一种外延结构及激光电池的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种外延结构及激光电池的制备方法，所述外延结构中在变质缓冲层背离第一衬底的一侧设置有第一膜层，第一膜层可以为腐蚀截止层或牺牲层，当第一膜层为腐蚀截止层时，由于第一腐蚀溶液无法对腐蚀截止层进行腐蚀，所以有效实现了变质缓冲层的去除，进而有效阻挡了第一腐蚀溶液对剩余外延结构的腐蚀；当第一膜层为牺牲层时，由于第二腐蚀溶液对牺牲层与变质缓冲层的腐蚀具有选择差异，会优先腐蚀掉牺牲层，从而有效实现了对第一衬底、缓冲层以及变质缓冲层的去除；由于腐蚀截止层或牺牲层可以让变质缓冲层的去除更易于实现，使得后续制备高性能与高可靠性的器件的变得更加容易，解决了变质缓冲层对器件性能和可靠性影响的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体，更具体地说，涉及一种外延结构及激光电池的制备方法。

技术介绍

1、激光无线能量传播是利用激光发射模块，先将电能转变为激光，然后通过激光聚焦模块集中校准后进行发射传送，可以通过空气、光纤或其他介质传送，在接收端利用激光光电转换电池，将激光转化为电能。

2、激光无线能量传播所需要的设备，质量和体积都要远小于微波传播装置，用于传播能量的激光，具有方向性好、单色性好、能量集中等优点，所以在人造飞行器、卫星群、航天领域等领域都受到关注，激光无线能量传播在中远距离传输方面具有重要的应用前景。

3、激光在大气中传输存在由吸收、散射、折射等引起的损耗，在大气窗口中常用的激光的波长主要有808nm和1064nm；不同材料的激光电池在不同波长的激光照射下的光电转换效率不同，以gaas材料为体系的激光电池与中心波长为808nm的激光相匹配。

4、现有的，nd:yag固体激光器发射的激光波长为1064nm，其激光功率相比808nm的半导体激光器高；1064nm波长的激光需要采用in0.24gaas激光电池来吸收和转化电能；本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种外延结构，其特征在于，所述外延结构包括：

2.根据权利要求1所述外延结构，其特征在于，当所述第一膜层为腐蚀截止层时，所述腐蚀截止层为GaInP腐蚀截止层。

3.根据权利要求1所述的外延结构，其特征在于，当所述第一膜层为腐蚀截止层时，在第一方向上，所述腐蚀截止层的厚度范围为30nm-300nm，所述第一方向垂直于所述第一衬底所在平面。

4.根据权利要求1所述的外延结构，其特征在于，所述第一膜层为牺牲层时，所述牺牲层为InAlAs牺牲层。

5.根据权利要求1所述的外延结构，其特征在于，所述第一膜层为牺牲层时，在第一方向上，所述牺牲层的厚...

【技术特征摘要】

1.一种外延结构，其特征在于，所述外延结构包括：

2.根据权利要求1所述外延结构，其特征在于，当所述第一膜层为腐蚀截止层时，所述腐蚀截止层为gainp腐蚀截止层。

3.根据权利要求1所述的外延结构，其特征在于，当所述第一膜层为腐蚀截止层时，在第一方向上，所述腐蚀截止层的厚度范围为30nm-300nm，所述第一方向垂直于所述第一衬底所在平面。

4.根据权利要求1所述的外延结构，其特征在于，所述第一膜层为牺牲层时，所述牺牲层为inalas牺牲层。

5.根据权利要求1所述的外延结构，其特征在于，所述第一膜层为牺牲层时，在第一方向上，所述牺牲层的厚度范围为5nm-50nm，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴真龙，陈阳雨，张策，
申请(专利权)人：扬州乾照光电有限公司，
类型：发明
国别省市：