System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种石英晶片检测装置制造方法及图纸_技高网

一种石英晶片检测装置制造方法及图纸

技术编号:40938343 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 14:56
本发明专利技术中公开了一种石英晶片检测装置,涉及石英晶片检测技术领域;具体包括机座,所述机座的上方设置有圆形结构的检测工位,且机座的顶部安装有用于带动检测工位旋转运动的工位旋转电机,所述检测工位的顶部设置有多个等距离分布的检测台,且检测台的内部安装有用于观察石英晶片外观缺陷的环形补光灯。本发明专利技术中主观测摄像机、副观测摄像机和外观缺陷摄像机收集石英晶片上下表面多角度、多位置的石英晶片外观影像,提高检测准确性,根据石英晶片在光线照射角度变化时,其表面显示光斑与预设图像比对,快速判断石英晶片外观是否存在缺陷,检测过程快,且无需对石英晶片进行夹持和倾斜,避免检测过程中对石英晶片造成损伤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英晶片检测,尤其涉及一种石英晶片检测装置


技术介绍

1、石英晶体谐振器是一种生活中随处可见的电子器件,因具有较高的品质因数及良好的频率稳定性,被广泛应用于航天、通信、军事等工业领域,制造石英晶体谐振器的原材料就是石英,一种非常重要的压电材料。其主要特征是其原子或分子有规律排列,反映在宏观上是外形的对称性,在电场的作用下,晶体内部产生应力而形变,从而产生机械振动,获得特定的频率。石英晶体谐振器就是利用它的这种逆压电效应特性来制造的。

2、石英晶体谐振器主要由石英晶片、基座、外壳、银胶、银等成分组成,而石英晶片的加工过程是先将晶砣切割成一个个石英晶片,然后再将这些石英晶片进行封装成半导体晶片,因此,石英晶片半成品的品控至关重要,对石英晶片需要进行严格分选才能投入进一步的加工生产,目前针对石英晶片的检测问题,一般采用人工目测方式,需要在检测光线下,不断的偏转石英晶片的角度,利用石英晶片表面瑕疵对于光线的反射、折射等不同状态,在石英晶片表面形成光斑,以此判断石英晶片的外观是否存在缺陷,但石英晶片的尺寸小、取放过程中易破损,人工目测容易造成主观偏差,检测的效率低下。

3、有鉴于此,本专利技术提供一种石英晶片检测装置,以解决上述现有技术中存在的技术问题。


技术实现思路

1、基于
技术介绍
存在的技术问题,本专利技术提出了一种石英晶片检测装置。

2、本专利技术提出的一种石英晶片检测装置,包括机座,所述机座的上方设置有圆形结构的检测工位,且机座的顶部安装有用于带动检测工位旋转运动的工位旋转电机,所述检测工位的顶部设置有多个等距离分布的检测台,且检测台的内部安装有用于观察石英晶片外观缺陷的环形补光灯,所述机座的顶部还安装有升降机构和气源机构,所述升降机构的侧面安装有连接支架,且连接支架的底部安装有步进马达,所述步进马达的输出轴底端安装有遮光罩,且遮光罩的底部安装有环状结构的晶片定位机构,所述晶片定位机构依靠气源机构中的压缩空气运行,所述晶片定位机构的内部安装有半球状结构的检测罩,且检测罩的内部顶端安装有主观测摄像机,所述环形补光灯的中央安装有副观测摄像机,所述检测罩的底部安装有与检测台外侧转动连接的支撑环,所述检测罩的外侧设置有石英晶片外观缺陷检测机构,且石英晶片外观缺陷检测机构设置有在检测罩内部同步运动的外观缺陷检测射灯和外观缺陷摄像机。

3、本专利技术中优选地,所述升降机构包括导向轨道和在导向轨道内部滑动的升降块,所述导向轨道的内部转动安装有螺纹丝杠,且升降块与螺纹丝杠螺接,所述升降块的顶部安装有与螺纹丝杠传动连接的升降驱动马达,所述螺纹丝杠的底部螺接有限位套,且限位套的顶部安装有旋转连接环。

4、本专利技术中优选地,所述气源机构包括恒压储气罐,和对恒压储气罐内部冲压的气泵,所述恒压储气罐与晶片定位机构之间安装有三通电磁阀,且三通电磁阀的一个出口排空设置。

5、本专利技术中优选地,所述晶片定位机构包括安装于检测罩外侧的环箍,且环箍的内部设置有恒压腔,所述环箍的一侧设置有充压管,所述恒压腔的内部安装有多个环形阵列分布的气动伸缩杆。

