一种硅片钨合金线切割液、其制备方法与应用技术

本申请公开了一种硅片钨合金线切割液、其制备方法与应用，以质量份计包括如下组分：10‑30份的润湿剂，10‑30份的增溶剂，1‑10份的第一表面活性剂，1‑5份的第二表面活性剂，0.2‑5份的磨料，1‑5份的pH调节剂，30‑50份的去离子水；第一表面活性剂同时具有亲水基团和疏水基团；第二表面活性剂具有负电荷。由于第一表面活性剂同时具有亲水基团和疏水基团，使得切割液具有高润湿性和铺展性，能够有效提高切割液对硅片和切割线表面的润湿润滑性能；同时，第二表面活性剂表面的负电荷能够将切割产生的硅粉进行排斥，对硅粉起到分散作用，防止硅粉在钨合金切割线上产生团聚，有效减少了钨合金切割线的断线情况。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于切割液领域，具体涉一种硅片钨合金线切割液、其制备方法与应用。

技术介绍

1、钨合金切割线具有更好的耐高温性、超高抗疲劳性、超高的坚韧强度等优点，但切割过程中由于硅粉大量团聚在钨合金切割线上，导致切割线的直径不均匀，从而会出现断线情况，这会直接影响硅片的切割效率以及切割良率。

2、因此，急需开发具有优异润湿性、较高切割力，且能有效减少断线问题的钨合金线切割液。

技术实现思路

1、申请目的：本申请提供一种硅片钨合金线切割液、其制备方法与应用，旨在解决钨合金切割线在切割过程的断线问题。

2、技术方案：提供一种硅片钨合金线切割液，以质量份计包括如下组分：10-30份的润湿剂，10-30份的增溶剂，1-10份的第一表面活性剂，1-5份的第二表面活性剂，0.2-5份的磨料，1-5份的ph调节剂，30-50份的去离子水。

3、其中，所述第一表面活性剂同时具有亲水基团和疏水基团；所述第二表面活性剂具有负电荷，所述第二表面活性剂用于对表面具有负电荷的物质进行排斥。

4、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片钨合金线切割液，其特征在于，以质量份计包括如下组分：10-30份的润湿剂，10-30份的增溶剂，1-10份的第一表面活性剂，1-5份的第二表面活性剂，0.2-5份的磨料，1-5份的pH调节剂，30-50份的去离子水；

2.根据权利要求1所述的一种硅片钨合金线切割液，其特征在于，所述第二表面活性剂为烷基甜菜碱，且所述烷基中的碳原子数为12-18；和/或

3.根据权利要求1所述的一种硅片钨合金线切割液，其特征在于，所述磨料的表面具有所述负电荷，选自碳化硅、碳化硼、氧化铝中的至少一种；和/或

4.根据权利要求1所述的一种硅片钨合金线切割液，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种硅片钨合金线切割液，其特征在于，以质量份计包括如下组分：10-30份的润湿剂，10-30份的增溶剂，1-10份的第一表面活性剂，1-5份的第二表面活性剂，0.2-5份的磨料，1-5份的ph调节剂，30-50份的去离子水；

2.根据权利要求1所述的一种硅片钨合金线切割液，其特征在于，所述第二表面活性剂为烷基甜菜碱，且所述烷基中的碳原子数为12-18；和/或

3.根据权利要求1所述的一种硅片钨合金线切割液，其特征在于，所述磨料的表面具有所述负电荷，选自碳化硅、碳化硼、氧化铝中的至少一种；和/或

4.根据权利要求1所述的一种硅片钨合金线切割液，其特征在于，所述ph调节剂为氢氧化钠、三乙醇胺、碳酸氢钠、磷酸氢二钠中的至少一种，用于将所述钨合金线切割液的ph值调节至8-9。

5.根据权利要求1所述的一种硅片钨合金线...

【专利技术属性】
技术研发人员：褚雨露，侯军，李传友，孙瑶，
申请(专利权)人：浙江奥首材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：