水冷屏结构和单晶硅生长装置制造方法及图纸

本申请涉及一种水冷屏结构和单晶硅生长装置。水冷屏结构包括进水管道、出水管道和多个水冷管，各水冷管均为环形。通过将多个环形水冷管沿重力方向依次间隔设置，从而形成多级并联式的冷却水管道。如此，冷却液从进水管道流入每一层级的水冷管后，冷却液不仅会沿着环形轨迹在当前层级的水冷管内流动，而且还会回流至其他层级的水冷管，也即冷却液的流动路径延长，从而提升了冷却液与晶棒的热交换时间，有利于二者的充分换热，进而有效地将晶棒降温，提高拉晶速度。同时，由于多个水冷管间隔设置，即二者具有间距，因此能够降低相邻水冷管之间的温度干扰，使得晶棒具有一定的温度梯度，提升拉晶速度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及单晶硅生产，特别是涉及水冷屏结构和单晶硅生长装置。

技术介绍

1、单晶硅是光伏发电利用太阳能的主要功能材料，通常是利用单晶炉将多晶硅等多晶材料熔化，然后采用直拉法生长出单晶硅棒(简称晶棒)。

2、直拉单晶炉中设置有水冷屏结构，当晶棒进入到水冷屏内部时，通过热量交换快速带走晶棒根部的热量，使得晶棒的纵向温度梯度增加，可以加快拉晶速度，提高产能。

3、相关技术中，水冷屏与单晶炉的换热效率不高，导致晶棒的冷却过慢，影响拉晶速度。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有的水冷屏结构存在换热效率不高的问题，提供一种水冷屏结构。

2、一种水冷屏结构，用于冷却晶棒，所述水冷屏结构包括：

3、多个水冷管，各所述水冷管均为环形；多个所述水冷管共轴且沿重力方向依次间隔设置，并围设出供所述晶棒穿设的收容空间；

4、进水管道，与各所述水冷管一一连通，用于将冷却液分别引入各所述水冷管；

5、出水管道，与各所述水冷管一一连通，用于将各所述水冷管内的冷却液本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种水冷屏结构，用于冷却晶棒，其特征在于，所述水冷屏结构包括：

2.根据权利要求1所述的水冷屏结构，其特征在于，每一所述水冷管(110)均构造有第一进口槽，所述进水管道(120)构造有多个第二进口槽(1211)；每一所述第二进口槽(1211)与一个所述水冷管(110)的所述第一进口槽一一对应地连通；和/或

3.根据权利要求2所述的水冷屏结构，其特征在于，所述进水管道(120)嵌设于所述水冷管(110)的内壁；和/或

4.根据权利要求1所述的水冷屏结构，其特征在于，所述水冷管(110)、所述进水管道(120)以及所述出水管道(130)三者的管径相同。...

【技术特征摘要】

1.一种水冷屏结构，用于冷却晶棒，其特征在于，所述水冷屏结构包括：

2.根据权利要求1所述的水冷屏结构，其特征在于，每一所述水冷管(110)均构造有第一进口槽，所述进水管道(120)构造有多个第二进口槽(1211)；每一所述第二进口槽(1211)与一个所述水冷管(110)的所述第一进口槽一一对应地连通；和/或

3.根据权利要求2所述的水冷屏结构，其特征在于，所述进水管道(120)嵌设于所述水冷管(110)的内壁；和/或

4.根据权利要求1所述的水冷屏结构，其特征在于，所述水冷管(110)、所述进水管道(120)以及所述出水管道(130)三者的管径相同。

5.根据权利要求1所述的水冷屏结构，其特征在于，沿所述重力方向，所述收容空间(111)的截面积逐渐减小。

6.根据权利要求1所述的水冷屏结构，其特征在于，所述进水管道(120)和所述出水管道(130)分别设于所述水冷管(110)沿自身径向的相对两侧。

7.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海东，马玉花，任杰，陈奕峰，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：新型
国别省市：