【技术实现步骤摘要】
本技术属于前驱体供应，特别是涉及一种前驱体供应装置。
技术介绍
1、前驱体是用来合成、制备其他物质的经过特殊处理的配合料。前驱体的应用领域十分广泛，在芯片、纪念币等产品的生产制备过程中，需要向样品供应前驱体气体，以便对芯片、纪念币等样品的表面进行镀膜处理。
2、目前市面上存在一些用于前驱体供应的设备，如中国专利网上公开了一种前驱体供应装置，其公开号为cn217757648u，这种供应装置虽然可用于前驱体气体的供应，但是存在一些缺陷和不足有待改进：(1)现有的一些供应装置为了防止前驱体气体在供应时发生泄漏，通常会采用密封设计，这使得在完成芯片、纪念币等样品的表面镀膜后，不便于将成品取出，并且在前驱体气体的供应过程中难以对芯片、纪念币等样品进行有效的固定，使得样品的位置容易产生偏移，从而使得前驱体气体无法导向样品，继而影响表面镀膜的质量；(2)现有的供应装置由于结构设计的原因，大多只能从正面方向输送前驱体气体，而难以同时从多个方向对样品进行前驱体气体的供应，使得前驱体气体无法充分、均匀地接触并覆盖芯片、纪念币等样品表面的各个角度，从而降低了成品质量。因此，针对以上问题，本技术提供的一种前驱体供应装置具有重要意义。
技术实现思路
1、本技术提供了一种前驱体供应装置，通过密封盖可对供应间进行密封，以防止前驱体气体逸出，当完成芯片、纪念币等样品的表面镀膜工作后，通过打开密封盖即可很方便的将成品取出，并且通过定位组件可对样品进行有效的固定，以便提高样品的稳定性，从而防止其位置产生偏
2、为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
3、本技术的一种前驱体供应装置，包括供应间，所述供应间的顶部为敞开型，其顶部安装有密封盖，所述密封盖上开设有观察窗，其顶部两侧均固定连接有把手，所述把手分别位于观察窗的两侧，所述供应间的一侧开设有进气管，所述进气管上安装有进气阀，所述供应间的内部安装有一对定位组件，其靠近进气管一端的内壁固定连接有第一供应仓，且所述供应间的另一端内壁固定连接有第二供应仓，所述进气管的末端管口延伸至第一供应仓内，所述第一供应仓靠近第二供应仓的一侧固定连接有若干根第一供应管，其顶部和底部均固定连接有若干根导气管，所述导气管的一端管口与第一供应仓相连通，其另一端管口分别固定连接在第二供应仓的顶部和底部并与第二供应仓相连通，所述第二供应仓靠近第一供应仓的一侧开设有导气口。
4、进一步地，所述密封盖的底部固定连接有密封框，所述密封框为矩形框结构，其外壁长度和宽度分别与供应间的内壁长度和宽度对应相等，且所述密封框的外壁表面设置有一层密封圈。
5、进一步地，所述定位组件包括电动伸缩杆，所述电动伸缩杆分别安装在供应间的前侧和后侧内壁，其输出轴末端固定连接有定位板，所述定位板的侧壁开设有卡槽，所述卡槽为矩形，其顶部和底部槽壁表面均设置有一层防滑垫，所述防滑垫的表面刻有人字形防滑纹。
6、进一步地，所述第一供应管沿第一供应仓的长度方向呈线性等距分布，其一端管口与第一供应仓相连通，且所述第一供应管的末端管口呈喇叭形。
7、进一步地，所述供应间靠近第一供应仓的一端设置有一对第一导气板，所述第一导气板分别位于各个第一供应管的两侧，其靠近第一供应仓的一端呈倾斜结构，且所述第一导气板与供应间的内壁之间固定连接有若干个固定块。
8、进一步地，所述导气管沿第一供应仓和第二供应仓的长度方向呈线性等距分布，其正面呈n字形，且每根所述导气管的底部均固定连接有第二供应管，所述第二供应管的顶端管口与导气管相连通，其末端管口分别延伸至定位组件的正上方和正下方。
9、进一步地，所述第二供应仓靠近第一供应仓的一侧固定连接有一对第二导气板，所述第二导气板分别位于导气口的两侧，且所述第二导气板远离导气口的一端呈倾斜结构。
10、本技术相对于现有技术包括有以下有益效果：
11、(1)本技术中的前驱体供应装置在使用时，可通过密封盖对供应间进行密封，以防止前驱体气体逸出，当完成芯片、纪念币等样品的表面镀膜工作后，通过打开密封盖即可很方便的将成品取出，并且通过定位组件可对样品进行有效的固定，以便提高样品的稳定性，从而防止其位置产生偏移而影响表面镀膜的质量；
12、(2)本技术中的前驱体供应装置在使用时，可通过各个第一供应管有效扩大前驱体气体的供应范围，并使得前驱体气体从正面方向输送至芯片、纪念币等样品的表面，并且通过导气口和第二导气管可将前驱体气体沿着分别导向样品的后侧、上方和下方，从而可同时从多个方向对样品进行前驱体气体的供应，使得前驱体气体能够充分、均匀地接触并覆盖芯片、纪念币等样品表面的各个角度，继而大大提高了成品质量。