6、本专利技术中优选地,所述气动伸缩杆包括安装于恒压腔内壁上的筒体,且筒体的内部滑动安装有阻尼活塞,所述阻尼活塞的一端与恒压腔内壁之间安装有拉簧,且阻尼活塞的另一端安装有用于推动石英晶片的弹性杆。

7、本专利技术中优选地,所述检测罩的顶部安装有固定管,所述检测罩的底部设置有过渡环部,且过渡环部的外侧设置有多个与弹性杆滑动连接的导向滑孔。

8、本专利技术中优选地,所述石英晶片外观缺陷检测机构包括安装于石英晶片上方的一对安装架,且两个安装架的内侧均转动安装有两个相互啮合连接的驱动杆,两个同一侧位置的所述驱动杆之间滑动安装有推动连杆,外观缺陷检测射灯和外观缺陷摄像机的外端分别与两个推动连杆转动连接,所述安装架的外侧安装有与其中一个驱动杆传动连接的调节马达,且安装架的外侧还安装有与另一个驱动杆同步运动的角度传感器。

9、本专利技术中优选地,所述检测罩的顶部两侧均设置有弧形结构的限位滑槽,且外观缺陷检测射灯、外观缺陷摄像机的中部均设置有嵌装部,嵌装部与限位滑槽内壁相适配。

10、本专利技术中优选地,所述检测罩和遮光罩的内壁均设置有用于降低干扰光线的吸光涂层。

11、与现有技术相比,本专利技术提供了一种石英晶片检测装置,具备以下有益效果:

12、本专利技术中,设置有晶片定位机构,在检测过程中将石英晶片放置于环形补光灯上,移动至晶片定位机构下方后,晶片定位机构在升降机构带动下,将检测台上端包覆在晶片定位机构、检测罩中,晶片定位机构在气源机构中的压缩空气驱动下,将石英晶片推动至检测罩的球心位置,通过主观测摄像机、副观测摄像机拍摄石英晶片上下两侧的外观影像,之后,环形补光灯关闭,石英晶片外观缺陷检测机构启动,外观缺陷检测射灯发射光线照射在石英晶片表面,外观缺陷摄像机拍摄此刻石英晶片外观影像,同时,外观缺陷检测射灯与外观缺陷摄像机同步运动,且步进马达带动检测罩在石英晶片外侧旋转运动,主观测摄像机、副观测摄像机和外观缺陷摄像机收集石英晶片上下表面多角度、多位置的石英晶片外观影像,提高检测准确性,根据石英晶片在光线照射角度变化时,其表面显示光斑与预设图像比对,快速判断石英晶片外观是否存在缺陷,检测过程快,且无需对石英晶片进行夹持和倾斜,避免检测过程中对石英晶片造成损伤。

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【技术保护点】

1.一种石英晶片检测装置,包括机座(1),所述机座(1)的上方设置有圆形结构的检测工位(2),且机座(1)的顶部安装有用于带动检测工位(2)旋转运动的工位旋转电机(3),所述检测工位(2)的顶部设置有多个等距离分布的检测台(4),且检测台(4)的内部安装有用于观察石英晶片外观缺陷的环形补光灯(15),其特征在于,所述机座(1)的顶部还安装有升降机构(10)和气源机构(13),所述升降机构(10)的侧面安装有连接支架(9),且连接支架(9)的底部安装有步进马达(8),所述步进马达(8)的输出轴底端安装有遮光罩(6),且遮光罩(6)的底部安装有环状结构的晶片定位机构(5),所述晶片定位机构(5)依靠气源机构(13)中的压缩空气运行,所述晶片定位机构(5)的内部安装有半球状结构的检测罩(12),且检测罩(12)的内部顶端安装有主观测摄像机(7),所述环形补光灯(15)的中央安装有副观测摄像机,所述检测罩(12)的底部安装有与检测台(4)外侧转动连接的支撑环(14),所述检测罩(12)的外侧设置有石英晶片外观缺陷检测机构(11),且石英晶片外观缺陷检测机构(11)设置有在检测罩(12)内部同步运动的外观缺陷检测射灯(117)和外观缺陷摄像机(116)。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述升降机构(10)包括导向轨道(101)和在导向轨道(101)内部滑动的升降块(104),所述导向轨道(101)的内部转动安装有螺纹丝杠(105),且升降块(104)与螺纹丝杠(105)螺接,所述升降块(104)的顶部安装有与螺纹丝杠(105)传动连接的升降驱动马达(106),所述螺纹丝杠(105)的底部螺接有限位套(102),且限位套(102)的顶部安装有旋转连接环(103)。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述气源机构(13)包括恒压储气罐,和对恒压储气罐内部冲压的气泵,所述恒压储气罐与晶片定位机构(5)之间安装有三通电磁阀,且三通电磁阀的一个出口排空设置。

