【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高精度龙门运动机构领域，尤其涉及一种龙门横梁结构及其优化方法。
技术介绍
1、近年来，随着科技的迅猛发展，汽车，航天，半导体，新能源等行业的产品也在之前的水平上有了变革与突破，对生产制造中的工艺、精度等要求也越高，其中又以半导体行业最为严苛。作为一种常见的设备，龙门运动台被广泛的应用于半导体行业的加工制造之中，而龙门运动台上所有的机构与部件中，龙门横梁又有着重要的意义，由于其通常承载很大负载，且运动加速度较大，故其运动精度的好坏直接影响着最终产品的加工精度。
2、龙门横梁的精度偏低，其主要原因来自于以下几个方面：1.龙门的横梁通常是采用固定的连接方式固定在滑块上，在滑块与导轨产生相对运动时会产生大量的热，从而使得滑块导轨产生热膨胀和变形，其结合面在变形下会连接更为紧密，从而产生更大的摩擦力，伴随着摩擦力和变形的增大，龙门的精度也会进一步的降低。2.横梁的重量，在加速度的一定情况下，横梁重量越大，受到的冲击将会越大，从而造成更大的振动，精度降低。3.横梁的刚度，横梁的刚度越小，其发生的弹性形变会越大，精度也将越低
3、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种龙门横梁结构，包括横梁滑块安装座、横梁主体，其特征在于，还包括大导孔、大导柱、小导柱、小导孔，大导孔、小导孔安装在横梁主体一端；小导柱一端连接横梁滑块安装座内侧，另一端装于小导孔中；大导柱一端连接横梁滑块安装座内侧，大导柱另一端装于大导孔中；所述横梁主体上开有若干大圆孔、小圆孔。
2.如权利要求1所述的龙门横梁结构，其特征在于，满足下式：
3.一种龙门横梁结构的优化方法，其特征在于，包括：
4.如权利要求3所述的龙门横梁结构的优化方法，其特征在于，步骤5中，响应面方程为：
5.如权利要求3所述的龙门横梁结构的优化...
【技术特征摘要】
1.一种龙门横梁结构，包括横梁滑块安装座、横梁主体，其特征在于，还包括大导孔、大导柱、小导柱、小导孔，大导孔、小导孔安装在横梁主体一端；小导柱一端连接横梁滑块安装座内侧，另一端装于小导孔中；大导柱一端连接横梁滑块安装座内侧，大导柱另一端装于大导孔中；所述横梁主体上开有若干大圆孔、小圆孔。
2.如权利要求1所述的龙门横梁结构，其特征在于，满足下式：
3.一种龙门横梁结构的优化方法，其特征在于，包括：
4.如权利要求3所述的龙门横梁结构的优化方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宏，张舟钧禹，刘东成，
申请(专利权)人：德瑞精工深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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