一种晶圆专用储存架制造技术

本技术公开了一种晶圆专用储存架，包括放置架，所述放置架的内侧等距设置有多个层架，所述层架的内侧开设有放置槽，所述层架上位于放置槽的外侧还开设有U型槽口，所述层架的两端设置有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有转杆，所述放置槽的内侧位于螺纹杆的一端安装有夹板，所述夹板的一侧设置有夹块，所述夹块的一端设置有限位杆；通过设置的该可调节的储存架，当使用该储存架放置晶圆时，若需要存放不同规格与类型的晶圆时，可调节层架的大小，使得在该储存架上可放置不同类型大小的晶圆，且放置时还可进行夹持，保证晶圆放置的稳定性，避免晶圆放置后移动或运输过程中，晶圆掉落，从而提高了该装置的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶圆储存架，具体涉及一种晶圆专用储存架。

技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

2、在申请号为201610877792.x的专利中，公开了晶圆专用储存架，通过间隔设置的支撑框，晶圆的安放操作简单，支撑框可调节角度，方便储存架根据需要置入包装箱中，使用方便，但是在该储存架使用时，安放槽的大小固定，当放置不同类型的晶圆时，无法稳定放置，移动或者放置过程中，晶圆容易晃动掉落，影响晶圆放置时的稳定性，降低该储存架的实用性的问题，为此我们提出一种晶圆专用储存架。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种晶圆专用储存架，以解决上述
技术介绍
中提出的在该储存架使用时，安放槽的大小固定，当放置不同类型的晶圆时，无法稳定放置，移动或者放置过程中，晶圆容易晃动掉落，影响晶圆放置时的稳定性，降低该储存架的实用性的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆专用储存架，包括放置架，所述放置架的内侧等距设置有多个层架，所述层架的内侧开设有放置槽，所述层架上位于放置槽的外侧还开设有u型槽口，所述层架的两端设置有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有转杆，所述放置槽的内侧位于螺纹杆的一端安装有夹板，所述夹板的一侧设置有夹块，所述夹块的一端设置有限位杆，所述限位杆上安装有弹簧，所述限位杆的一端设置有限位板，所述夹块的另一端设置有橡胶垫片。

3、优选的，所述夹板通过螺纹杆在所述u型槽口内限位移动。

4、优选的，所述夹板的表面开设有限位孔，所述夹块与夹板之间通过限位杆贯穿限位孔，且所述夹块的与夹板之间通过限位板限位在限位孔内。

5、优选的，所述放置槽的内侧对称设置有两个夹板，且两个夹板上均设置以后夹块，同时两个夹块的一侧均设置有带有弧面的橡胶垫片。

6、优选的，所述层架的外侧安装有防尘罩，所述层架的表面设置有卡座，所述层架的外侧嵌设安装有密封条，所述防尘罩的内侧对称设置有卡块。

7、优选的，所述防尘罩与层架之间通过卡座、卡块卡接，同时还通过密封条接触密封。

8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

9、(1)通过设置的该可调节的储存架，当使用该储存架放置晶圆时，若需要存放不同规格与类型的晶圆时，可调节层架的大小，使得在该储存架上可放置不同类型大小的晶圆，且放置时还可进行夹持，保证晶圆放置的稳定性，避免晶圆放置后移动或运输过程中，晶圆掉落，从而提高了该装置的稳定性；

10、(2)同时在层架上还设置有防尘用的防尘罩，且防尘罩通过卡设拆装，方便快捷，当晶圆放置在层架中后，为了防止灰尘等落在晶圆表面，可通过防尘罩的作用，将层架罩设，防止灰尘等落在晶圆的表面，影响晶圆的洁净度，更好的存放晶圆，提高了该储存架的实用性与便捷性。

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【技术保护点】

1.一种晶圆专用储存架，包括放置架(100)，其特征在于：所述放置架(100)的内侧等距设置有多个层架(101)，所述层架(101)的内侧开设有放置槽(102)，所述层架(101)上位于放置槽(102)的外侧还开设有U型槽口(103)，所述层架(101)的两端设置有螺纹杆(201)，所述螺纹杆(201)上设置有转杆(202)，所述放置槽(102)的内侧位于螺纹杆(201)的一端安装有夹板(200)，所述夹板(200)的一侧设置有夹块(203)，所述夹块(203)的一端设置有限位杆(204)，所述限位杆(204)上安装有弹簧(207)，所述限位杆(204)的一端设置有限位板(205)，所述夹块(203)的另一端设置有橡胶垫片(206)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述夹板(200)通过螺纹杆(201)在所述U型槽口(103)内限位移动。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述夹板(200)的表面开设有限位孔，所述夹块(203)与夹板(200)之间通过限位杆(204)贯穿限位孔，且所述夹块(203)的与夹板(200)之间通过限位板(205)限位在限位孔内。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述放置槽(102)的内侧对称设置有两个夹板(200)，且两个夹板(200)上均设置以后夹块(203)，同时两个夹块(203)的一侧均设置有带有弧面的橡胶垫片(206)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述层架(101)的外侧安装有防尘罩(300)，所述层架(101)的表面设置有卡座(302)，所述层架(101)的外侧嵌设安装有密封条(301)，所述防尘罩(300)的内侧对称设置有卡块(303)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述防尘罩(300)与层架(101)之间通过卡座(302)、卡块(303)卡接，同时还通过密封条(301)接触密封。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆专用储存架，包括放置架(100)，其特征在于：所述放置架(100)的内侧等距设置有多个层架(101)，所述层架(101)的内侧开设有放置槽(102)，所述层架(101)上位于放置槽(102)的外侧还开设有u型槽口(103)，所述层架(101)的两端设置有螺纹杆(201)，所述螺纹杆(201)上设置有转杆(202)，所述放置槽(102)的内侧位于螺纹杆(201)的一端安装有夹板(200)，所述夹板(200)的一侧设置有夹块(203)，所述夹块(203)的一端设置有限位杆(204)，所述限位杆(204)上安装有弹簧(207)，所述限位杆(204)的一端设置有限位板(205)，所述夹块(203)的另一端设置有橡胶垫片(206)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述夹板(200)通过螺纹杆(201)在所述u型槽口(103)内限位移动。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆专用储存架，其特征在于：所述夹板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱耿森，蔡丽虹，朱和亮，
申请(专利权)人：台舟电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：