【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光通信监测，尤其涉及一种基于pd阵列的光芯片快速测试方法。
技术介绍
0、
技术介绍
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1、平面波导芯片是一种基于平面光波导技术的新型芯片，具有体积小、集成度高、性能稳定可靠等优点，是光通信、光传感等领域的重要器件。
2、平面波导芯片在光通信、光传感等领域具有广泛的应用前景。在光通信领域，平面波导芯片可以用于实现光信号的路由、分束、合束、调制等功能，是构建高性能、高集成度光通信系统的关键器件。在光传感领域，平面波导芯片可以用于检测微弱的、高灵敏度的光学信号，同时具有体积小、重量轻、响应快等优点。此外，平面波导芯片还可以应用于光学成像、光学测量等领域。
3、平面光波导是一种二维的光波导结构，其横截面为平面形状。与传统的光纤相比，平面光波导具有更高的集成度和更灵活的器件设计，能够实现多种复杂的光学器件和光学系统。随着光学薄膜技术、微纳加工技术和光学检测技术的发展，人们逐渐掌握了制造平面光波导的核心技术，为平面波导芯片的制造提供了可能。
4、在测试芯片的过程中，通常采用光源、芯片、功率机组成回路，以光源为起点，功率计为终点，两者与芯片之间通过光纤阵列进行光的对准耦合，以形成完整的测试通路。然后，通过光功率计测量芯片的损耗。然而，现有的芯片测试方法只能通过光纤阵列对bar条上的单颗芯片进行对准后测试，然后移动到bar条上的下一颗芯片。这种方法效率偏低，且在进行测试前，需要进行芯片波导与光纤阵列的对准检测。如果芯片首尾波导存在刻蚀缺陷，会使得光纤阵列无法与波导进行精确对准，甚至姿
5、在现有的光芯片测试过程中，存在许多问题，如一次只能测试一颗芯片，下一颗芯片的测试状态会受到上一颗芯片测试的影响，多通道输出波导与fa(光纤阵列)的对准操作复杂且费时，fa的间距与芯片波导间距相对应，不同输出波导间距的芯片测试需要更换fa测试线，清洁端面，并重新清零。这些因素影响了光芯片测试的效率和准确性。
技术实现思路
1、针对现有技术存在技术问题，本专利技术提出了一种基于pd阵列的光芯片快速测试装置及方法。本专利技术通过pd阵列来同时接收来自多个芯片的光信号；实现同时对多个芯片进行测试，同时，本专利技术能够兼容不同间距的输出波导，不需要更换测试线，这大大减少了测试时间和测试不同种类芯片所需的准备时间，并提高了测试效率；此外，本专利技术通过优化对准技术，减少了上一颗芯片测试对下一颗芯片的影响，提高了测试准确性。
2、为了解决现有技术问题，本专利技术采用如下技术方案：
3、一种基于pd阵列的光芯片快速测试方法，所述测试方法基于光芯片快速测试测试装置，所述装置包括光源输入机构、运动控制机构、光功率测试模块和计算机控制模块；所述计算机控制模块通过发出动态指令实现对光源输入机构、运动控制机构和光功率测试模块的控制；所述光源输入控制机构包括：单通fa和分路器；所述光源输入控制机构用于将光源的输出信号通过分路器等分到若干并列的单通fa上；所述运动控制机构包括：六轴调整架、位移传感器、芯片限位夹持机构；所述光功率测试模块包括pd测试阵列；所述芯片限位夹持机构用于光芯片的输出端面与所述运动控制机构保持相同距离；所述芯片限位夹持机构设置在所述单通fa与所述pd测试阵列之间；所述芯片限位夹持机构上设有限位挡板；其中：所述计算机控制模块通过如下步骤实现光芯片快速测试方法，包括：
4、s101、单通道fa与pd测试阵列完成距离和角度匹配；
5、s102、pd测试阵列接收光信号完成清零操作；
6、s103、还原单通道fa阵列固定测试芯片；
7、s104、pd测试阵列移动到光功率测试模块发出的预设位置；
8、s105、完成单通道fa与芯片输入端的接触和找平；
9、s106、芯片波导和光纤粗、细调对准；
10、s107、pd测试阵列扫描、记录功率的最大值以及坐标位置；
11、s108、判断是否结束，否则返回步骤s102。
12、进一步地，所述s101中单通道fa与pd测试阵列完成距离和角度匹配过程；包括：
13、所述计算机控制模块发送指令到左侧输入端的六轴调整架，以控制单通fa阵列的位置；所述六轴调整架在调整过程中，单通fa阵列与pd阵列端面接触，并通过位移传感器反馈的数值给计算机控制模块所述计算机控制模块根据反馈的数值，发送指令控制单通fa阵列与pd阵列之间的距离。
14、进一步地，所述s102中pd测试阵列接收光信号完成清零操作过程；包括：
15、所述计算机控制模块发送指令至左侧六轴调整架的θx和θy轴进行扫描，同时记录位移传感器变化的数值曲线；
16、所述计算机控制模块根据所述位移传感器变化的数值曲线，可以判断单通fa阵列与pd阵列是否平行；如果存在偏差，判断通过调整θx和θy轴的角度来修正偏差，使单通fa阵列与pd阵列平行；
17、所述计算机控制模块发送测试指令至激光器，使其发送光信号；所述光信号通过单通fa阵列直接传输至pd阵列进行接收；在接收到光信号后，所述运动控制机构完成清零操作。
18、进一步地，所述s105中单通道fa与芯片输入端的接触和找平过程；包括：