4.根据权利要求3所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述晶片定位机构(5)包括安装于检测罩(12)外侧的环箍(51),且环箍(51)的内部设置有恒压腔(54),所述环箍(51)的一侧设置有充压管(52),所述恒压腔(54)的内部安装有多个环形阵列分布的气动伸缩杆(53)。

5.根据权利要求4所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述气动伸缩杆(53)包括安装于恒压腔(54)内壁上的筒体(531),且筒体(531)的内部滑动安装有阻尼活塞(533),所述阻尼活塞(533)的一端与恒压腔(54)内壁之间安装有拉簧(532),且阻尼活塞(533)的另一端安装有用于推动石英晶片的弹性杆(534)。

6.根据权利要求5所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述检测罩(12)的顶部安装有固定管(121),所述检测罩(12)的底部设置有过渡环部(123),且过渡环部(123)的外侧设置有多个与弹性杆(534)滑动连接的导向滑孔(124)。

7.根据权利要求6所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述石英晶片外观缺陷检测机构(11)包括安装于石英晶片上方的一对安装架(111),且两个安装架(111)的内侧均转动安装有两个相互啮合连接的驱动杆(113),两个同一侧位置的所述驱动杆(113)之间滑动安装有推动连杆(115),外观缺陷检测射灯(117)和外观缺陷摄像机(116)的外端分别与两个推动连杆(115)转动连接,所述安装架(111)的外侧安装有与其中一个驱动杆(113)传动连接的调节马达(114),且安装架(111)的外侧还安装有与另一个驱动杆(113)同步运动的角度传感器(112)。

8.根据权利要求7所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述检测罩(12)的顶部两侧均设置有弧形结构的限位滑槽(122),且外观缺陷检测射灯(117)、外观缺陷摄像机(116)的中部均设置有嵌装部,嵌装部与限位滑槽(122)内壁相适配。

9.根据权利要求1所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述检测罩(12)和遮光罩(6)的内壁均设置有用于降低干扰光线的吸光涂层。

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【技术特征摘要】

1.一种石英晶片检测装置,包括机座(1),所述机座(1)的上方设置有圆形结构的检测工位(2),且机座(1)的顶部安装有用于带动检测工位(2)旋转运动的工位旋转电机(3),所述检测工位(2)的顶部设置有多个等距离分布的检测台(4),且检测台(4)的内部安装有用于观察石英晶片外观缺陷的环形补光灯(15),其特征在于,所述机座(1)的顶部还安装有升降机构(10)和气源机构(13),所述升降机构(10)的侧面安装有连接支架(9),且连接支架(9)的底部安装有步进马达(8),所述步进马达(8)的输出轴底端安装有遮光罩(6),且遮光罩(6)的底部安装有环状结构的晶片定位机构(5),所述晶片定位机构(5)依靠气源机构(13)中的压缩空气运行,所述晶片定位机构(5)的内部安装有半球状结构的检测罩(12),且检测罩(12)的内部顶端安装有主观测摄像机(7),所述环形补光灯(15)的中央安装有副观测摄像机,所述检测罩(12)的底部安装有与检测台(4)外侧转动连接的支撑环(14),所述检测罩(12)的外侧设置有石英晶片外观缺陷检测机构(11),且石英晶片外观缺陷检测机构(11)设置有在检测罩(12)内部同步运动的外观缺陷检测射灯(117)和外观缺陷摄像机(116)。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述升降机构(10)包括导向轨道(101)和在导向轨道(101)内部滑动的升降块(104),所述导向轨道(101)的内部转动安装有螺纹丝杠(105),且升降块(104)与螺纹丝杠(105)螺接,所述升降块(104)的顶部安装有与螺纹丝杠(105)传动连接的升降驱动马达(106),所述螺纹丝杠(105)的底部螺接有限位套(102),且限位套(102)的顶部安装有旋转连接环(103)。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶片检测装置,其特征在于,所述气源机构(13)包括恒压储气罐,和对恒压储气罐内部冲压的气泵,所述恒压储气罐与晶片定位机构(5)之间安装有三通电磁阀,且三通电磁阀的一个出口排空设置。

4.根据权利要求3所述的一种石英晶片检测装...

【专利技术属性】
技术研发人员:李杰陈敏
申请(专利权)人:浙江汇隆晶片技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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