【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及线路动态蚀刻，尤其涉及一种精细线路的动态蚀刻补偿方法。
技术介绍
1、动态蚀刻是一种先进的技术，广泛应用于制造精细线路和微电子器件，其优势在于高度精密的控制和灵活性，能够实现对微小结构的精细加工，通过在材料表面引入化学反应，动态蚀刻能够以高度可控的方式改变材料的形状和特性，从而实现精细线路的制备，动态蚀刻的主要优势之一是能够实现非常细致的加工，产生更小、更密集的线路和器件。这种精密度使其在集成电路和微电子器件的制造中尤为重要，有助于提高器件性能和减小尺寸，另外，动态蚀刻还具有高度可控的加工过程，能够在不同区域实现差异化的处理，满足复杂器件的设计需求。然而传统的精细线路的动态蚀刻补偿方法存在着无法准确的掌握热损伤对蚀刻线路所造成的影响，从而影响对线路蚀刻进行补偿的问题。
技术实现思路
1、基于此，有必要提供一种精细线路的动态蚀刻补偿方法，以解决至少一个上述技术问题。
2、为实现上述目的，一种精细线路的动态蚀刻补偿方法，所述方法包括以下步骤：
3、步骤s1：利用三维激光扫描仪对蚀刻样本进行三维结构扫描，得到样本三维结构平滑模型；根据样本三维结构平滑模型进行拓扑结构特征提取，得到样本拓扑结构特征数据；
4、步骤s2：对样本拓扑结构特征数据进行样本热效应分析，得到激光蚀刻热效应数据；基于激光蚀刻热效应数据对样本拓扑结构特征数据进行结构热损伤评估，得到结构热损伤数据；根据激光蚀刻热效应数据以及结构热损伤数据进行蚀刻路径影响效应分析，得到蚀刻路
5、步骤s3：对蚀刻路径热损伤效应数据进行蚀刻路径热损伤等级计算，得到蚀刻路径热损伤等级值；当蚀刻路径热损伤等级值大于或等于预设的热损伤等级阈值时，则根据蚀刻路径热损伤效应数据进行动态蚀刻路径规划，得到动态蚀刻路径规划数据；对动态蚀刻路径规划数据进行最优路径设计，得到动态蚀刻最优路径数据；
6、步骤s4：基于动态蚀刻最优路径数据进行线路动态蚀刻补偿，得到线路动态蚀刻补偿数据。
7、本专利技术利用三维激光扫描仪对蚀刻样本进行扫描，获得了高精度的三维结构平滑模型，这为后续分析提供了真实且准确的样本几何形状和表面信息，确保了基础数据的可靠性，根据三维结构平滑模型，提取了样本的拓扑结构特征数据，这包括样本的连接关系、孔洞、边界拓扑信息，为后续分析提供了样本的抽象化表示；根据拓扑结构特征数据进行样本热效应分析，得到了激光蚀刻引起的热效应数据，这有助于全面理解激光蚀刻过程中的温度分布和热效应变化，为后续步骤提供了基础信息，利用激光蚀刻热效应数据，对样本拓扑结构特征数据进行结构热损伤评估，这提供了对样本材料在热环境下的稳定性和损伤程度的深刻理解，帮助预测潜在的结构热损伤，结合激光蚀刻热效应数据和结构热损伤数据，进行了蚀刻路径影响效应分析，得到了蚀刻路径热损失效应数据，这有助于量化蚀刻路径对结构的影响，为制定优化路径提供依据，获得的蚀刻路径热损失效应数据为后续路径规划提供了依据，使得在考虑热效应和结构损伤的基础上，可以更合理地选择和规划蚀刻路径；通过对蚀刻路径热损伤效应数据进行计算，得到了蚀刻路径热损伤等级值，这有益于量化热损伤，提供了对蚀刻路径影响的直观标准，当蚀刻路径热损伤等级值大于或等于预设的热损伤等级阈值时，启动动态蚀刻路径规划，这有益于在实时监测和响应的基础上，动态地调整蚀刻路径，以最小化热损伤。这种灵活性使系统能够根据变化的热效应情况作出实时决策；对动态蚀刻路径规划数据进行最优路径设计。这有益于在考虑热损伤等级和其他关键因素的基础上，找到最有效的路径。最优路径设计能够提高蚀刻效率、降低热效应对结构的影响，并确保最终蚀刻结果的质量，利用动态蚀刻最优路径数据进行线路动态蚀刻补偿。这有益于根据实际路径数据调整蚀刻过程，以进一步提高路径的稳定性和精度，线路动态蚀刻补偿数据的应用可以帮助提高蚀刻加工的质量和效率。通过实时监测和调整，可以减小误差，避免潜在的结构热损伤，同时确保最终加工结果的准确性和稳定性，蚀刻路径的动态调整和最优路径的设计以及线路动态蚀刻补偿数据的应用，提高了系统对加工过程的实时响应能力。这增强了系统的可控性，使其能够更灵活地适应不同的加工需求和材料特性。因此本专利技术一种精细线路的动态蚀刻补偿方法是对传统的精细线路的动态蚀刻补偿方法做出的优化处理，解决了传统的精细线路的动态蚀刻补偿方法存在着无法准确的掌握热损伤对蚀刻线路所造成的影响，从而影响对线路蚀刻进行补偿的问题，准确的掌握了热损伤对蚀刻线路所造成的影响，从而提高了对线路蚀刻进行补偿的精度。
8、优选地，步骤s1包括以下步骤：
9、步骤s11：利用三维激光扫描仪对蚀刻样本进行三维结构扫描，得到样本三维结构模型；
10、步骤s12：对样本三维结构模型进行平滑处理，得到样本三维结构平滑模型；
