一种混配型酰胺基铪配合物及其制备方法和应用技术

本发明专利技术公开一种混配型酰胺基铪配合物及其制备方法和应用，在惰性气体的保护下，将定量的二胺盐和无水金属氯化铪加入无水溶剂中进行反应；反应一段时间后，过滤，将定量的酰胺基盐加入滤液中继续进行反应；反应一段时间后，过滤，将滤液用减压蒸馏除去溶剂，得固体经过重结晶升华，即得到目标金属配合物。本发明专利技术提供一系列对衬底的污染小、合成方法简便，工艺操作简单，产率高，成本低的混配型酰胺基铪配合物的合成方法，此系列制备方法，易于合成，毒性低，简单易操作等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及金属有机配合物，具体为一种混配型酰胺基铪配合物及其制备方法和应用。

技术介绍

1、随着集成电路的飞速发展，sio2作为传统的栅介质将不能满足金属-氧化物-半导体场效应管（mosfet）器件高集成度的要求，需要一种新型高k材料来代替传统的sio2，这就要综合考虑以下几个方面的问题：①具有高介电常数、高的势垒和能隙；②在si上有良好的热稳定性；③非晶态栅介质更理想；④具有良好的界面质量；⑤与si基栅兼容；⑥处理工艺的兼容性；⑦具有良好的可靠性和稳定性。

2、目前被广泛研究用来替代传统sio2栅极氧化物的高k材料主要有以下几种：al2o3、zro2、hfo2、 (hfo2)x(al2o3)1-x、la2o3、pr2o3、y2o3、gd2o3和nd2o3等等。其中研究最多是zro2、hfo2和它们相关的硅化物。稀土氧化物由于具有高势垒和能隙(pr2o3~3.9, gd2o3~5.6ev)、高介电常数(gd2o3k=16, la2o3k=30, pr2o3k=26-30)，以及在硅底物上优良的热力学稳定三大优点，最近也引起了人们极大的兴趣。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种混配型酰胺基铪配合物，其特征在于：该配合物的结构通式为：

2.一种混配型酰胺基铪配合物的制备方法，其特征在于：技术路径为，

3.根据权利要求2所述的一种混配型酰胺基铪配合物的制备方法，其特征在于：所述金属M为铪，无水金属盐为无水氯化铪。

4.根据权利要求2所述的一种混配型酰胺基铪配合物的制备方法，其特征在于：所述技术路径中，金属M为铪：二胺盐与酰胺基盐的投料比为1:3或2:2或3;1；二胺盐与酰胺基盐与无水氯化铪的投料比为4:1。

5.根据权利要求2所述的一种混配型酰胺基铪配合物的制备方法，其特征在于：所述无水有机溶剂为：甲苯、乙醚...

【技术特征摘要】

1.一种混配型酰胺基铪配合物，其特征在于：该配合物的结构通式为：

2.一种混配型酰胺基铪配合物的制备方法，其特征在于：技术路径为，

3.根据权利要求2所述的一种混配型酰胺基铪配合物的制备方法，其特征在于：所述金属m为铪，无水金属盐为无水氯化铪。

4.根据权利要求2所述的一种混配型酰胺基铪配合物的制备方法，其特征在于：所述技术路径中，金属m为铪：二胺盐与酰胺基盐的投料比为1:3或2:2或3;1；二胺盐与酰胺基盐与无水氯化铪的投料比为4:1。

5.根据权利要求2所述的一种混配型酰胺基铪配合物的制备方法，其特征在于：所述无水有机溶剂为：甲苯、乙醚、乙二醇二甲醚、四氢呋喃、正己烷或者其中任意两种上述溶剂按照1:9-9:1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶弦，沈应中，沈克成，
申请(专利权)人：江苏爱姆欧光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：