13、当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
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1.一种前驱体供应装置，其特征在于，包括供应间，所述供应间的顶部为敞开型，其顶部安装有密封盖，所述密封盖上开设有观察窗，其顶部两侧均固定连接有把手，所述把手分别位于观察窗的两侧，所述供应间的一侧开设有进气管，所述进气管上安装有进气阀，所述供应间的内部安装有一对定位组件，其靠近进气管一端的内壁固定连接有第一供应仓，且所述供应间的另一端内壁固定连接有第二供应仓，所述进气管的末端管口延伸至第一供应仓内，所述第一供应仓靠近第二供应仓的一侧固定连接有若干根第一供应管，其顶部和底部均固定连接有若干根导气管，所述导气管的一端管口与第一供应仓相连通，其另一端管口分别固定连接在第二供应仓的顶部和底部并与第二供应仓相连通，所述第二供应仓靠近第一供应仓的一侧开设有导气口。
2.根据权利要求1所述的一种前驱体供应装置，其特征在于，所述密封盖的底部固定连接有密封框，所述密封框为矩形框结构，其外壁长度和宽度分别与供应间的内壁长度和宽度对应相等，且所述密封框的外壁表面设置有一层密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种前驱体供应装置，其特征在于，所述定位组件包括电动伸缩杆，所述电动伸缩杆分
4.根据权利要求1所述的一种前驱体供应装置，其特征在于，所述第一供应管沿第一供应仓的长度方向呈线性等距分布，其一端管口与第一供应仓相连通，且所述第一供应管的末端管口呈喇叭形。
5.根据权利要求1所述的一种前驱体供应装置，其特征在于，所述供应间靠近第一供应仓的一端设置有一对第一导气板，所述第一导气板分别位于各个第一供应管的两侧，其靠近第一供应仓的一端呈倾斜结构，且所述第一导气板与供应间的内壁之间固定连接有若干个固定块。
6.根据权利要求1所述的一种前驱体供应装置，其特征在于，所述导气管沿第一供应仓和第二供应仓的长度方向呈线性等距分布，其正面呈n字形，且每根所述导气管的底部均固定连接有第二供应管，所述第二供应管的顶端管口与导气管相连通，其末端管口分别延伸至定位组件的正上方和正下方。
7.根据权利要求1所述的一种前驱体供应装置，其特征在于，所述第二供应仓靠近第一供应仓的一侧固定连接有一对第二导气板，所述第二导气板分别位于导气口的两侧，且所述第二导气板远离导气口的一端呈倾斜结构。
...【技术特征摘要】
1.一种前驱体供应装置，其特征在于，包括供应间，所述供应间的顶部为敞开型，其顶部安装有密封盖，所述密封盖上开设有观察窗，其顶部两侧均固定连接有把手，所述把手分别位于观察窗的两侧，所述供应间的一侧开设有进气管，所述进气管上安装有进气阀，所述供应间的内部安装有一对定位组件，其靠近进气管一端的内壁固定连接有第一供应仓，且所述供应间的另一端内壁固定连接有第二供应仓，所述进气管的末端管口延伸至第一供应仓内，所述第一供应仓靠近第二供应仓的一侧固定连接有若干根第一供应管，其顶部和底部均固定连接有若干根导气管，所述导气管的一端管口与第一供应仓相连通，其另一端管口分别固定连接在第二供应仓的顶部和底部并与第二供应仓相连通，所述第二供应仓靠近第一供应仓的一侧开设有导气口。
2.根据权利要求1所述的一种前驱体供应装置，其特征在于，所述密封盖的底部固定连接有密封框，所述密封框为矩形框结构，其外壁长度和宽度分别与供应间的内壁长度和宽度对应相等，且所述密封框的外壁表面设置有一层密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种前驱体供应装置，其特征在于，所述定位组件包括电动伸缩杆，所述电动伸缩杆分别安装在供应间的前侧和后侧内壁，其输出轴末端固定连接有定位板...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐继光，杨青山，
申请(专利权)人：上海博贝化工有限公司，
类型：新型
国别省市：
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