【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磨边装置,尤其涉及一种半导体晶片磨边装置。
技术介绍
1、半导体晶片是一种由半导体材料制成的微小电子组件,通常用于集成电路中,它是电子设备中核心的基础组件之一,半导体晶片通常由硅材料制成,生产步骤包括打磨,需要使用磨边装置对晶片的外边缘进行磨边。
2、磨边装置的机台上会设置垫台,垫台上设置有夹持机构,对半导体晶片进行夹持,垫台的底部会有电机驱动垫台转动,进而会带动半导体晶片转动,将打磨机构的打磨盘靠近半导体晶片的外边缘,即可对半导体晶片进行打磨。
3、由于垫台上表面的夹持机构多为金属材料,在对半导体晶片进行夹持需要夹持在半导体晶片的上下两侧,打磨过程中若半导体晶片与夹持机构发生滑动容易刮花半导体晶片,进而提出了一种半导体晶片磨边装置。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种半导体晶片磨边装置。
2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
3、一种半导体晶片磨边装置,包括机台,所述机台的上表面上表面固定连接有支架,所述支架的中部设置有打磨机构,所述机台的内部设置有第二电机,所述第二电机的驱动端固定连接有垫台,所述垫台的上表面固定连接有圆筒,所述圆筒的内壁固定连接有气管,所述气管的上表面固定连接有支管,所述支管的顶端固定连接有吸盘,所述气管的下表面穿插设置有活塞杆,所述活塞杆的下表面铰接有滑杆,所述圆筒的外表面固定连接有第一电机,所述第一电机的驱动端固定连接有轴杆,所述轴杆的外表面固定连
4、优选地,所述支管的上下两端分别连通吸盘和气管,所述吸盘的上表面高于圆筒的上表面一至两毫米。
5、优选地,所述活塞杆设置为t型,所述活塞杆在气管内部滑动,所述活塞杆的外表面与气管的内壁之间设置有密封垫。
6、优选地,所述轴杆远离第一电机的一端活动连接在圆筒的内壁,所述椭圆板的外表面开设有滑槽,所述滑杆在滑槽的内部滑动。
7、优选地,所述圆筒的外表面开设有弧形槽,所述弧形槽连通空腔,所述推杆在弧形槽的内部滑动。
8、优选地,所述空腔的内壁设置有螺纹圈,所述螺纹圈的螺纹路径与螺纹套管的螺纹路径相同。
9、本技术具有以下有益效果:
10、1、通过第一电机驱动椭圆板转动九十度,椭圆板转动的同时带动滑杆在滑槽的内部滑动,进而会拉动活塞杆向下移动,气管内的压强减小,将半导体晶片吸附在吸盘上,达到了对半导体晶片进行吸附的效果,同时不会对半导体晶片外表面造成损坏;
11、2、通过推动推杆在弧形槽内滑动,带动螺纹套管转动,由于螺纹套管与空腔内壁为螺纹连接,进而螺纹套管转动过程中会向上移动,达到将半导体晶片向上顶起的目的,使得半导体晶片与吸盘分离,便于将半导体晶片取下。
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1.一种半导体晶片磨边装置,包括机台(1),其特征在于,所述机台(1)的上表面固定连接有支架(5),所述支架(5)的中部设置有打磨机构(6),所述机台(1)的内部设置有第二电机(7),所述第二电机(7)的驱动端固定连接有垫台(2),所述垫台(2)的上表面固定连接有圆筒(3),所述圆筒(3)的内壁固定连接有气管(9),所述气管(9)的上表面固定连接有支管(11),所述支管(11)的顶端固定连接有吸盘(12),所述气管(9)的下表面穿插设置有活塞杆(10),所述活塞杆(10)的下表面铰接有滑杆(15),所述圆筒(3)的外表面固定连接有第一电机(4),所述第一电机(4)的驱动端固定连接有轴杆(13),所述轴杆(13)的外表面固定连接有椭圆板(14),所述圆筒(3)的上表面开设有空腔(19),所述空腔(19)的内部活动连接有螺纹套管(8),所述螺纹套管(8)的外表面固定连接有推杆(17)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片磨边装置,其特征在于,所述支管(11)的上下两端分别连通吸盘(12)和气管(9),所述吸盘(12)的上表面高于圆筒(3)的上表面一至两毫米。
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1.一种半导体晶片磨边装置,包括机台(1),其特征在于,所述机台(1)的上表面固定连接有支架(5),所述支架(5)的中部设置有打磨机构(6),所述机台(1)的内部设置有第二电机(7),所述第二电机(7)的驱动端固定连接有垫台(2),所述垫台(2)的上表面固定连接有圆筒(3),所述圆筒(3)的内壁固定连接有气管(9),所述气管(9)的上表面固定连接有支管(11),所述支管(11)的顶端固定连接有吸盘(12),所述气管(9)的下表面穿插设置有活塞杆(10),所述活塞杆(10)的下表面铰接有滑杆(15),所述圆筒(3)的外表面固定连接有第一电机(4),所述第一电机(4)的驱动端固定连接有轴杆(13),所述轴杆(13)的外表面固定连接有椭圆板(14),所述圆筒(3)的上表面开设有空腔(19),所述空腔(19)的内部活动连接有螺纹套管(8),所述螺纹套管(8)的外表面固定连接有推杆(17)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片磨边装置,其特征在于,所述支管(11)的上下两...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡诚,
申请(专利权)人:深圳快捷芯半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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