功率半导体器件测试温度确定方法及系统技术方案

技术编号:40933265 阅读:30 留言:0更新日期:2024-04-18 14:53
本申请公开了一种功率半导体器件测试温度确定方法及系统,方法包括:为试验箱内的器件设置0偏压,并设置试验箱为预设温度和预设相对湿度,待运行第一预设时长后测试器件结温并作为标定结温;将器件的偏压升高到预设比例的阻断电压,并从预设温度调整试验箱的温度,待运行第二预设时长后测量器件的当前结温;根据器件的当前结温与标定结温调整试验箱的温度,将器件的当前结温等于标定结温时的试验箱的温度确定为测试温度。本申请公开的技术方案,通过不断调整试验箱的温度以及测试器件的当前结温使得当前结温与标定结温一致,将当前结温等于标定结温时的试验箱的温度作为器件的测试温度,以减少器件表面相对湿度的下降,从而提高器件测试准确性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及功率半导体器件,尤其涉及一种功率半导体器件测试温度确定方法及系统


技术介绍

1、以第三代半导体材料开发的各类功率半导体器件相较于传统硅半导体器件而言,应用环境恶劣,对可靠性要求高,适用于第一代半导体硅器件的h3trb(高湿高温反偏测试)的试验条件出现了一定局限性,于是,根据市场需求和现场故障经验总结,诞生了hv-h3trb(高温高湿高压反偏测试)的相关测试方法。

2、目前,对于第三代功率半导体器件的测试,hv-h3trb与h3trb的不同在于,取消了偏压≤100v的限制。对于第三代半导体功率器件,其阻断电压能做到千伏级别,80%阻断电压相对于100v高了一个数量级,在此情况下,功率半导体器件会因自热效应而导致结温升高,与环境温度的温度梯度过大,水汽传输路径受阻,使得功率半导体器件相对湿度下降较多,从而降低对功率半导体器件的测试准确性。

3、综上所述,如何便于提高功率半导体器件的测试准确性,是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。


技术实现思路

1、有鉴于此,本申请的目的是提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,从所述预设温度调整所述试验箱的温度,包括:

3.根据权利要求2所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,根据所述功率半导体器件的当前结温与所述标定结温调整所述试验箱的温度,包括:

4.根据权利要求3所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,下调所述试验箱温度,包括:

5.根据权利要求2至4任一项所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,从所述预设温度下调所述试验箱的温度,包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,从所述预设温度调整所述试验箱的温度,包括:

3.根据权利要求2所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,根据所述功率半导体器件的当前结温与所述标定结温调整所述试验箱的温度,包括:

4.根据权利要求3所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,下调所述试验箱温度,包括:

5.根据权利要求2至4任一项所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,从所述预设温度下调所述试验箱的温度,包括:

6.根据权利要求1所述的功率半导体器件测试温度确定方法,其特征在于,在...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑贵方庞振江占兆武温雷文豪卜小松
申请(专利权)人:深圳智芯微电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1