【技术实现步骤摘要】
本申请涉及制造半导体器件的方法和设备，尤其涉及一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法，系统和介质。
技术介绍
1、晶圆厂中的单片晶圆价格高昂，如果出现派工异常经济损失严重，因此晶圆厂的制造部门需要持续验证派工规则的准确性，当生产异常已经发生时更需要可以迅速定位派工异常点的分析工具。
2、然而传统的派工系统没有简单直观的策略效果分析工具，派工策略执行的结果返回是一些静态参数，分析员需要花费大量时间进行数据分析才能确认派工效果，无法迅速定位问题，且分析员必须掌握适当的数据库知识，使用门槛高。
3、有鉴于此，特提出本专利技术。
技术实现思路
1、本申请的一个目的是提供一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法，系统和介质，以动态可视化地展示派工策略的运行效果。
2、为实现上述目的，本申请的一些实施例提供了以下几个方面：
3、第一方面，本申请提供了一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法，包括：
4、获取晶圆派工策略执行所需的参数集合，所述参数集合包括自定义输入参数集合或者来源于历史策略执行产生的历史切片数据快照；
5、将所述参数集合输入至派工策略，以调试所述派工策略；
6、基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，展示内容包括派工策略的执行路线、流程节点以及对应的参数。
7、可选的，所述历史策略包括历史派工策略和当前派工策略的历史版本。
8、可选的，当所述
9、基于所述调试过程确定派工策略在不同时刻的执行路线，并突出展示当前执行的路线。
10、可选的，当所述派工策略存在至少两个流程节点时，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
11、基于所述调试过程确定所述派工策略在不同流程节点的所需参数和运行结果；
12、在当前流程节点执行时，仅展示当前流程节点的所需参数和运行结果。
13、可选的，所述在当前流程节点执行时，仅展示当前流程节点的所需参数和运行结果，包括：
14、在当前流程节点执行时，根据所述当前流程节点的特点确定模板；
15、基于所述模板展示当前流程节点的所需参数和运行结果。
16、可选的，当所述派工策略存在至少两个流程节点时，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
17、基于所述调试过程确定所述派工策略在不同流程节点间的变化，并突出显示变化的参数；
18、基于所述调试过程判断所述派工策略的异常流程节点，并突出显示所述异常流程节点。
19、可选的，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
20、根据动态可视化的展示结果与标准结果进行效果评估。
21、第二方面，本申请还提供了一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法，包括：
22、将初始传参输入至派工策略；
23、在所述派工策略的执行过程中生成切片数据快照；
24、基于所述切片数据快照进行动态可视化展示和效果评估，展示内容包括派工策略的执行路线、流程节点以及对应的参数。
25、第三方面，本申请还提供一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估系统，包括：
26、服务端，用于获取晶圆派工策略执行所需的参数集合，所述参数集合包括自定义输入参数集合或者来源于历史策略执行产生的历史切片数据快照；将所述参数集合输入至派工策略，以调试所述派工策略；或者，用于将初始传参输入至派工策略，在所述派工策略的执行过程中生成切片数据快照；
27、所述前端，用于基于所述参数集合在派工策略中的调试过程或者所述派工策略执行过程中生成的切片数据快照进行动态可视化展示和效果评估，展示内容包括派工策略的执行路线、流程节点以及对应的参数。
28、第四方面，本申请还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令可被处理器执行以实现如上所述的任一项晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法。
29、相对于传统的派工系统仅提供静态的策略运行参数，本专利技术提供了一种便捷高效的可展示策略效果的展示和评估系统，派工策略分析人员可事前、事后多维度分析策略运行效果，提升派工策略的准确性和精确度。
30、相对于传统派工系统选择性记录相关参数无法完全还原历史派工场景，本专利技术通过流水日志将历史派工场景的切片数据快照进行了保存，为真正意义上实现历史派工场景重现奠定了基础，策略效果评估结果可信度更高。
31、用户在进行策略效果评估的时候面对的不再是一些静态数据而是可点击进而动态变化的节点信息，直观展示了派工策略运行结果，普通业务人员也可以进行效果分析，降低了对分析人员的技术要求；此外由于不再是对海量数据的分析，可帮助分析人员快速定位问题，降低异常情况对工厂产能的负面影响，创造经济效益；高效的策略效果评估系统也缩短了派工策略效果分析周期，从而加快策略优化速度，快速提升派工系统的派工质量，最终帮助晶圆厂提升产能，带来更高收益。
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1.一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述历史策略包括历史派工策略和当前派工策略的历史版本。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述派工策略存在至少两条执行路线时，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述派工策略存在至少两个流程节点时，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述在当前流程节点执行时，仅展示当前流程节点的所需参数和运行结果，包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述派工策略存在至少两个流程节点时，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
8.一种晶圆派工策
9.一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估系统，其特征在于，包括：
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令可被处理器执行以实现如权利要求1-8任一项所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆派工策略动态可视化展示和评估方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述历史策略包括历史派工策略和当前派工策略的历史版本。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述派工策略存在至少两条执行路线时，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述派工策略存在至少两个流程节点时，所述基于所述参数集合在派工策略中的调试过程进行动态可视化展示和效果评估，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述在当前流程节点执行时，仅展示当前流程节点的所需参数和...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨哲，
申请(专利权)人：上海朋熙半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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