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【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于太赫兹成像,尤其涉及一种太赫兹近场扫描系统及操作方法。
技术介绍
1、散射式太赫兹扫描近场光学显微系统thz s-snom,利用纳米探针的尖端来对待测样品进行扫描,通过与待测样品相互作用产生纳米级光源,然后将样品表面的倏逝波转化为可以在远场进行测量的辐射波;即利用探针产生太赫兹近场散射信号,并通过远场探测器收集,从而实现太赫兹近场超分辨成像的功能。
2、传统的thz s-snom是基于原子力扫描显微镜afm,只有一个探针在tapping模式下不断地以高频进行振动,通过z行扫描或者s型扫描实现二维图像。然而,这些方法在成像方面较为单一,且探针的散射模型通常使用偶极子模型,与实验结果存在一定差异,因此传统基于afm的散射式太赫兹近场扫描系统存在扫描模探针单一,模型简单且扫描效率低的问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种太赫兹近场扫描系统及操作方法,旨在通过建立基于双探针模型的太赫兹扫描系统来解决单探针扫描下的模型简单及扫描效率低的问题。
2、为解决上述技术问题,一方面,本专利技术提供了一种太赫兹近场扫描系统,其包括
3、太赫兹辐射源,用于产生太赫兹波;
4、载物台,用于放置待测样品,所述太赫兹波产生后聚集于所述待测样品处;
5、两个探针组件,所述探针组件包括探针及振动装置,所述探针与所述振动装置连接,当所述探针对所述待测样品进行扫描时,所述探针借由所述振动装置产生振动并在所述太赫兹波照射下产生太赫兹近场散
6、太赫兹探测器,用于接收所述太赫兹近场散射信号;
7、位移装置,与所述载物台及所述探针组件连接,用于控制所述载物台及所述探针组件的移动;
8、显微镜,用于观察所述探针及所述待测样品。
9、进一步地,两所述探针组件相对设置,且两所述探针的针尖朝向方向相反。
10、进一步地,所述系统还包括另两个探针组件,四个所述探针组件两两相对设置,且各所述探针组件环绕同一中心设置。
11、进一步地,相对设置的两所述探针的针尖端部的间隔距离大于300nm。
12、进一步地,两所述探针组件相对设置,且两所述探针的针尖朝向方向相同。
13、进一步地,所述两所述探针尖端部的间隔距离大于2000nm。
14、进一步地,两所述探针的倾斜角度相同。
15、另一方面,本专利技术还基于上述系统提供了一种赫兹近场扫描系统的操作方法,其特征在于,所述方法包括:
16、初始化太赫兹波的光路以及两所述探针的初始位置;
17、将所述待测样品移动至待测位置,所述待测位置靠近所述探针的初始位置;
18、按照预设的扫描范围和扫描间隔对所述待测样品进行扫描。
19、与现有技术相比,本专利技术的太赫兹近场扫描系统,基于双探针模型的设计的双振源耦合结构,其模型结构更加完善,扫描效率更高,从而进一步提高成像的效率。
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1.一种太赫兹近场扫描系统,其特征在于,包括
2.根据权利要求1所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,两所述探针组件相对设置,且两所述探针的针尖朝向方向相反。
3.根据权利要求2所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,还包括另两个探针组件,四个所述探针组件两两相对设置,且各所述探针组件环绕同一中心设置。
4.根据权利要求2或3所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,相对设置的两所述探针的针尖端部的间隔距离大于300nm。
5.根据权利要求1所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,两所述探针组件相对设置,且两所述探针的针尖朝向方向相同。
6.根据权利要求5所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,相对设置的所述两所述探针尖端部的间隔距离大于2000nm。
7.根据权利要求2或5所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,两所述探针的倾斜角度相同。
8.一种太赫兹近场扫描系统的操作方法,基于权利要求1-7任一项所述的系统,其特征在于,所述方法包括:
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述确定两所述
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述将所述待测样品移动至待测位置,所述待测位置靠近所述探针的初始位置,包括:
...【技术特征摘要】
1.一种太赫兹近场扫描系统,其特征在于,包括
2.根据权利要求1所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,两所述探针组件相对设置,且两所述探针的针尖朝向方向相反。
3.根据权利要求2所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,还包括另两个探针组件,四个所述探针组件两两相对设置,且各所述探针组件环绕同一中心设置。
4.根据权利要求2或3所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,相对设置的两所述探针的针尖端部的间隔距离大于300nm。
5.根据权利要求1所述的太赫兹近场扫描系统,其特征在于,两所述探针组件相对设置,且两所述探针的针尖朝向方向...
【专利技术属性】
技术研发人员:佘荣斌,崔洪亮,魏东山,鲁远甫,李光元,刘文权,
申请(专利权)人:中国科学院深圳先进技术研究院,
类型:发明
国别省市:
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