要求1所述的一种可重复使用大容量吸水剂的生产工艺，其特征在于，包括装置底板（1）；
3.根据权利要求1所述的一种可重复使用大容量吸水剂的生产工艺，其特征在于：所述基底制备组件（2）包括固定于装置底板（1）顶端一侧的四个支腿（201），四个所述支腿（201）之间固定连接有制备箱（202），所述制备箱（202）内壁中部的一侧转动连接有滤板（203），所述制备箱（202）一侧壁的中部开设有贯穿孔（204），所述制备箱（202）一侧壁的底部安装有驱动部一（205），所述驱动部一（205）的输出端上传动连接有u形板（206），所述u形板（206）的一侧部活动贯穿贯穿孔（204）的内腔并套置于滤板（203）的一侧部，所述u形板（206）的顶端与底端的一侧均固定连接有挡缝板（207），所述制备箱（202）另一侧壁的顶部安装有驱动部二（208），所述制备箱（202）另一侧壁的底部固定连接有导料板（209），所述制备箱（202）另一侧壁的中部开设有下料孔，所述驱动部二（208）的输出端上传动连接有挡料板。
4.根据权利要求1所述的一种可重复使用大容量吸水剂的生产工艺，其特征在于：所述反应物原料制备组件（3）包括安装于装置底板（1）顶端中部的恒温箱（301），所述恒温箱（301）的顶端连通有连通管（302），所述连通管（302）的顶端连通有混合筒（303）。
5.根据权利要求1所述的一种可重复使用大容量吸水剂的生产工艺，其特征在于：所述支撑架组件（4）包括固定于装置底板（1）顶端另一侧的安装架（401），所述安装架（401）一侧壁的底部固定连接有一对l形安装杆（402），两个所述l形安装杆（402）的一端部分别与混合筒（303）的两侧壁固定连接。
6.根据权利要求3所述的一种可重复使用大容量吸水剂的生产工艺，其特征在于：所述高压清洗组件（5）包括置于制备箱（202）内腔顶部的三个输送管（501），三个所述输送管（501）的底端均安装有多个高压喷头（502），...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏纲，薛函迎，柴云川，
申请(专利权)人：南京华东电子真空材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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