【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空镀膜，尤其涉及一种真空镀膜反应气体脉动充气装置。
技术介绍
1、真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，形成导电膜的技术，真空镀膜机工作时：先抽真空，使真空室处于真空状态，再通过电子枪束流对真空室底部的镀膜材料进行加热；膜料在加热到一定的温度后，膜料分子会产生挥发，挥发出的膜料分子沉积在真空室顶部的产品表面形成薄膜。
2、现有授权公告号为cn217026052u的专利，公开了一种玻璃镜片真空镀膜机用充气装置，该技术具有过滤充气时的气体，且清理滤网较为方便快捷，节省人力清理效果较好的优点。
3、上述相关技术中，通过第一电动推杆控制插槽内的安装框滑动到清理箱内的两个夹板之间，并使安装框内的滤网与夹板的毛刷接触，进行清理，滤网在清理时，镀膜机主体无法继续工作，降低了工作效率。
技术实现思路
1、针对上述问题，本技术提供一种真空镀膜反应气体脉动充气装置。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，包括真空镀膜机和设置在真空镀膜机一侧的脉动充气机，所述脉动充气机侧端设置有进气口，所述脉动充气机侧端位于进气口处固定设置有进气管，所述进气管的进口处固定设置有环形滤板，所述环形滤板上设置有与进气管相适配的滤网，所述脉动充气机外侧壁位于进气管下方固定设置有液压杆，所述液压杆的输出端固定设置有支柱，所述支柱上端固定设置有电机，所述电机的输出端固定设置有安装板，所述安装板侧壁设置
3、优选的，所述脉动充气机顶端设置有连接管，所述连接管与真空镀膜机连通。
4、优选的，所述进气管的进口处固定设置有安装环，所述环形滤板上贯穿设置有螺柱，所述环形滤板通过螺柱与安装环连接固定。
5、优选的，所述环形滤板靠近安装环一侧固定设置有用于抵触安装环的密封垫圈。
6、优选的，所述毛刷侧端固定设置有卡块，所述安装板侧端开设有与卡块卡接配合的卡槽。
7、优选的，所述脉动充气机外侧壁固定设置有两个限位杆，所述支柱底端固定设置有限位块，所述限位块上开设有用于两个限位杆滑动贯穿的通孔。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果为：
9、1、通过启动液压杆，使液压杆带动支柱和电机向滤网靠近，使毛刷接触滤网，再通过电机带动安装板和毛刷转动，对滤网表面灰尘进行清理，此时真空镀膜机和脉动充气机可正常工作，提高了工作效率。
10、2、通过螺柱对环形滤板与安装环进行连接固定，也方便拆卸环形滤板，进而清理或更换滤网，通过卡块与卡槽对毛刷与安装板进行连接固定，也方便拆卸毛刷，进而清理或更换毛刷。
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1.一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，包括真空镀膜机(1)和设置在真空镀膜机(1)一侧的脉动充气机(2)，其特征在于，所述脉动充气机(2)侧端设置有进气口，所述脉动充气机(2)侧端位于进气口处固定设置有进气管(3)，所述进气管(3)的进口处固定设置有环形滤板(4)，所述环形滤板(4)上设置有与进气管(3)相适配的滤网(5)，所述脉动充气机(2)外侧壁位于进气管(3)下方固定设置有液压杆(6)，所述液压杆(6)的输出端固定设置有支柱(7)，所述支柱(7)上端固定设置有电机(8)，所述电机(8)的输出端固定设置有安装板(9)，所述安装板(9)侧壁设置有毛刷(10)，所述毛刷(10)用于清理滤网(5)表面灰尘。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，其特征在于，所述脉动充气机(2)顶端设置有连接管(11)，所述连接管(11)与真空镀膜机(1)连通。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，其特征在于，所述进气管(3)的进口处固定设置有安装环(12)，所述环形滤板(4)上贯穿设置有螺柱(13)，所述环形滤板(4)通过螺柱(13
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，其特征在于，所述环形滤板(4)靠近安装环(12)一侧固定设置有用于抵触安装环(12)的密封垫圈(14)。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，其特征在于，所述毛刷(10)侧端固定设置有卡块(15)，所述安装板(9)侧端开设有与卡块(15)卡接配合的卡槽(16)。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，其特征在于，所述脉动充气机(2)外侧壁固定设置有两个限位杆(17)，所述支柱(7)底端固定设置有限位块(18)，所述限位块(18)上开设有用于两个限位杆(17)滑动贯穿的通孔。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，包括真空镀膜机(1)和设置在真空镀膜机(1)一侧的脉动充气机(2)，其特征在于，所述脉动充气机(2)侧端设置有进气口，所述脉动充气机(2)侧端位于进气口处固定设置有进气管(3)，所述进气管(3)的进口处固定设置有环形滤板(4)，所述环形滤板(4)上设置有与进气管(3)相适配的滤网(5)，所述脉动充气机(2)外侧壁位于进气管(3)下方固定设置有液压杆(6)，所述液压杆(6)的输出端固定设置有支柱(7)，所述支柱(7)上端固定设置有电机(8)，所述电机(8)的输出端固定设置有安装板(9)，所述安装板(9)侧壁设置有毛刷(10)，所述毛刷(10)用于清理滤网(5)表面灰尘。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜反应气体脉动充气装置，其特征在于，所述脉动充气机(2)顶端设置有连接管(11)，所述连接管(11)与真空镀膜机(1)连通。
3.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王正先，
申请(专利权)人：烟台先浩真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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