一种触发氙灯的高压脉冲电源电路制造技术

本发明专利技术公开了一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，包括升压电路、交流倍压整流电路、高压脉冲电路，所述的升压电路的输入端连接至电源VCC，用于产生交流升压电源；所述的升压电路的输出端连接至交流倍压整流电路，所述交流倍压整流电路用于对升压电路输出的交流升压电源进行倍压整流，其输出端连接至高压脉冲电路，所述高压脉冲电路用于产生高压脉冲电源至氙灯的供电端。本发明专利技术的优点在于：电路只需要一个内置MOS管的PWM控制芯片就可以满足触发氙灯的高压脉冲电源电路控制所需。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及高压脉冲电源领域，特别涉及一种触发氙灯的高压脉冲电源电路。

技术介绍

1、随着集成电路的不断国产化，以及分析仪器相关领域的高速发展，对于集成电路制造必备设备光刻机与分析仪器等所需光源的要求也越来越高，短弧球形脉冲氙灯由于其脉冲发光特点，单次闪光功率高而平均功率低、紫外占比高及便由操作等优点，在现代分析仪器领域越来越受重视，且是光刻机中首选光源发生器。简单可靠的高压脉冲触发电源对保证氙灯工作稳定、提高能量输出等至关重要。

2、然而，一般的高压脉冲电源电路都比较复杂，或者因引入高频开关充电电源、固态开关与升压高压脉冲变压器等，而造成高压脉冲电源成本高、体积大，较难满足氙灯大批量触发控制要求。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，通过设计一种简单可靠的电路来实现高压脉冲电源以匹配氙灯的供电触发需求。

2、为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案为：一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，包括升压电路、交流倍压整流电路、高压脉冲本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，其特征在于：包括升压电路、交流倍压整流电路、高压脉冲电路，所述的升压电路的输入端连接至电源VCC，用于产生交流升压电源；所述的升压电路的输出端连接至交流倍压整流电路，所述交流倍压整流电路用于对升压电路输出的交流升压电源进行倍压整流，其输出端连接至高压脉冲电路，所述高压脉冲电路用于产生高压脉冲电源至氙灯的供电端。

2.如权利要求1所述的一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，其特征在于：所述的高压脉冲电源电路还包括与升压电路同步控制的辅助恒流电路，其用于向氙灯Q1提供恒流供电通路以达到辅助恒流供电。

3.如权利要求1或2所述的一种触发氙灯...

【技术特征摘要】

1.一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，其特征在于：包括升压电路、交流倍压整流电路、高压脉冲电路，所述的升压电路的输入端连接至电源vcc，用于产生交流升压电源；所述的升压电路的输出端连接至交流倍压整流电路，所述交流倍压整流电路用于对升压电路输出的交流升压电源进行倍压整流，其输出端连接至高压脉冲电路，所述高压脉冲电路用于产生高压脉冲电源至氙灯的供电端。

2.如权利要求1所述的一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，其特征在于：所述的高压脉冲电源电路还包括与升压电路同步控制的辅助恒流电路，其用于向氙灯q1提供恒流供电通路以达到辅助恒流供电。

3.如权利要求1或2所述的一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，其特征在于：所述升压电路包括升压变压器t1和内置mos管的pwm控制芯片n1，所述pwm控制芯片n1在初级侧控制电源vcc对升压变压器的充电以控制升压变压器t1的工作。

4.如权利要求3所述的一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，其特征在于：电源vcc经电感l1连接至升压变压器t1的初级侧的一端，初级侧的另一端连接至控制芯片n1对应的mos管的接口，用于对升压变压器t1进行控制；电源vcc经电容柜c1接地；电源vcc经依次串联的电阻r1、电容c2后接地，在电容c2和电阻r1之间引出端子连接至控制芯片n1的供电源；升压变压器t1的次级侧连接至倍压整流电路。

5.如权利要求1-4任一所述的一种触发氙灯的高压脉冲电源电路，其特征在于：高压脉冲电路包括高压脉冲变压器t2，其用于倍压整流后的电压转换成高压脉冲后加载在氙灯的供电正极上。

6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔勇，蒲育勤，杜文韬，方承，
申请(专利权)人：芜湖国睿兆伏电子有限公司，
类型：发明
国别省市：