11、步骤s13：对样本三维结构平滑模型进行样本结构拓扑分析，得到样本拓扑结构数据；
12、步骤s14：根据样本拓扑结构数据进行拓扑结构特征提取，得到样本拓扑结构特征数据。
13、本专利技术通过三维激光扫描仪进行扫描，可以高精度地获取蚀刻样本的三维结构模型。这有益于准确了解样本的形状、尺寸和表面细节，为后续加工提供了精确的基础数据，采用激光扫描仪能够实现快速而非接触的数据采集，提高了数据获取的效率，有助于在短时间内获取大量准确的样本信息，平滑处理有助于消除激光扫描中可能存在的噪声和不规则性，使得得到的三维结构平滑模型更加符合实际形状。这有益于提高后续分析和加工的准确性，平滑处理可以简化模型，减少不必要的细节，使得后续的结构分析更加高效，拓扑分析有助于了解样本内部结构的连接关系、孔洞分布信息。这对于制定蚀刻路径、预测热效应等方面都提供了基础数据，通过拓扑分析，可以为后续的特征提取和路径规划提供指导，优化蚀刻过程，根据拓扑结构数据，提取关键的结构特征，例如孔洞、凸起、凹陷，这有助于将复杂的结构信息简化为有限的关键特征，为后续加工过程提供了更具体的方向， 提取的拓扑结构特征可用于规划蚀刻路径，使得蚀刻过程更加智能化和高效。通过考虑结构特征，可以更好地避免结构损伤，提高加工质量。
14、优选地，步骤s2包括以下步骤：
15、步骤s21：根据样本拓扑结构特征数据进行激光蚀刻模拟，得到激光蚀刻模拟数据；
16、步骤s22：根据激光蚀刻模拟数据对样本拓扑结构特征数据进行样本热效应分析，得到激光蚀刻热效应数据；
17、步骤s23：基于激光蚀刻热效应数据对样本拓扑结构特征数据进行结构热损伤评估，得到结构热损伤数据；
18、步骤s24：根据激光蚀刻热效应数据以及结构热损伤数据进行蚀刻路径影响效应分析，得到蚀刻路径热损伤效应数据。
19、本专利技术 通过根据样本拓扑结构特征数据进行激光蚀刻模拟，可以提前预测蚀刻的效果，这有益于在实际操作之前了解蚀刻过程中可能出现的形变、损伤情况，提高对加工结果的控制，模拟数据可用于优化蚀刻路径，以最大程本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤S1包括以下步骤：
3.根据权利要求1所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤S2包括以下步骤：
4.根据权利要求3所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤S22包括以下步骤：
5.根据权利要求3所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤S23包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤S231中的热效应能量分析算法如下所示：
7.根据权利要求3所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤S24包括以下步骤：
8.根据权利要求1所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤S3包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤S31中的热损伤等级计算公式如下所示：
10.根据权利要求8所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，对动
...【技术特征摘要】
1.一种精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤s1包括以下步骤：
3.根据权利要求1所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤s2包括以下步骤：
4.根据权利要求3所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤s22包括以下步骤：
5.根据权利要求3所述的精细线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，步骤s23包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的精细线路的动态蚀刻...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨常青，常利芳，
申请(专利权)人：深圳市常丰激光刀模有限公司，
类型：发明
国别省市：
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