分度台转动控制方法、系统及减薄机技术方案

本发明专利技术揭示了分度台转动控制方法、系统及减薄机，其中分度台转动控制方法包括如下步骤：S1,在需要使分度盘转动预定角度时，控制同步带驱动机构的驱动电机启动并开始计时；S2,自驱动电机启动开始，持续确定是否获取到分度盘底部的输出轴下端连接的旋转编码器的转动数据，若是，则停止计时；S3,根据确定的计时时长确定所述驱动电机空转的角度；S4,在控制所述驱动电机转动所述分度盘所需转动的预定角度对应的角度后，使所述驱动电机继续转动所述驱动电机空转的角度后停止。本发明专利技术的方法能够有效地确定分度盘开始转动与驱动电机启动时间之间的时间差，从而确定出驱动电机的空转角度，进而在控制分度盘转动时进行补偿，能够改善分度盘的到位精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体器件加工领域，尤其是分度台转动控制方法、系统及减薄机。

技术介绍

1、如申请公布号为cn115338717a的专利技术专利申请所示，分度台是双轴减薄机中的重要结构。

2、授权公告号为cn207326337u的专利揭示了一种分度台，其是通过同步带机构来将电机的扭矩传递到与精密分度盘连接的轴上，从而实现精密分度盘的转动。

3、在实际使用过程中，由于同步带机构张紧力不是稳定的，会造成精密分度盘的转动角度出现偏差。而在晶圆加工时，对于精密分度盘的旋转角度有很高的要求，要求角度的到位精度需要在0.1度，这样才能满足实际加工要求。

4、现有技术中虽然可以通过皮带调节块来调节皮带的松紧度，但是角度偏差的情况仍无法避免，且现有技术无法实时确定分度盘每次转动的偏差情况，无法在线进行调整。

技术实现思路

1、本专利技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种分度台转动控制方法、系统及减薄机。

2、本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.分度台转动控制方法，所述分度台的分度盘由同步带驱动机构驱动自转，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的分度台转动控制方法，其特征在于：确定所述驱动电机空转的角度是否超过第一阈值；若是，则停机，发出警报；若否，则执行所述S4。

3.根据权利要求2所述的分度台转动控制方法，其特征在于：确定所述驱动电机空转的角度是否超过第二阈值，若是，则执行S4，若否，则控制所述驱动电机转动所述分度盘所需转动的预定角度对应的角度后停止，所述第二阈值小于所述第一阈值。

4.根据权利要求1所述的分度台转动控制方法，其特征在于：在所述驱动电机停止后，根据...

【技术特征摘要】

1.分度台转动控制方法，所述分度台的分度盘由同步带驱动机构驱动自转，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的分度台转动控制方法，其特征在于：确定所述驱动电机空转的角度是否超过第一阈值；若是，则停机，发出警报；若否，则执行所述s4。

3.根据权利要求2所述的分度台转动控制方法，其特征在于：确定所述驱动电机空转的角度是否超过第二阈值，若是，则执行s4，若否，则控制所述驱动电机转动所述分度盘所需转动的预定角度对应的角度后停止，所述第二阈值小于所述第一阈值。

4.根据权利要求1所述的分度台转动控制方法，其特征在于：在所述驱动电机停止后，根据所述旋转编码器的转动数据确定所述分度盘是否存在反向转动；在确定所述分度盘存在反向转动时，确定所述分度盘反向转动的角度是否超过第三阈值，若是，则所述驱动电机再次启动进行角度补偿；若否，则确定所述分度盘转动到位。

5.根据权利要求1-4任一所述的分度台转动控制方法，其特征在于：所述同步带驱动机构包括大带轮、小带轮及套装在它们上的同步带，所述大带轮同心连接所述输出轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：庭玉超，赵锋，葛凡，王长龙，张照阳，孙志超，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：