【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅生产，尤其涉及一种多晶硅冷氢化装置及工艺方法。
技术介绍
1、在多晶硅生产过程中，伴随着大量的副产物氢气h2、四氯化硅sicl4和氯化氢hcl生成。其中四氯化硅需要通过氢化工艺转化为原料三氯氢硅。2010年后国内的多晶硅企业纷纷上马冷氢化工艺，热氢化工艺逐步被淘汰。
2、现有的冷氢化技术为单套系统运行，进料量有限，严重限制多晶硅的产能；为了提高产能，一般通过重复建设冷氢化整套装置来实现产能的提升，这样，固定投资较大，成本较高。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供一种多晶硅冷氢化装置及工艺方法，主要目的是在提升单套冷氢化系统的产能。
2、为达到上述目的，本专利技术主要提供如下技术方案：
3、一方面，本专利技术提供了一种多晶硅冷氢化装置，该装置包括：汽化塔、反应部和分离部；
4、所述汽化塔的进料口连接于还原炉尾气管；
5、所述反应部包括两个相互并联的反应单元，每一个所述反应单元包括依次连接的半球阀、质量流量...
【技术保护点】
1.一种多晶硅冷氢化装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化装置，其特征在于，
6.一种多晶硅冷氢化工艺方法，其特征在于，使用权利要求2所述的多晶硅冷氢化装置，步骤如下：
7.根据权利要求6所述的多晶硅冷氢化工艺方法，其特征在于，
8.根据权利要求6所述的多晶硅冷氢化工艺方法，其特征在于，
<...【技术特征摘要】
1.一种多晶硅冷氢化装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的多晶硅冷氢化装置，其特征在于，
6.一种多晶硅冷氢化工艺方...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫旭，蔡春洪，姚祯，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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