【技术实现步骤摘要】
本公开涉及显示，具体而言，涉及一种防着板与蒸镀装置。
技术介绍
1、oled(organic light-emitting diode，有机发光二极管)显示装置因具有良好的图像质量、能自发光、无视角障碍、工作温度范围大等优点，已被认为是继液晶显示装置之后最具市场价值的新一代显示装置。通常oled采用蒸镀工艺制作，在基板上根据需求沉积不同的有机材料及无机材料，从而形成有机发光器件。
2、然而，蒸镀环境的洁净度是制约良率的一大困扰，改善蒸镀洁净度，提升蒸镀良率是当前重点方向之一，因此蒸镀机上的防着板需要定期进行清洗，清洗需特定设备配合相应清洗药液完成，故该过程清洗成本高，运营周期长；此外，蒸镀机防着板的安装与拆卸涉及大量人员作业，人力运营成本较高。
3、需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、本公开的目的在于提供一种防着板与蒸镀装置，提升了对蒸镀装置的腔室洁净度。
2、根据本公开的一个方面，提供了一种防着板，该防着板包括：
3、基板；
4、牺牲层，所述牺牲层包括基底层和粘接层，所述基底层与所述基板沿厚度方向叠设，且所述基底层与所述基板可拆卸连接，所述粘接层设于所述基底层背离所述基板的一侧。
5、在本公开的一种示例性实施例中，所述防着板包括多个所述牺牲层，多个所述牺牲层沿厚度方向叠设；相邻的两个所述牺牲层
6、在本公开的一种示例性实施例中，所述粘接层背离所述基底层的表面为粗糙面。
7、在本公开的一种示例性实施例中，所述粘接层为形成在所述基底层表面的涂层。
8、在本公开的一种示例性实施例中，沿所述基板的厚度方向，所述基板与所述牺牲层在基准面上的正投影重合。
9、在本公开的一种示例性实施例中，所述牺牲层中与所述基板螺纹连接。
10、在本公开的一种示例性实施例中，所述基底层的材料包括有机聚合物。
11、在本公开的一种示例性实施例中，所述粘接层的材料包括环氧胶与聚酰亚胺胶中的至少一个。
12、根据本公开的另一个方面，提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括上述任一实施例提供的防着板。
13、在本公开的一种示例性实施例中，所述防着板上形成有贯穿所述基板与所述牺牲层的安装孔，所述防着板通过所述安装孔与所述蒸镀装置的蒸镀腔室内壁可拆卸连接。
14、本公开提供的防着板，由基板与牺牲层沿厚度方向叠设形成，牺牲层包括基底层和粘接层，通过粘接层作为吸附蒸镀材料的表面，相对不锈钢表面喷砂后对蒸镀材料的粘附性大幅度提升，使得蒸镀材料不易脱落，从而确保了蒸镀腔室洁净度；此外，基底层与基板可拆卸连接，当粘接层上吸附足够多的蒸镀材料而导致吸附效果降低时，可以将牺牲层从基板上拆卸，替换新的牺牲层进行对蒸镀材料的吸附，减少防着板清洗频率，减少人员作业，进而提升腔室洁净度，提升产品良率，降低运营成本，缩减运营周期，提升了应用本公开提供的防着板的蒸镀装置的稼动率。
15、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
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1.一种防着板，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述防着板包括多个所述牺牲层，多个所述牺牲层沿厚度方向叠设；相邻的两个所述牺牲层中，远离所述基板的所述牺牲层的所述基底层，与靠近所述基板的所述牺牲层的所述粘接层粘接在一起。
3.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述粘接层背离所述基底层的表面为粗糙面。
4.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述粘接层为形成在所述基底层表面的涂层。
5.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，沿所述基板的厚度方向，所述基板与所述牺牲层在基准面上的正投影重合。
6.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述牺牲层中与所述基板螺纹连接。
7.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述基底层的材料包括有机聚合物。
8.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述粘接层的材料包括环氧胶与聚酰亚胺胶中的至少一个。
9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1～8任一项所述的防着板。
10.根据权利要求9所述
...【技术特征摘要】
1.一种防着板，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述防着板包括多个所述牺牲层，多个所述牺牲层沿厚度方向叠设；相邻的两个所述牺牲层中，远离所述基板的所述牺牲层的所述基底层，与靠近所述基板的所述牺牲层的所述粘接层粘接在一起。
3.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述粘接层背离所述基底层的表面为粗糙面。
4.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述粘接层为形成在所述基底层表面的涂层。
5.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，沿所述基板的厚度方向，所述基板与所述牺牲层在基准面...
【专利技术属性】
技术研发人员：王威，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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