一种半导体加工用输送机制造技术

技术编号:41035936 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-23 21:32
本技术公开了一种半导体加工用输送机,包括料筒,所述料筒的外部设置有输送机构,所述输送机构包括转板,所述料筒的外表面与转板的外表面活动连接,所述转板的本体开设有贯通的转槽,所述转槽的内部活动连接有圆环,所述圆环的内部与料筒的内部相连通,所述圆环的本体上设置有夹持组件,所述圆环的外表面活动连接有挡环,所述挡环的外表面与转槽的内部活动连接,所述圆环的外表面开设有凹槽,涉及半导体生产技术领域,解决了现有半导体分选输送设备使用时,一方面需要人工装卸半导体,且存在半导体存在输送不稳定,导致检测效率和准确性降低,另一方面需要多组固定机构,导致检测成本较大的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产,具体为一种半导体加工用输送机


技术介绍

1、现有的半导体在分选输送时,不能对半导体的正反面进行快速检测,进而影响半导体分选输送的效率,在申请号为2021107617816的一种半导体生产用分选输送设备,包括设备本体,所述设备本体的一侧安装有支撑座,所述设备本体的上端固定安装有固定架和支撑顶板,所述固定架位于设备本体和支撑顶板之间,解决了现有方案中不能对半导体的正反面进行快速检测,进而影响半导体分选输送效率的技术问题。

2、该装置虽然具备上述优点,但是在实际使用过程中,仍存在以下的缺陷:

3、1)、该装置对半导体进行连续检测时,一方面需要使用多组固定机构,进行连续的检测,另一方面固定机构与输送带连接不稳定,容易出现运动偏移,导致半导体无法准确运动至检测工位,从而影响检测效率和准确性;

4、2)、该装置通过固定机构对半导体进行夹持固位,一方面需要人工将半导体在固定机构上取放,另一方面半导体与固定机构的限位槽连接不稳定,在翻转检测时,容易造成半导体的脱落以及损坏。

5、因此,需要针对上述存在的问题进行解决。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种半导体加工用输送机,解决了现有半导体分选输送设备使用时,一方面需要人工装卸半导体,且存在半导体存在输送不稳定,导致检测效率和准确性降低,另一方面需要多组固定机构,导致检测成本较大的问题。

2、为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种半导体加工用输送机,包括料筒,所述料筒的外部设置有输送机构,所述输送机构包括转板,所述料筒的外表面与转板的外表面活动连接,所述转板的本体开设有贯通的转槽,所述转槽的内部活动连接有圆环,所述圆环的内部与料筒的内部相连通,所述圆环的本体上设置有夹持组件,所述圆环的外表面活动连接有挡环,所述挡环的外表面与转槽的内部活动连接,所述圆环的外表面开设有凹槽,所述凹槽的内部固定连接有电动推杆,所述电动推杆的输出端与凹槽的内部活动连接,所述电动推杆的输出端与挡环的外表面固定连接,所述电动推杆的输出端与转槽的内部活动连接,所述转板的外表面固定连接有驱动电机。

3、优选的,所述夹持组件包括气囊,所述气囊的外表面与圆环的内壁嵌入固定连接,所述气囊外表面的两侧均设置有连杆,两个所述连杆的外表面均与圆环的本体贯穿固定连接。

4、优选的,一侧所述连杆的内部与气囊的内部贯穿连通,一侧所述连杆的内部连通有螺槽,所述螺槽开设在转槽的内壁,一侧所述连杆的外表面与螺槽的内部螺纹连接。

5、优选的,两侧所述连杆的外表面均与转槽的内部活动连接,另一侧所述连杆的外表面与转板的本体贯穿活动连接。

6、优选的,另一侧所述连杆的一端固定连接有伺服电机,所述伺服电机的外表面固定连接有伸缩杆。

7、优选的,所述伸缩杆的一端固定连接有固架,所述固架的外表面与转板的外表面固定连接。

8、有益效果

9、本技术提供了一种半导体加工用输送机。与现有技术相比具备以下

10、有益效果:

