【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及自动化搬运任务调度领域，尤其是涉及到一种oht小车利用率控制优化方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、amhs(automatedmaterialhandlingsystem，自动物料搬运系统)在现在的半导体晶圆厂中的应用极为广泛。在mes(manufacturingexecutionsystem，制造执行系统)的控制下，amhs可以代替人力搬运，因其稳定的特点，很大程度上避免了因运输过程中的不可控因素导致的物料的品质问题。
2、对于一个半导体制造工厂来说，引进amhs的目的就是提高生产效率，达到产能最大化。而amhs本身的搬运效率则很直接的影响着工厂的生产效率。一个完整的amhs系统包括传输硬件设备(oht、oht小车/amr、lifter等)、存储设备(foup&reticlestocker、reticlecabinet、ntb、ohcv、ohb)、净化设备(tlp、ops、fps等)及软件系统(mcs、ohtc、stkc等)。其中，oht小车是自动化物料搬送系统的重要组成部分，多个物料搬送小车(overheadhoisttransport，oht)通过在工厂的天花板下方吊装行走轨道的方式，为传输装置提供高空搬运作业支持，传输装置可以在行走轨道上移动并按实际需求运输晶圆盒，从而提高fab的生产效率，现有技术中为减少拥堵、提高空间利用率，现有技术的优化调度方法集中于路径优化，并没有考虑oht小车的装载优化、oht小车最大直线速度、转弯速度等优化条件，导致oht小车利用率不足。
3
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种oht小车利用率控制优化方法，解决现有技术中没有考虑oht小车的装载优化导致oht小车利用率不足。
2、根据本专利技术的第一方面，提供了一种oht小车利用率控制优化方法，包括：
3、获取oht小车标识；
4、根据所述oht小车标识，获取优化的搬运指令序列，其中，所述优化的搬运指令序列为以oht小车搬运距离最短为目标函数生成的优化结果，所述搬运指令序列携带oht小车标识、装载位置和放置位置；
5、将优化的搬运指令序列发送给对应的oht小车，以控制所述oht小车按照所述搬运指令序列沿轨道移动，并在指令序列中指示的装载位置拿取晶圆盒，在指令序列中指示的放置位置放置晶圆盒。
6、根据本专利技术的第二方面，提供了一种oht小车利用率控制优化装置，包括：
7、获取模块，用于获取oht小车标识；
8、优化模块，用于根据所述oht小车标识，获取优化的搬运指令序列，其中，所述优化的搬运指令序列为以oht小车搬运距离最短为目标函数生成的优化结果，所述搬运指令序列携带oht小车标识、装载位置和放置位置；
9、发送模块，用于将优化的搬运指令序列发送给对应的oht小车，以控制所述oht小车按照所述搬运指令序列沿轨道移动，并在指令序列中指示的装载位置拿取晶圆盒，在指令序列中指示的放置位置放置晶圆盒。
10、根据本专利技术的第三方面，提供了一种计算机设备，包括存储器、处理器以及存储在存储器中并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行计算机程序时实现上述的oht小车利用率控制优化方法的步骤。
11、根据本专利技术的第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现上述的oht小车利用率控制优化方法的步骤。
12、借由上述技术方案，本专利技术提供的一种oht小车利用率控制优化方法、装置、设备及介质，通过获取oht小车标识，根据所述oht小车标识，获取优化的搬运指令序列，将优化的搬运指令序列发送给对应的oht小车，以控制所述oht小车按照所述搬运指令序列沿轨道移动，并在指令序列中指示的装载位置拿取晶圆盒，在指令序列中指示的放置位置放置晶圆盒，本专利技术oht小车搬运模型，并实现了在完成所有晶圆盒搬运任务的前提下，最小化所有oht小车的总行驶距离，基于遗传算法与模拟退火算法的融合，求解该模型以获取搬运指令序列，有效提升了oht小车的利用率。
13、上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本专利技术的具体实施方式。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种OHT小车利用率控制优化方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的OHT小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述获取OHT小车标识的步骤之前，包括：
3.根据权利要求2所述的OHT小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述采用模拟退化算法对目标优化函数f进行优化，以得到每个OHT小车的最佳搬运指令序列Cbest以及目标优化函数的最优解f(Cbest)的步骤包括：
4.根据权利要求3所述的OHT小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述对卸载位置集合X和装载位置集合Y中的相同位置进行去重合并，生成去重卸载位置集合X'和去重装载位置集合Y'的步骤包括：
5.根据权利要求3所述的OHT小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述分段编码序列包括位置序列、起点位置和取放策略。
6.根据权利要求3所述的OHT小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述对分段编码序列进行扰动变换操作，以生成新的指令序列的步骤包括：
7.根据权利要求2所述的OHT小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述定义OHT小车搬运模型的步骤，包
8.一种OHT小车利用率控制优化装置，其特征在于，包括：
9.一种计算机设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7中任一项所述的OHT小车利用率控制优化方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的OHT小车利用率控制优化方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种oht小车利用率控制优化方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的oht小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述获取oht小车标识的步骤之前，包括：
3.根据权利要求2所述的oht小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述采用模拟退化算法对目标优化函数f进行优化，以得到每个oht小车的最佳搬运指令序列cbest以及目标优化函数的最优解f(cbest)的步骤包括：
4.根据权利要求3所述的oht小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述对卸载位置集合x和装载位置集合y中的相同位置进行去重合并，生成去重卸载位置集合x'和去重装载位置集合y'的步骤包括：
5.根据权利要求3所述的oht小车利用率控制优化方法，其特征在于，所述分段编码序列包括位置序列、起点位置和取放策略。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：李大龙，袁召云，王雅楠，王欢，吴壮，
申请(专利权)人：上海亿持智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。