一种基于体光伏效应的自供电型光电探测器及其制备方法技术

本申请公开一种基于体光伏效应的自供电型光电探测器及其制备方法，自供电型光电探测器自下而上包括：衬底、位于衬底上的金属电极、第一层石墨电极、光吸收层材料和第二层石墨电极。其中，所述光吸收层的材料为α‑In<subgt;2</subgt;Se<subgt;3</subgt;，厚度为10‑30nm。本申请利用α‑In<subgt;2</subgt;Se<subgt;3</subgt;的体光伏效应，能够有效分离光生电子‑空穴对，实现自供电光探测。通过本申请可以实现宽光谱光电响应、工作温度范围宽、自供电和制作简易等优异功能。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光电探测，具体涉及一种基于体光伏效应的自供电型光电探测器及其制备方法。

技术介绍

1、光电探测技术将光信号转换为电信号，在光通信、生物成像、环境监控等技术应用中发挥着重要的作用。未来高集成光电探测器需要具备高响应度、快速响应和出色的机械灵活性等多方面的优势。然而，供电系统的存在阻碍了器件的小型化，不利于下一代便携式、节能型光电器件的发展。因此，自供电特性成为新型光电子器件的主要要求。

2、自供电光电探测器无需外部电源，仅依靠器件本身的内建电场实现光生载流子分离。自供电光探测器能够满足新一代纳米器件对小尺寸、轻重量和低功耗的需求，因此备受关注并进行广泛的研究。

3、目前自供电光电探测器根据器件界面的类型主要分为pn结型，肖特基型和光电化学型。其中，pn结光电探测器和肖特基结光电探测器利用内建电场促进光生电子-空穴对的分离；光电化学型探测器利用电极材料与电解质之间的能量势垒促进光生电子-空穴对的分离。前两者需要复杂界面工程和制造工艺，后者器件制造复杂。除了这三种常见类型，体光伏效应型自供电光电探测器则利用非中心对称结构材料的自本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于体光伏效应的自供电型光电探测器，其特征在于，包括：衬底、位于衬底上的第一金属电极、第二金属电极、第一层石墨电极和第二层石墨电极，以及位于所述第一层石墨电极和第二层石墨电极之间的光吸收层；

2.根据权利要求1所述的基于体光伏效应的自供电型光电探测器，其特征在于，所述衬底为SiO2/Si衬底。

3.根据权利要求1所述的自供电型光电探测器，其特征在于，所述金属电极，包含Ti和Au，其中Ti的厚度为5-10nm；Au的厚度为20-30nm。

4.根据权利要求1所述的基于体光伏效应的自供电型光电探测器，其特征在于，所述第一层石墨电极和第二层石墨电极为...

【技术特征摘要】

1.一种基于体光伏效应的自供电型光电探测器，其特征在于，包括：衬底、位于衬底上的第一金属电极、第二金属电极、第一层石墨电极和第二层石墨电极，以及位于所述第一层石墨电极和第二层石墨电极之间的光吸收层；

2.根据权利要求1所述的基于体光伏效应的自供电型光电探测器，其特征在于，所述衬底为sio2/si衬底。

3.根据权利要求1所述的自供电型光电探测器，其特征在于，所述金属电极，包含ti和au，其中ti的厚度为5-10nm；au的厚度为20-30nm。

4.根据权利要求1所述的基于体光伏效应的自供电型光电探测器，其特征在于，所述第一层石墨电极和第二层石墨电极为薄层石墨电极。

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【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓娟，刘海云，熊启华，
申请(专利权)人：北京量子信息科学研究院，
类型：发明
国别省市：