11、(1)通过设置输送机构,利用料筒与转板的贴合,驱动电机带动转板和多个圆环转动,可实现循环运料,同时当圆环内部与料筒内部对齐时,半导体自动落入圆环内部,实现自动上料,从而提升检测的效率和准确性,以及运料的稳定性。

12、(2)通过设置夹持组件,在进行另一面检测时,伺服电机通过一侧连杆带动圆环和半导体进行旋转,同时通过另一侧连杆与螺槽的连接,使得另一侧连杆深入螺槽内部,以改变螺槽和气囊内部容积,使得气囊内部气压增大膨胀,可对半导体进行夹持,避免翻转时半导体的脱落。

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【技术保护点】

1.一种半导体加工用输送机,包括料筒(1),其特征在于:所述料筒(1)的外部设置有输送机构,所述输送机构包括转板(2),所述料筒(1)的外表面与转板(2)的外表面活动连接,所述转板(2)的本体开设有贯通的转槽(3),所述转槽(3)的内部活动连接有圆环(4),所述圆环(4)的内部与料筒(1)的内部相连通,所述圆环(4)的本体上设置有夹持组件(5),所述圆环(4)的外表面活动连接有挡环(6),所述挡环(6)的外表面与转槽(3)的内部活动连接,所述圆环(4)的外表面开设有凹槽(7),所述凹槽(7)的内部固定连接有电动推杆(8),所述电动推杆(8)的输出端与凹槽(7)的内部活动连接,所述电动推杆(8)的输出端与挡环(6)的外表面固定连接,所述电动推杆(8)的输出端与转槽(3)的内部活动连接,所述转板(2)的外表面固定连接有驱动电机(9)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送机,其特征在于:所述夹持组件(5)包括气囊(51),所述气囊(51)的外表面与圆环(4)的内壁嵌入固定连接,所述气囊(51)外表面的两侧均设置有连杆(52),两个所述连杆(52)的外表面均与圆环(4)的本体贯穿固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体加工用输送机,其特征在于:一侧所述连杆(52)的内部与气囊(51)的内部贯穿连通,一侧所述连杆(52)的内部连通有螺槽(53),所述螺槽(53)开设在转槽(3)的内壁,一侧所述连杆(52)的外表面与螺槽(53)的内部螺纹连接。

4.根据权利要求2所述的一种半导体加工用输送机,其特征在于:两侧所述连杆(52)的外表面均与转槽(3)的内部活动连接,另一侧所述连杆(52)的外表面与转板(2)的本体贯穿活动连接。

5.根据权利要求2所述的一种半导体加工用输送机,其特征在于:另一侧所述连杆(52)的一端固定连接有伺服电机(54),所述伺服电机(54)的外表面固定连接有伸缩杆(55)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体加工用输送机,其特征在于:所述伸缩杆(55)的一端固定连接有固架(56),所述固架(56)的外表面与转板(2)的外表面固定连接。

...

【技术特征摘要】

1.一种半导体加工用输送机,包括料筒(1),其特征在于:所述料筒(1)的外部设置有输送机构,所述输送机构包括转板(2),所述料筒(1)的外表面与转板(2)的外表面活动连接,所述转板(2)的本体开设有贯通的转槽(3),所述转槽(3)的内部活动连接有圆环(4),所述圆环(4)的内部与料筒(1)的内部相连通,所述圆环(4)的本体上设置有夹持组件(5),所述圆环(4)的外表面活动连接有挡环(6),所述挡环(6)的外表面与转槽(3)的内部活动连接,所述圆环(4)的外表面开设有凹槽(7),所述凹槽(7)的内部固定连接有电动推杆(8),所述电动推杆(8)的输出端与凹槽(7)的内部活动连接,所述电动推杆(8)的输出端与挡环(6)的外表面固定连接,所述电动推杆(8)的输出端与转槽(3)的内部活动连接,所述转板(2)的外表面固定连接有驱动电机(9)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送机,其特征在于:所述夹持组件(5)包括气囊(51),所述气囊(51)的外表面与圆环(4)的内壁嵌入固定连接,所述气囊(51)外...

【专利技术属性】
技术研发人员:周海生蒋振荣鲁亮宇
申请(专利权)人:安徽富信半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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