【技术实现步骤摘要】
实施例涉及一种显示装置。更具体地，实施例涉及显示装置和制造显示装置的方法。
技术介绍
1、显示装置是一种显示用于向用户提供视觉信息的图像的装置。在显示装置之中，有机发光二极管显示装置近来已经引起了关注。
2、与液晶显示装置不同，有机发光显示装置具有自发射特性并且不使用单独的光源，使得有机发光显示装置通常具有降低的厚度和重量。另外，有机发光二极管显示器可以表现出诸如低功耗、高亮度和高反应速度的高质量特性。
3、包括在显示装置中的线可以以精细的结构形成，以改善显示质量。随着线的宽度减小，线的截面面积减小，使得线的电阻可能增加。当加宽线的截面面积以减小电阻时，可能在线上形成台阶结构，使得可能由此影响后续工艺。
技术实现思路
1、在显示装置中，其中，在所述显示装置中线的截面面积被加宽以减小电阻的情况下，可能出现在蚀刻以形成线之后残余膜残留的绞线缺陷(a stringer defect)。残余膜可能在后续工艺中与金属等反应而导致短路。
2、实施例提供一种能够实现低电阻线的显示装置。
3、实施例提供一种制造显示装置的方法。
4、根据实施例的显示装置包括：基底；栅极线，在所述基底上；无机膜，在所述基底上，并且覆盖所述栅极线；以及倾斜膜，在所述无机膜上，并且覆盖所述无机膜的在所述栅极线的宽度方向上与所述栅极线重叠的侧表面。
5、在实施例中，所述倾斜膜可以具有锥形形状。
6、在实施例中，所述倾斜膜的侧表面和所述基底之
7、在实施例中，所述栅极线、所述无机膜和所述倾斜膜可以在所述栅极线的所述宽度方向上彼此重叠。
8、在实施例中，所述倾斜膜的厚度可以随着在所述栅极线的所述宽度方向上远离所述栅极线而减小。
9、在实施例中，所述倾斜膜可以包括有机材料和无机材料。
10、在实施例中，所述倾斜膜可以包括sio2。
11、在实施例中，所述倾斜膜还可以包括硅氧烷或聚酰亚胺。
12、在实施例中，所述栅极线的侧表面和所述基底之间的角可以在大约80度至大约90度的范围内。
13、在实施例中，所述显示装置还可以包括：数据线，在所述倾斜膜上。
14、在实施例中，所述数据线可以与所述栅极线交叉。
15、在实施例中，所述栅极线可以包括铜。
16、在实施例中，所述栅极线可以包括：金属层，包括铜；第一合金层，在所述金属层上；以及第二合金层，在所述金属层下方。
17、在实施例中，所述第一合金层和所述第二合金层中的每一者可以包括钛。
18、在实施例中，所述第一合金层和所述第二合金层中的每一者还可以包括锌，并且包括在所述第一合金层和所述第二合金层中的每一者中的锌的含量可以在大约40原子百分比(at％)至大约70at％的范围内。
19、在实施例中，所述倾斜膜还可以与所述栅极线的上表面重叠。
20、根据实施例的显示装置可以包括：基底；金属图案，在所述基底上；第一无机膜，在所述基底上，并且覆盖所述金属图案；第一倾斜膜，在所述第一无机膜上，并且覆盖所述第一无机膜的在所述金属图案的宽度方向上与所述金属图案重叠的侧表面；以及栅极线，在所述第一倾斜膜和所述第一无机膜上。
21、在实施例中，所述显示装置还可以包括：第二无机膜，在所述第一倾斜膜和所述第一无机膜上，并且覆盖所述栅极线；以及第二倾斜膜，在所述第二无机膜上，并且覆盖所述第二无机膜的在所述栅极线的宽度方向上与所述栅极线重叠的侧表面。
22、在实施例中，所述第一倾斜膜和所述第二倾斜膜中的每一者可以具有锥形形状。
23、在实施例中，所述第一倾斜膜的侧表面和所述基底之间的角可以小于所述金属图案的所述侧表面和所述基底之间的角，并且所述第二倾斜膜的侧表面和所述基底之间的角可以小于所述栅极线的侧表面和所述基底之间的角。
24、在实施例中，所述第一倾斜膜和所述第二倾斜膜中的每一者可以包括有机材料和无机材料。
25、根据实施例的制造显示装置的方法可以包括：在基底上形成栅极线；在所述基底上形成无机膜以覆盖所述栅极线；以及在所述无机膜上形成倾斜膜，以覆盖所述无机膜的侧表面。
26、在实施例中，所述形成所述倾斜膜可以包括：在所述无机膜上施加初步倾斜层；并且烘烤所述初步倾斜层。
27、在实施例中，所述初步倾斜层可以包括有机材料和无机材料。
28、在实施例中，所述形成所述栅极线可以包括：在所述基底上形成第一初步合金层；在所述第一初步合金层上形成初步金属层；在所述初步金属层上形成第二初步合金层；并且蚀刻所述第一初步合金层、所述初步金属层和所述第二初步合金层。
29、在实施例中，所述第一初步合金层和所述第二初步合金层中的每一者可以包括包含钛和锌的合金。
30、在实施例中，所述初步金属层可以包括铜。
31、在实施例中，可以以使得所述栅极线的所述侧表面和所述基底之间的角在大约80度至大约90度的范围内的方式蚀刻所述栅极线。
32、在实施例中，所述方法还可以包括：在所述倾斜膜和所述无机膜上形成数据线，以与所述栅极线交叉。
33、在根据本公开的实施例的显示装置中，由于倾斜膜覆盖无机膜的在栅极线的宽度方向上与栅极线重叠的侧表面，因此栅极线的台阶差可以由倾斜膜缓解。因此，通过使栅极线的截面面积最大化并且缓解栅极线的台阶差，可以减小栅极线的电阻，并且在制造工艺中可以有效地防止由于台阶差造成的绞线缺陷。
34、在这样的实施例中，由于无机膜覆盖栅极线并且倾斜膜形成在无机膜上，因此栅极线和倾斜膜彼此可以不直接接触。因此，可以不形成来自栅极线和倾斜膜之间的反应的副产品，使得可以有效地防止由副产品引起的缺陷。
35、在这样的实施例中，通过在栅极线上形成无机膜和倾斜膜，即使栅极线的截面形成为基本上矩形的形状，在随后的工艺中也可以有效地防止由于栅极线中的台阶差引起的问题。当数据线形成在倾斜膜上时，通过减小栅极线的台阶差，可以有效地防止由台阶差引起的诸如绞线缺陷的问题。即，通过无机膜和倾斜膜，可以减小栅极线的电阻，并且可以有效地防止显示装置的制造工艺中的问题。
