一种精抛液回收用存储装置制造方法及图纸

本技术公开了一种精抛液回收用存储装置，包括底座，所述底座的上方中部固定连接有固定架，所述固定架的一侧固定连接有安装座，所述安装座的上方固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转杆，所述转杆上固定连接有第一齿轮，所述安装座的上方设置有连接架，所述连接架的内部转动连接有分液管，所述连接架与分液管的连接处设置有轴承，所述分液管上固定连接有第二齿轮，本技术通过设置驱动组件以及齿轮组件能够带动上端的分液管进行转动，并且通过设置隔板能够将分液箱隔成两个腔室，通过分液管的转动能够将精抛液以及清洗液进行分别排放，使得该装置能够对抛光精抛液进行回收，避免浪费。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及精抛液回收领域，特别是涉及一种精抛液回收用存储装置。

技术介绍

1、现在使用的精抛液在精抛的过程中大盘上注入新的精抛液，下端直接当成废液排掉了，单次抛光使用量接近20升，浪费十分严重，摊薄到每片晶片的成本也不菲；

2、精抛机在抛光作业时注入的是精抛液，在上料和待机时注入的是纯水，精抛液和纯水都需要经过相同的路径和管路通过相同的排液管排出设备，直接回收会把精抛液和纯水混合，后续无法利用。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是精抛液和纯水都需要经过相同的路径和管路通过相同的排液管排出设备，直接回收会把精抛液和纯水混合，后续无法利用。

2、为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种精抛液回收用存储装置，包括底座，所述底座的上方中部固定连接有固定架，所述固定架的一侧固定连接有安装座，所述安装座的上方固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转杆，所述转杆上固定连接有第一齿轮，通过第一齿轮与第二齿轮之间的啮合作用能够使得第一齿轮带动上方的分液管进行转动，从而对其排液角度进行调节，增加装置的便捷性以及实用性；

3、所述安装座的上方设置有连接架，所述连接架的内部转动连接有分液管，所述连接架与分液管的连接处设置有轴承，所述分液管上固定连接有第二齿轮

4、优选的，所述固定架的另一端固定连接有分液箱，所述分液箱的内侧中部固定连接有隔板，通过在分液箱的内部设置隔板能够将其分割成两个腔室，从而能够进行纯水以及精抛液的排放。

5、优选地，所述分液箱的内部一端设置有集液室，所述分液箱的内部另一端设置有集水室。

6、优选的，所述集液室与集水室的底部贯穿设置有排液管，所述排液管的内部设置有控制阀，通过排液管能够将纯水以及精抛液进行排放，并且通过设置控制阀能够控制排液管的启闭作业。

7、优选的，所述集液室与集水室的内部固定连接有限位板，所述集液室与集水室的内部设置有滤网，所述滤网的一端固定连接有把手，通过两端的限位板以及把手能够对滤网进行快速安装，同时设置滤网能够对纯水以及精抛液进行过滤，从而能够便于其后期的循环利用。

8、优选的，所述分液箱的上方两端设置有螺孔，所述把手上螺纹连接有定位螺栓，所述定位螺栓与螺孔相互对应，通过设置定位螺栓能够确保滤网在使用时的稳定性，底座与固定架的连接处设置有加强筋，在加强筋的作用下能够确保整个固定架在使用时的稳定性。

9、优选的，所述底座与固定架的连接处设置有加强筋。

10、本技术的有益效果如下：

11、本技术通过设置驱动组件以及齿轮组件能够带动上端的分液管进行转动，并且通过设置隔板能够将分液箱隔成两个腔室，通过分液管的转动能够将精抛液以及清洗液进行分别排放，使得该装置能够对抛光精抛液进行回收，避免浪费。

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【技术保护点】

1.一种精抛液回收用存储装置，包括底座(4)，其特征在于：所述底座(4)的上方中部固定连接有固定架(14)，所述固定架(14)的一侧固定连接有安装座(8)，所述安装座(8)的上方固定连接有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的输出端固定连接有转杆(7)，所述转杆(7)上固定连接有第一齿轮(10)；

2.根据权利要求1所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述固定架(14)的另一端固定连接有分液箱(2)，所述分液箱(2)的内侧中部固定连接有隔板(15)。

3.根据权利要求2所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述分液箱(2)的内部一端设置有集液室(19)，所述分液箱(2)的内部另一端设置有集水室(20)。

4.根据权利要求3所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述集液室(19)与集水室(20)的底部贯穿设置有排液管(3)，所述排液管(3)的内部设置有控制阀(6)。

5.根据权利要求3所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述集液室(19)与集水室(20)的内部固定连接有限位板(22)，所述集液室(19)与集水室(20)的内部设置有滤网(16)，所述滤网(16)的一端固定连接有把手(18)。

6.根据权利要求5所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述分液箱(2)的上方两端设置有螺孔(21)，所述把手(18)上螺纹连接有定位螺栓(17)，所述定位螺栓(17)与螺孔(21)相互对应。

7.根据权利要求1所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述底座(4)与固定架(14)的连接处设置有加强筋(5)。

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【技术特征摘要】

1.一种精抛液回收用存储装置，包括底座(4)，其特征在于：所述底座(4)的上方中部固定连接有固定架(14)，所述固定架(14)的一侧固定连接有安装座(8)，所述安装座(8)的上方固定连接有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的输出端固定连接有转杆(7)，所述转杆(7)上固定连接有第一齿轮(10)；

2.根据权利要求1所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述固定架(14)的另一端固定连接有分液箱(2)，所述分液箱(2)的内侧中部固定连接有隔板(15)。

3.根据权利要求2所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述分液箱(2)的内部一端设置有集液室(19)，所述分液箱(2)的内部另一端设置有集水室(20)。

4.根据权利要求3所述的一种精抛液回收用存储装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：查明怀，方基国，夏旭阳，
申请(专利权)人：铜陵辉平环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：