【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种自动控制系统，特别涉及一种用于真空互联系统的自动控制系统及自动控制方法，属于自动控制。
技术介绍
1、随着纳米材料应用产业的发展，纳米材料的生长、加工、测试等工艺步骤越来越依赖高真空环境，而且由于材料生长、加工、测试设备彼此独立，纳米材料在真空环境中制备生成后，在其取出到外部非真空环境，转移到真空环境的器件工艺设备或测试分析设备上进行材料加工或测试的过程中，会受到外界环境的影响，导致其性质变异。鉴于此，人们专利技术了真空互联系统，使得纳米材料样品在真空环境中制备生成后，在不破坏样品表面的情况下，在超高真空转移腔内，将纳米材料样品转移到真空环境的器件工艺设备或测试分析设备，实现了材料的生长、测试和加工等工序均在真空环境中进行。
2、目前，真空互联系统尚处于起步发展阶段，基本采用的是手动操作控制或者半自动化操作控制，自动化程度不高，操作过程中容易发生人工错误，效率也比较低，且如果是大型真空互联系统，需要的操作人员多，造成人力资源的浪费。
技术实现思路
1、本专利技...
【技术保护点】
1.一种用于真空互联系统的自动控制系统，其特征在于包括主控制单元以及与主控制单元连接的数据库和现场执行单元；所述现场执行单元包括真空获得与测量单元、样品交接控制单元、运样车运动控制单元、报警单元和扫描单元；
2.根据权利要求1所述的自动控制系统，其特征在于，所述多车避让算法包括：对于在调度传输过程中会发生干涉的两辆运样车，建立如下目标函数：
3.根据权利要求1所述的自动控制系统，其特征在于：所述主控制单元包括上位机和下位机，所述上位机与下位机连接，所述下位机与所述数据库及所述现场执行单元连接；所述上位机能够提供图形化查看界面，并能够读写下位机的...
【技术特征摘要】
1.一种用于真空互联系统的自动控制系统，其特征在于包括主控制单元以及与主控制单元连接的数据库和现场执行单元；所述现场执行单元包括真空获得与测量单元、样品交接控制单元、运样车运动控制单元、报警单元和扫描单元；
2.根据权利要求1所述的自动控制系统，其特征在于，所述多车避让算法包括：对于在调度传输过程中会发生干涉的两辆运样车，建立如下目标函数：
3.根据权利要求1所述的自动控制系统，其特征在于：所述主控制单元包括上位机和下位机，所述上位机与下位机连接，所述下位机与所述数据库及所述现场执行单元连接；所述上位机能够提供图形化查看界面，并能够读写下位机的控制程序；所述数据库能够实时读取下位机的控制程序，并按照设定规则自动排列存储，且所述数据库还能提供图形化查询界面。
4.根据权利要求3所述的自动控制系统，其特征在于：所述真空获得与测量单元包括电气控制设备、真空计和真空泵，所述真空计、真空泵及电气控制设备与下位机连接组成闭环控制系统。
5.根据权利要求3所述的自动控制系统，其特征在于：所述样品交接...
【专利技术属性】
技术研发人员：王劼，李智，任毅，黄思涵，芮芳，凌小伦，张永红，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：
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