【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测，尤其涉及一种线扫描共聚焦显微系统。
技术介绍
1、晶圆缺陷检测在半导体制造中具有极其重要的应用，通过检测晶圆的缺陷来保证晶圆质量、提高芯片制造的良率和可靠性。在检测的过程中，通常会使用宽场金相式光学显微镜对晶圆进行观察和检查。这种方法可以识别一些较大的缺陷，如表面缺陷或粗糙度变化，但对于亚微米级的小缺陷可能不够敏感，对比度较低。且该方法需要对逐个小视野内的晶圆进行拍照和拼接，速度较慢，通常进行一片8寸晶圆的大面积全扫描成像检测需要2至3小时，效率较低。
技术实现思路
1、鉴于上述的分析，本申请旨在提供一种线扫描共聚焦显微系统，用以提高晶圆检测效率。
2、本申请的目的主要是通过以下技术方案实现的：
3、本申请实施例提供了一种线扫描共聚焦显微系统，包括：光源组件，沿第一方向发射激光光线；第一镜组，设置于光源组件沿第一方向的出光侧，第一镜组包括分光棱镜，分光棱镜包括相对的第一面和第二面，第一面朝向光源组件；高速扫描振镜，设置于第一镜组沿第一方向背离光源组件的一侧，高速扫描振镜包括反光面，反光面朝向第一镜组；高速扫描振镜沿第一方向可移动设置；第二镜组，设置于高速扫描振镜沿第二方向的一侧，第二镜组包括四焦距透镜组；第一方向和第二方向垂直；物镜，设置于第二镜组沿第二方向背离高速扫描振镜的一侧；承载组件，设置于物镜沿第二方向背离第二镜组的一侧；成像组件，设置于第一镜组沿第二方向的一侧，第二面朝向成像组件。
4、根据本申请实施例，光源组件包括
5、根据本申请实施例，激光光源发出的激光光线的波长为405nm，输出的光斑直径为1.5mm；鲍威尔透镜的发射角度为18°，直径为10mm。
6、根据本申请实施例，第一镜组还包括第一透镜和第二透镜，第一透镜设置于光源组件与分光棱镜之间，第二透镜设置于分光棱镜与高速扫描振镜之间；分光棱镜被配置为，从第一面射入的光线可以从第二面射出，从第二面射入的光线在第二面反射。
7、根据本申请实施例，第一透镜为平凸透镜，第一透镜的焦距为30mm；第二透镜为平凸透镜，第二透镜的焦距为50mm。
8、根据本申请实施例，第二镜组还包括第一反射镜和第二反射镜，第一反射镜设置于高速扫描振镜沿第二方向的一侧，第一反射镜、四焦距透镜和第二反射镜沿第一方向依次排列；四焦距透镜组包括沿第一方向同轴设置的第四透镜和第三透镜，第三透镜位于第一反射镜和第四透镜之间。
9、根据本申请实施例，第三透镜为平凸透镜，第三透镜的焦距为100mm；第四透镜为平凸透镜，第四透镜的焦距为180mm；沿第一方向，第三透镜与第一反射镜之间的距离为100mm。
10、根据本申请实施例，成像组件包括相机、第五透镜和第六透镜，第五透镜设置于第一镜组沿第二方向的一侧，相机、第六透镜和第五透镜沿第二方向依次同轴设置。
11、根据本申请实施例，第五透镜为平凸透镜，第五透镜的焦距为50mm；第六透镜为平凸透镜，第五透镜的焦距为200mm；沿第二方向，相机与第六透镜之间的距离为200mm。
12、根据本申请实施例，承载组件包括电动晶圆载物台，电动晶圆载物台沿第一方向往复移动设置
13、本申请实施例提供的线扫描共聚焦显微系统至少具有以下优点：
14、1、本申请的光源组件采用激光光源，像面成像均匀、亮度高、单图视场大，单线扫描覆盖整片晶圆，20倍物镜下线视场1.1mm。
15、2、本申请具备快速的扫描能力，能够在0.5s内完成8寸晶圆的单行单幅图扫描，20倍物镜下整片晶圆的扫描成像能够在90s的时间内完成，覆盖整个晶圆表面的成像，从而提高检测效率。
16、3、本申请采用共聚焦显微探测光路的原理，利用线阵相机的单列像素开关实现狭缝功能，从而实现高分辨率成像，对晶圆表面微小的缺陷或异物能够更准确地进行检测和定位，确保高质量的生产。
17、4、本申请的鲍威尔透镜发散角与透镜组焦距经过光学设计验证，有利于像差的校正，提高线照明的均匀性，及提高整个视场的像质，从而使得该光学成像系统的分辨率、透过率、图像均匀性得到显著提升。
18、5、本申请xy轴电动台具备高稳定性和高重复性，线性度良好，解决了线扫成像过程中因速度不均匀和定位不精确造成的图像失真问题，同时具有小型化和轻型化的真空晶圆夹持平台，能够适配6寸、8寸和12寸的不同晶圆尺寸。
19、本申请中，上述各技术方案之间还可以相互组合，以实现更多的优选组合方案。本申请的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分优点可从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请而了解。本申请的目的和其他优点可通过说明书以及附图中所特别指出的内容中来实现和获得。
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1.一种线扫描共聚焦显微系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的线扫描共聚焦显微系统，其特征在于，所述光源组件包括激光光源和鲍威尔透镜；所述激光光源沿所述第一方向发出激光光线；所述鲍威尔透镜设置于所述激光光源沿所述第一方向的出光侧。
3.根据权利要求2所述的线扫描共聚焦显微系统，其特征在于，所述激光光源发出的激光光线的波长为405nm，输出的光斑直径为1.5mm；
4.根据权利要求1所述的线扫描共聚焦显微系统，其特征在于，所述第一镜组还包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜设置于所述光源组件与所述分光棱镜之间，所述第二透镜设置于所述分光棱镜与所述高速扫描振镜之间；
5.根据权利要求4所述的线扫描共聚焦显微系统，其特征在于，所述第一透镜为平凸透镜，所述第一透镜的焦距为30mm；
6.根据权利要求1所述的线扫描共聚焦显微系统，其特征在于，所述第二镜组还包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜设置于所述高速扫描振镜沿所述第二方向的一侧，所述第一反射镜、所述四焦距透镜和所述第二反射镜沿所述第一方向依次排列；
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