【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池，更具体的说是一种无尘石墨舟镀膜装置及其镀膜方法。
技术介绍
1、随着光伏行业的发展和技术的不断创新，其中，太阳能电池片制造过程中的镀膜工序，目的是在电池片表面镀上减反射膜(减反射膜成分为氮化硅)，增加电池片对太阳光的吸收，从而提高太阳能电池片的光电转换效率。在镀膜时需借助石墨舟为载体，来承载硅片完成镀膜，但目前在镀膜的过程中，石墨舟表面沉积的氮化硅较厚且分布不均匀，这样导致硅片上沉积的氮化硅薄膜也分布不均匀，从而导致电池片出现严重的色差问题，不符合质量标准。
2、公开号为cn106952805b的中国专利，其公开了一种石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨杆、石墨块以及工艺卡点，所述陶瓷杆用于固定所述石墨舟片，所述石墨杆用于固定所述石墨舟片与所述石墨块，所述石墨舟表面设置有预设厚度的氮氧化硅。本申请中的石墨舟表面设置有预设厚度的氮氧化硅，在对硅片镀氮化硅膜过程中，将硅片放置在石墨舟中，由于石墨舟表面有预设厚度的氮氧化硅，氮化硅与氮氧化硅材质相似，两者间的摩擦系数在0.02左右，显著低于石墨与氮化硅的摩擦系数0.08，减少硅片插片时的划伤，提升良率。但该装置在使用时存在镀膜效率低、效果差的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对现有技术的不足之处，提供一种无尘石墨舟镀膜装置，通过转动组件带动石墨舟片进行转动，与气体充分接触进行氮化硅沉积，同时在转动的过程中通过导向组件使石墨舟片发生上下重复摆动，使沉积更加均匀，提高镀膜质量。
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3、一种无尘石墨舟镀膜装置，包括反应炉，所述反应炉中设置有转动组件，所述转动组件上设置有承载组件，所述反应炉上设置有导向组件，所述转动组件用于带动承载组件承载石墨舟片的同时使其进行转动，所述导向组件用于带动石墨舟片进行摆动。
4、作为一种优选，所述转动组件包括电机、转动设置在反应炉内的转动轴、固定连接转动轴上的连接杆，所述电机输出端与转动轴相连接。
5、作为一种优选，所述承载组件包括铰接连接在连接杆上的承载架、固定连接在承载架上的导向杆，所述导向杆末端设置为球状。
6、作为一种优选，所述导向组件包括开设在反应炉内壁上的若干个导向槽，所述导向槽为波浪形凹槽结构，所述导向杆末端与导向槽相配合。
7、作为一种优选，所述连接杆由上至下呈螺旋状排列。
8、作为一种优选，所述承载架底部与连接杆顶部之间的角度范围设置在60°-140°。
9、作为一种优选，所述承载架表面设置有防滑材质。
10、本专利技术的另一设计目的是提供一种无尘石墨舟镀膜的制作方法，技术方案如下：
11、步骤一、将石墨舟片放置在承载架上进行限位，对反应炉内抽真空；
12、步骤二、向反应炉内通入硅烷和氨气，进行氮化硅沉积；
13、步骤三、通过电机带动石墨舟片进行转动；
14、步骤四、通过导向杆在导向槽内滑动，带动承载架进行上下摆动。
15、作为一种优选，步骤二中，沉积时间设置为15min-20min，沉积压力设置为1600-2200。
16、作为一种优选，步骤二中，反应炉内温度设置为420℃-480℃。
17、本专利技术设置有转动组件，开启电机可带动石墨舟片进行转动，可更好的使石墨舟片与硅烷和氨气更加充分的接触，提高氮化硅沉积效果。
18、本专利技术设置有承载组件和导向组件，当石墨舟片放置于承载架上后，对反应炉内进行抽真空，随后向反应炉内通入硅烷和氨气，电机带动承载架进行转动的同时带动导向杆在导向槽内进行滑动，带动承载架进行上下重复摆动，使石墨舟片上的氮化硅分布的更加均匀。
19、综上所述，本专利技术具有镀膜效果好、镀膜效率高等优点，适合太阳能电池
【技术保护点】
1.一种无尘石墨舟镀膜装置，包括反应炉（1），其特征在于：所述反应炉（1）中设置有转动组件（2），所述转动组件（2）上设置有承载组件（3），所述反应炉（1）上设置有导向组件（4），所述转动组件（2）用于带动承载组件（3）承载石墨舟片的同时使其进行转动，所述导向组件（4）用于带动石墨舟片进行摆动。
2.根据权利要求1所述的一种无尘石墨舟镀膜装置，其特征在于：所述转动组件（2）包括电机（21）、转动设置在反应炉（1）内的转动轴（22）、固定连接转动轴（22）上的连接杆（23），所述电机（21）输出端与转动轴（22）相连接。
3.根据权利要求2所述的一种无尘石墨舟镀膜装置，其特征在于：所述承载组件（3）包括铰接连接在连接杆（23）上的承载架（31）、固定连接在承载架（31）上的导向杆（32），所述导向杆（32）末端设置为球状。
4.根据权利要求3所述的一种无尘石墨舟镀膜装置，其特征在于：所述导向组件（4）包括开设在反应炉（1）内壁上的若干个导向槽（41），所述导向槽（41）为波浪形凹槽结构，所述导向杆（32）末端与导向槽（41）相配合。
6.根据权利要求3所述的一种无尘石墨舟镀膜装置，其特征在于：所述承载架（31）底部与连接杆（23）顶部之间的角度范围设置在60°-140°。
7.根据权利要求3所述的一种无尘石墨舟镀膜装置，其特征在于：所述承载架（31）表面设置有防滑材质。
8.一种无尘石墨舟镀膜的制作方法，其特征在于：该方法具体包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的一种无尘石墨舟镀膜的制作方法，其特征在于：步骤二中，沉积时间设置为15min-20min，沉积压力设置为1600-2200。
10.根据权利要求8所述的一种无尘石墨舟镀膜的制作方法，其特征在于：步骤二中，反应炉（1）内温度设置为420℃-480℃。
...【技术特征摘要】
1.一种无尘石墨舟镀膜装置，包括反应炉（1），其特征在于：所述反应炉（1）中设置有转动组件（2），所述转动组件（2）上设置有承载组件（3），所述反应炉（1）上设置有导向组件（4），所述转动组件（2）用于带动承载组件（3）承载石墨舟片的同时使其进行转动，所述导向组件（4）用于带动石墨舟片进行摆动。
2.根据权利要求1所述的一种无尘石墨舟镀膜装置，其特征在于：所述转动组件（2）包括电机（21）、转动设置在反应炉（1）内的转动轴（22）、固定连接转动轴（22）上的连接杆（23），所述电机（21）输出端与转动轴（22）相连接。
3.根据权利要求2所述的一种无尘石墨舟镀膜装置，其特征在于：所述承载组件（3）包括铰接连接在连接杆（23）上的承载架（31）、固定连接在承载架（31）上的导向杆（32），所述导向杆（32）末端设置为球状。
4.根据权利要求3所述的一种无尘石墨舟镀膜装置，其特征在于：所述导向组件（4）包括开设在反应炉（1）内壁...
【专利技术属性】
技术研发人员：周志强，任世刚，张慧敏，李文强，陈新宇，曹俊杰，
申请(专利权)人：浙江华熔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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