36、在这样的实施例中，由于倾斜层与无机膜的侧表面重叠，并且倾斜层不形成或者薄薄地形成在无机膜的上表面和栅极线之间，因此可以省略用于在倾斜层中形成接触孔的附加工艺。即，由于不使用用于形成接触孔的附加掩模，因此在显示装置的制造工艺期间可以减少制造成本和制造时间。因此，显示装置的制造工艺的效率可以提高。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种显示装置，其中，所述显示装置包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜具有锥形形状。
3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜的侧表面和所述基底之间的角小于所述栅极线的侧表面和所述基底之间的角。
4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述栅极线、所述无机膜和所述倾斜膜在所述栅极线的所述宽度方向上彼此重叠。
5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜的厚度随着在所述栅极线的所述宽度方向上远离所述栅极线而减小。
6.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜包括有机材料和无机材料。
7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述倾斜膜包括SiO2。
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述倾斜膜还包括硅氧烷或聚酰亚胺。
9.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述栅极线的侧表面和所述基底之间的角在80度至90度的范围内。
10.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述显示装置还包括：
11.根据权利要求10所述的显示
12.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述栅极线包括铜。
13.根据权利要求12所述的显示装置，其中，所述栅极线包括：
14.根据权利要求13所述的显示装置，其中，所述第一合金层和所述第二合金层中的每一者包括钛。
15.根据权利要求14所述的显示装置，其中，
16.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜还与所述栅极线的上表面重叠。
17.一种显示装置，其中，所述显示装置包括：
18.根据权利要求17所述的显示装置，其中，所述显示装置还包括：
19.根据权利要求18所述的显示装置，其中，所述第一倾斜膜和所述第二倾斜膜中的每一者具有锥形形状。
20.根据权利要求18所述的显示装置，其中，
21.根据权利要求18所述的显示装置，其中，所述第一倾斜膜和所述第二倾斜膜中的每一者包括有机材料和无机材料。
22.一种制造显示装置的方法，其中，所述方法包括：
23.根据权利要求22所述的方法，其中，所述形成所述倾斜膜包括：
24.根据权利要求23所述的方法，其中，所述初步倾斜层包括有机材料和无机材料。
25.根据权利要求22所述的方法，其中，所述形成所述栅极线包括：
26.根据权利要求25所述的方法，其中，所述第一初步合金层和所述第二初步合金层中的每一者包括包含钛和锌的合金。
27.根据权利要求25所述的方法，其中，所述初步金属层包括铜。
28.根据权利要求25所述的方法，其中，以使得所述栅极线的侧表面和所述基底之间的角在80度至90度的范围内的方式蚀刻所述栅极线。
29.根据权利要求22所述的方法，其中，所述方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种显示装置，其中，所述显示装置包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜具有锥形形状。
3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜的侧表面和所述基底之间的角小于所述栅极线的侧表面和所述基底之间的角。
4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述栅极线、所述无机膜和所述倾斜膜在所述栅极线的所述宽度方向上彼此重叠。
5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜的厚度随着在所述栅极线的所述宽度方向上远离所述栅极线而减小。
6.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述倾斜膜包括有机材料和无机材料。
7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述倾斜膜包括sio2。
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述倾斜膜还包括硅氧烷或聚酰亚胺。
9.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述栅极线的侧表面和所述基底之间的角在80度至90度的范围内。
10.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述显示装置还包括：
11.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述数据线与所述栅极线交叉。
12.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述栅极线包括铜。
13.根据权利要求12所述的显示装置，其中，所述栅极线包括：
14.根据权利要求13所述的显示装置，其中，所述第一合金层和所述第二合金层中的每一者包括钛。
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。