【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学仪器的辅助机构领域，具体涉及一种减振脚垫。
技术介绍
1、工业共聚焦显微镜作为高精密度、高附加值测量仪器，是测量表面形貌的有力工具，在材料科学和包括半导体电子行业在内的众多行业中发挥着重要作用。高精度的测量需求对仪器的避振效果提出了较高的要求，优良的避振脚垫能较小外界振动和仪器自身运行振动，从而提高设备性能。
2、然而，现有的共聚焦显微镜的脚垫结构都相对较硬，例如只在支脚位置安装一个橡胶垫进行缓冲，导致缓冲效果较差，进而降低的避振的效果。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种减振脚垫，旨在改善现有的共聚焦显微镜的缓冲减震效果较差的问题。
2、为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种减振脚垫，包括：
3、安装座，其一端面上设置有减振腔，所述减振腔的腔底镶嵌设置有第一磁体；及
4、支撑座，其一端面上设置有与所述第一磁体相斥设置的第二磁体，且所述支撑座的端部设置在所述减振腔内，所述第二磁体与所述第一磁体相对设置，且所述支撑座与所述第一磁体之间设置有间隙，所述支撑座与所述减振腔之间设置有弹性件；所述支撑座的另一端面上设置有脚垫。
5、优选的，所述支撑座包括磁石架和支脚架，所述磁石架的一端面上设置有容置所述第二磁体的磁体槽，所述磁石架的另一端面设置有与所述支脚架套设的连接槽，所述脚垫设置在所述支脚架远离所述磁石架的端面上。
6、优选的，所述安装座包括连接座和固定套，所述连接座的一端面上设置有凹槽，
7、优选的，所述磁石架的外侧面上设置有单阶台阶面，所述磁石架的小轴段穿过所述通孔设置在所述固定套内，所述磁石架的大轴段位于所述减振腔内。
8、优选的，所述弹性件设置有两个，一所述弹性件设置在所述磁石架的大轴段与凹槽槽底之间；所述通孔的直径小于所述固定套的内腔直径，另一所述弹性件设置在所述磁石架的大轴段与所述固定套的内腔底之间。
9、优选的，所述安装座与所述脚垫相对的外侧面上设置有安装孔，所述安装孔贯通至所述减震腔设置。
10、优选的，所述支脚架与所述脚垫的端面上设置有连接孔，所述磁石架上贯穿设置有与所述连接孔相对的对接孔。
11、优选的，所述支撑座的另一端面上设置有容置所述脚垫的放置槽，且所述脚垫与所述放置槽之间设置有粘接胶层。
12、优选的，所述弹性件为0型弹性圈。
13、采用上述技术方案后，本技术与
技术介绍
相比，具有如下优点：
14、1、在安装座内开设一个减振腔，将支撑座的一部分容置在减振腔内，并放入弹性件，以提高减震效果，放入的数量和厚度可以根据需求人为设置，以调整弹性力。同时，在支撑座的支撑面上安装有脚垫，脚垫可以为橡胶垫，增加摩擦力，同时也具有一定的弹性性能，起到良好的支撑。
15、2、在减振腔的腔底与支撑座的端面上各安装有一个磁体，即第一磁体与第二磁体，两个磁体相斥安装，如此可以提高减振脚垫整体的结构的刚度，同时也为弹性移位预留下空间，提高使用的实用性。
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1.一种减振脚垫，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减振脚垫，其特征在于：所述支撑座包括磁石架和支脚架，所述磁石架的一端面上设置有容置所述第二磁体的磁体槽，所述磁石架的另一端面设置有与所述支脚架套设的连接槽，所述脚垫设置在所述支脚架远离所述磁石架的端面上。
3.根据权利要求2所述的减振脚垫，其特征在于：所述安装座包括连接座和固定套，所述连接座的一端面上设置有凹槽，所述固定套一端套设在凹槽内，且固定套的内腔与所述凹槽形成所述减振腔，所述固定套的另一端面设置有供所述支撑座穿过的通孔。
4.根据权利要求3所述的减振脚垫，其特征在于：所述磁石架的外侧面上设置有单阶台阶面，所述磁石架的小轴段穿过所述通孔设置在所述固定套内，所述磁石架的大轴段位于所述减振腔内。
5.根据权利要求4所述的减振脚垫，其特征在于：所述弹性件设置有两个，一所述弹性件设置在所述磁石架的大轴段与凹槽槽底之间；
6.根据权利要求1所述的减振脚垫，其特征在于：所述安装座与所述脚垫相对的外侧面上设置有安装孔，所述安装孔贯通至所述减振腔设置。
7.
8.根据权利要求1所述的减振脚垫，其特征在于：所述支撑座的另一端面上设置有容置所述脚垫的放置槽，且所述脚垫与所述放置槽之间设置有粘接胶层。
9.根据权利要求1所述的减振脚垫，其特征在于：所述弹性件为0型弹性圈。
...【技术特征摘要】
1.一种减振脚垫，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减振脚垫，其特征在于：所述支撑座包括磁石架和支脚架，所述磁石架的一端面上设置有容置所述第二磁体的磁体槽，所述磁石架的另一端面设置有与所述支脚架套设的连接槽，所述脚垫设置在所述支脚架远离所述磁石架的端面上。
3.根据权利要求2所述的减振脚垫，其特征在于：所述安装座包括连接座和固定套，所述连接座的一端面上设置有凹槽，所述固定套一端套设在凹槽内，且固定套的内腔与所述凹槽形成所述减振腔，所述固定套的另一端面设置有供所述支撑座穿过的通孔。
4.根据权利要求3所述的减振脚垫，其特征在于：所述磁石架的外侧面上设置有单阶台阶面，所述磁石架的小轴段穿过所述通孔设置在所述固定套内，所述磁石架的大轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：王瑛杰，吴铭钧，
申请(专利权)人：麦克奥迪实业集团有限公司，
类型：新型
国别省市：
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