【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学检测，更具体地，涉及一种衍射光栅检测装置以及检测方法。
技术介绍
1、衍射光波导是一种基于光的衍射原理引导光束传播的介质装置。在现有技术中，衍射光波导一般采用衍射光栅实现光束在波导片内的耦入、折转和耦出。其中，光栅周期作为衍射光栅的重要硬件参数，决定了光束入射到衍射光栅后的衍射方向。此外，在衍射光波导对于光束的利用效率方面，衍射光栅的衍射效率起着较大的影响。
2、因此，对于衍射光波导而言，为了优化衍射光栅的硬件参数，进而得到较好的光学成像效果，需要对衍射光栅的光栅周期及衍射效率进行实际测量。但是，目前绝大多数光栅测量系统并不具备同时测量衍射光栅的光栅周期和衍射效率的功能。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种衍射光栅检测装置，该检测装置包括：光源、分光镜、可调光栅承载台、探测器模组以及控制器。其中，光源用于产生入射光。分光镜用于部分反射入射光以形成第一光路以及用于部分透射入射光以形成第二光路。可调光栅承载台设置于第二光路上，可调光栅承载台用于承载待检测光栅并调整待检测光栅的空间位置。探测器模组设置于入射光经由分光镜出射的光路上；探测器模组包括驱动件以及至少一个光探测器，驱动件用于调节至少一个光探测器的空间位置，以使至少一个光探测器接收入射光经由第一光路出射的第一光线，并接收入射光经由第二光路出射至待检测光栅、再经由待检测光栅衍射后出射的第二光线。控制器电性连接于至少一个光探测器，并被配置为：基于入射光的波长及待检测光栅的空间位置，计算待检测光栅的光栅周期
2、本申请实施例还提供一种衍射光栅检测方法，该检测方法应用于衍射光栅检测装置，其中，衍射光栅检测装置包括光源、分光镜、可调光栅承载台、探测器模组和控制器。具体地，光源用于产生入射光，可调光栅承载台设置于入射光经由分光镜部分透射后所形成的第二光路上，并用于承载并调整待检测光栅的空间位置。该衍射光栅检测方法包括：基于入射光的波长及待检测光栅的空间位置，计算待检测光栅的光栅周期；基于第一光线的光强和第二光线的光强，计算待检测光栅的衍射效率，第一光线是指分光镜对入射光部分反射后所形成的光线；第二光线是指入射光经由第二光路出射至待检测光栅、再经由待检测光栅衍射后出射的光线。
3、本申请实施例提供一种衍射光栅检测装置以及检测方法，其中，衍射光栅检测装置包括光源、分光镜、可调光栅承载台、探测器模组和控制器。在一方面，光源产生的入射光经分光镜透射后出射的光线，经过可调光栅承载台上安装的待检测光栅时，若经待检测光栅反射的衍射光满足光栅自准直条件(也即，反射级为-1的衍射光和待检测光栅的入射光相重合)时，控制器基于此时待检测光栅的空间位置和入射光的波长能够计算出待检测光栅的光栅周期。在另一方面，探测器模组包括驱动件以及至少一个光探测器，驱动件在控制器的控制下，能够改变光探测器的空间位置，使得光探测器能够获取到入射光经分光镜反射后出射的第一光线的光强和经由待检测光栅衍射后出射的第二光线的光强，进而基于第一光线的光强和第二光线的光强，计算出待检测光栅的衍射效率。因此，本申请实施例中的衍射光栅检测装置同时具备测量衍射光栅的光栅周期和衍射效率的功能，使得衍射光栅的检测过程更加便捷和高效。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种衍射光栅检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，至少一个光探测器包括第一光探测器，所述第一光探测器设置于所述入射光经由所述分光镜出射的光路上，并连接于所述驱动件，所述第一光探测器在所述驱动件的驱动下改变空间位置时，所述第一光探测器的运动轨迹环绕在所述可调光栅承载台的外周；
3.根据权利要求1所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，至少一个光探测器包括第二光探测器和第三光探测器，所述第二光探测器设置于所述第一光路上；
4.根据权利要求1所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，至少一个光探测器包括第四光探测器和第五光探测器，所述第四光探测器设置于所述第一光路上；
5.根据权利要求1所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，至少一个光探测器包括第六光探测器、第七光探测器和第八光探测器，所述第六光探测器设置于所述第一光路上，所述第七光探测器和所述第八光探测器设置于所述第二光线所在的光路上；
6.根据权利要求1至5任一项所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，所述可调光栅承载台包括承载部和五维驱动
7.根据权利要求1至5任一项所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，所述衍射光栅检测装置还包括中继模组，所述中继模组设置在所述光源和所述分光镜之间的所述入射光的光路上；
8.一种衍射光栅检测方法，其特征在于，应用于衍射光栅检测装置，所述衍射光栅检测装置包括光源、分光镜、可调光栅承载台、探测器模组和控制器；其中，所述光源用于产生入射光，所述可调光栅承载台设置于所述入射光经由所述分光镜部分透射后所形成的第二光路上，并用于承载并调整待检测光栅的空间位置；所述衍射光栅检测方法包括：
9.根据权利要求8所述的衍射光栅检测方法，其特征在于，在所述计算所述待检测光栅的光栅周期之前，所述方法还包括：
10.根据权利要求8所述的衍射光栅检测方法，其特征在于，所述探测器模组设置于所述入射光经由所述分光镜出射的光路上，所述探测器模组包括驱动件以及至少一个光探测器，所述控制器还电性连接于所述驱动件；所述基于第一光线的光强和第二光线的光强，计算所述待检测光栅的衍射效率，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种衍射光栅检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，至少一个光探测器包括第一光探测器，所述第一光探测器设置于所述入射光经由所述分光镜出射的光路上，并连接于所述驱动件，所述第一光探测器在所述驱动件的驱动下改变空间位置时，所述第一光探测器的运动轨迹环绕在所述可调光栅承载台的外周；
3.根据权利要求1所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，至少一个光探测器包括第二光探测器和第三光探测器，所述第二光探测器设置于所述第一光路上；
4.根据权利要求1所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，至少一个光探测器包括第四光探测器和第五光探测器，所述第四光探测器设置于所述第一光路上；
5.根据权利要求1所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，至少一个光探测器包括第六光探测器、第七光探测器和第八光探测器，所述第六光探测器设置于所述第一光路上，所述第七光探测器和所述第八光探测器设置于所述第二光线所在的光路上；
6.根据权利要求1至5任一项所述的衍射光栅检测装置，其特征在于，所述可调光栅承载台包括承载部和五维驱动台，所述承载...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘雄波，严子深，赵鹏，李屹，
申请(专利权)人：深圳光峰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。