【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆生产废水处理设备，具体而言，涉及一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置。
技术介绍
1、晶圆封测过程中生产加工的晶圆切片一般都是批量生产，单晶硅经过切片、研磨、抛光等工序形成晶圆。晶圆在研磨、抛光生产加工中采用流水直接预清洗的方式将导致用水量太高过于浪费。目前预清洗的方式为采用清水喷淋将研磨、抛光加工后晶圆表面的碎屑进行清洗作业，清洗后的废水采用沉淀池进行沉淀回收清洗废水中的晶硅碎屑颗粒。
2、目前采用的沉淀池需要配套管路安装沉淀设备，沉淀池等配套管路设备不仅占用较大的面积，且沉淀静置的方式也使得水渍清理速度较慢，不能够根据废水量进行自适应快速过滤清理等缺陷。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，以解决沉淀池等配套管路设备不仅占用较大的面积，沉淀静置的方式也使得水渍清理速度较慢，不能够根据废水量进行自适应快速过滤清理等问题。
2、根据本申请实施例的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，包括：底架、废水存储机构、药液分散机构、上药机构和一级过滤机构。
3、所述废水存储机构包括存储罐、罐盖和液位传感器，所述存储罐安装在所述底架上方，所述罐盖设置在所述存储罐内部，所述液位传感器安装在所述存储罐内壁，所述存储罐外部分别设置有进液口和出液口；
4、所述药液分散机构包括电机、顶部为封口设置的传动管、倒锥状结构的支座以及底罩壳，所述电机安装在所述存储罐顶
5、所述上药机构包括上药仓、上药管和套壳，所述套壳转动设置在位于所述进药孔处的所述传动管外侧，所述上药仓通过支架固定在所述罐盖上方，所述上药管顶端与所述上药仓底部连通设置，且所述上药管底端贯穿于所述罐盖与所述套壳固定连通；
6、所述一级过滤机构包括均安装在底架上的一级过滤罐和一级泵体，所述一级泵体进水端口通过第一连接管与所述存储罐一侧的所述出液口连通，所述一级泵体的出水端口通过第二连接管与所述一级过滤罐对接连通。
7、在本申请的一些实施例中，所述一级过滤罐包括罐体和滤网，所述滤网安装在所述罐体内部，且所述滤网两侧的所述罐体两侧分别设置有进水口和出水口，所述进水口与第二连接管一端连通设置。
8、在本申请的一些实施例中，位于所述进水口一侧的所述罐体底端设置有排污端口，所述排污端口上设置有第一阀门。
9、在本申请的一些实施例中，所述罐体内壁对称设置有卡座，所述滤网安装在两组所述卡座之间。
10、该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括二级过滤机构，所述二级过滤机构包括二级过滤罐和二级泵体，所述二级过滤罐和所述二级泵体均安装在底架上方，所述二级泵体进水端口通过第三连接管与所述出水口连通设置，所述二级泵体出水端口与所述二级过滤罐进水端连通设置，所述二级过滤罐出水端连通有出水管。
11、在本申请的一些实施例中，所述二级过滤罐排污端连通有排污管。
12、在本申请的一些实施例中，所述二级过滤机构还包括排污泵，所述排污泵进水端与所述排污管连通设置。
13、在本申请的一些实施例中，所述上药机构还包括计量阀和电磁阀，所述计量阀和所述电磁阀均安装在所述上药管上。
14、在本申请的一些实施例中，所述上药仓顶部铰接设置有盖板，且所述盖板上方安装有把手。
15、在本申请的一些实施例中，所述套壳与所述传动管之间设置有密封环。
16、该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括混合调压机构，所述混合调压机构包括上段为外螺纹设置且底部为封口设置的内套筒、搅拌叶和设置有内螺纹的外套筒，倒锥形结构的所述底罩壳底部设置有通孔，所述外套筒固定嵌设在通孔内部，两组所述搅拌叶对称固定设置在所述内套筒下端外侧，且所述内套筒上段螺接贯穿于所述外套筒，所述内套筒顶端外沿固定有限位块，所述内套筒的外螺纹段处设置有与筒体内部相连通的补液孔。
17、该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括辅助混合机构，所述括辅助混合机构位于所述支座上方，所述辅助混合机构包括套环、支撑杆、筒管和圆台状壳体结构的喷头，所述套环固定套设在所述传动管外部，所述支撑杆两端分别与所述套环和所述筒管固定连接，所述筒管由下至上倾斜向所述存储罐内壁倾斜设置，且两组所述筒管底端反向倾斜设置，所述喷头连通设置在所述筒管顶端。
18、本申请的有益效果是：本申请通过上述设计得到的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，存储罐内部的废水通过上药仓和上药管进入至套壳内部，然后通过进药孔进入至传动管内部。转动的支座、导流板和底罩壳在离心力的作用下将下落至底罩壳内底部中的絮凝药液通过导流腔沿着一侧弧形结构的导流板向外快速甩出，实现存储罐中废液内部的晶硅碎屑颗粒能够被快速且充分地絮凝。当存储罐内部的废液水位达到一定高度后，液位传感器通过控制系统控制一级泵体运行抽取存储罐内部底部的絮凝废液经过一级过滤罐将废水中絮凝的杂质颗粒过滤后可以进行再利用清洗。相比传统的沉淀池处理废水的方式，不仅处理速度较快，且处理装置整体占地面积相对更小。
19、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
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1.一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述一级过滤罐（310）包括罐体（311）和滤网（312），所述滤网（312）安装在所述罐体（311）内部，且所述滤网（312）两侧的所述罐体（311）两侧分别设置有进水口（313）和出水口（314），所述进水口（313）与第二连接管一端连通设置。
3.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，位于所述进水口（313）一侧的所述罐体（311）底端设置有排污端口，所述排污端口上设置有第一阀门。
4.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述罐体（311）内壁对称设置有卡座（316），所述滤网（312）安装在两组所述卡座（316）之间。
5.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，还包括二级过滤机构（60），所述二级过滤机构（60）包括二级过滤罐（610）和二级泵体（620），所述二级过滤罐（610）和所述二级泵体
6.根据权利要求5所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述二级过滤罐（610）排污端连通有排污管（650）。
7.根据权利要求6所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述二级过滤机构（60）还包括排污泵（640），所述排污泵（640）进水端与所述排污管（650）连通设置。
8.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述上药机构（40）还包括计量阀（470）和电磁阀（460），所述计量阀（470）和所述电磁阀（460）均安装在所述上药管（430）上。
9.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述上药仓（410）顶部铰接设置有盖板（480），且所述盖板（480）上方安装有把手（490）。
10.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述套壳（440）与所述传动管（520）之间设置有密封环（450）。
...【技术特征摘要】
1.一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述一级过滤罐（310）包括罐体（311）和滤网（312），所述滤网（312）安装在所述罐体（311）内部，且所述滤网（312）两侧的所述罐体（311）两侧分别设置有进水口（313）和出水口（314），所述进水口（313）与第二连接管一端连通设置。
3.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，位于所述进水口（313）一侧的所述罐体（311）底端设置有排污端口，所述排污端口上设置有第一阀门。
4.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述罐体（311）内壁对称设置有卡座（316），所述滤网（312）安装在两组所述卡座（316）之间。
5.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，还包括二级过滤机构（60），所述二级过滤机构（60）包括二级过滤罐（610）和二级泵体（620），所述二级过滤罐（610）和所述二级泵体（620）均安装在底架（10）上方，所述二级泵体（620）进水端口通过第三...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐叶红，王延宗，
申请(专利权)人：苏州新能环境技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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