19、所述计算机控制模块驱动运动控制机构的左侧六轴调整架，调整单通fa阵列与芯片输入端的距离，并匹配单通fa阵列端面与芯片输入端端面的角度；
20、所述计算机控制模块驱动运动控制机构的右侧六轴调整架，将pd阵列移动到预设位置，确保pd阵列的探测区域能够覆盖所有芯片的输出端。
21、进一步地，所述s106中波导和光纤粗、细调对准过程；包括：通过pd阵列检测输出端的功率变化，所述计算机控制模块调整左侧六轴调整架的θz轴，根据pd阵列反馈的功率变化数值，所述计算机控制模块对准单通fa阵列与芯片的输入端。
22、进一步地，所述s107中pd测试阵列扫描、记录功率的最大值以及坐标位置过程；包括：
23、所述计算机控制模块发送测试指令至激光器，使其发送光信号；所述光信号通过单通fa阵列耦合进入光芯片输入端，再经输出端输出至pd阵列进行接收，并测量，计算和记录光芯片的功率损耗。
24、有益效果
25、1、本专利技术通过pd阵列来同时接收来自多个芯片的光信号；通过将光信号映射到pd阵列上，本专利技术获得多个芯片的测试结果；并且，本专利技术能够兼容不同间距的输出波导，不需要更换测试线，这大大减少了测试时间和测试不同种类芯片所需的准备时间，并提高了测试效率。
26、2、本专利技术在将光信号由单通fa阵列直接传输至pd阵列进行接收，实现同时测试多个芯片，提高了测试效率。并且，本专利技术通过优化对准技术，减少了上一颗芯片测试对下一颗芯片的影响，提高了测试准确性。
27、3、本专利技术能够兼容不同间距的输出波导，不需要更换测试线，这大大减少了测试时间本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于PD阵列的光芯片快速测试方法，所述测试方法基于光芯片快速测试测试装置，所述装置包括光源输入机构、运动控制机构、光功率测试模块和计算机控制模块；所述计算机控制模块通过发出动态指令实现对光源输入机构、运动控制机构和光功率测试模块的控制；其特征在于，所述光源输入控制机构包括：单通FA和分路器；所述光源输入控制机构用于将光源的输出信号通过分路器等分到若干并列的单通FA上；所述运动控制机构包括：六轴调整架、位移传感器、芯片限位夹持机构；所述光功率测试模块包括PD测试阵列；所述芯片限位夹持机构用于光芯片的输出端面与所述运动控制机构保持相同距离；所述芯片限位夹持机构设置在所述单通FA与所述PD测试阵列之间；所述芯片限位夹持机构上设有限位挡板；其中：所述计算机控制模块通过如下步骤实现光芯片快速测试方法，包括：
2.根据权利要求1所述的一种基于PD阵列的光芯片快速测试方法，其特征在于，所述S101中单通道FA与PD测试阵列完成距离和角度匹配过程；包括：所述计算机控制模块发送指令到左侧输入端的六轴调整架，以控制单通FA阵列的位置；所述六轴调整架在调整过程中，单通FA阵列与PD
3.根据权利要求1所述的一种基于PD阵列的光芯片快速测试方法，其特征在于，所述S102中PD测试阵列接收光信号完成清零操作过程；包括：
4.根据权利要求1所述的一种基于PD阵列的光芯片快速测试方法，其特征在于，所述S105中单通道FA与芯片输入端的接触和找平过程；包括：
5.根据权利要求1所述的一种基于PD阵列的光芯片快速测试方法，其特征在于，所述S106中波导和光纤粗、细调对准过程；包括：通过PD阵列检测输出端的功率变化，所述计算机控制模块调整左侧六轴调整架的θZ轴，根据PD阵列反馈的功率变化数值，所述计算机控制模块对准单通FA阵列与芯片的输入端。
6.根据权利要求1所述的一种基于PD阵列的光芯片快速测试方法，其特征在于，所述S107中PD测试阵列扫描、记录功率的最大值以及坐标位置过程；包括：所述计算机控制模块发送测试指令至激光器，使其发送光信号；所述光信号通过单通FA阵列耦合进入光芯片输入端，再经输出端输出至PD阵列进行接收，并测量，计算和记录光芯片的功率损耗。
...【技术特征摘要】
1.一种基于pd阵列的光芯片快速测试方法，所述测试方法基于光芯片快速测试测试装置，所述装置包括光源输入机构、运动控制机构、光功率测试模块和计算机控制模块；所述计算机控制模块通过发出动态指令实现对光源输入机构、运动控制机构和光功率测试模块的控制；其特征在于，所述光源输入控制机构包括：单通fa和分路器；所述光源输入控制机构用于将光源的输出信号通过分路器等分到若干并列的单通fa上；所述运动控制机构包括：六轴调整架、位移传感器、芯片限位夹持机构；所述光功率测试模块包括pd测试阵列；所述芯片限位夹持机构用于光芯片的输出端面与所述运动控制机构保持相同距离；所述芯片限位夹持机构设置在所述单通fa与所述pd测试阵列之间；所述芯片限位夹持机构上设有限位挡板；其中：所述计算机控制模块通过如下步骤实现光芯片快速测试方法，包括：
2.根据权利要求1所述的一种基于pd阵列的光芯片快速测试方法，其特征在于，所述s101中单通道fa与pd测试阵列完成距离和角度匹配过程；包括：所述计算机控制模块发送指令到左侧输入端的六轴调整架，以控制单通fa阵列的位置；所述六轴调整架在调整过程中，单通fa阵列与pd阵列端面接触，并通过位移传感器反馈数值...
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