【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及晶粒分选领域，尤其涉及一种晶粒分选设备的控制系统和控制方法。
技术介绍
1、晶粒分选设备是半导体行业一种重要设备，用于挑选出相同等级的晶粒。现有的晶粒分选设备的控制系统采用工控机+通用伺服驱动器方案，工控机上包含晶粒分选软件和运动控制卡。晶粒分选软件和运动控制卡采用pci或者pcie通信，运动控制卡和伺服驱动器需要另外的通信总线互联，运动控制上采用了两级通讯方式。由于采用了两级通信方式，晶粒分选过程中控制指令、或者数据指令从发出到被控对象的响应存在执行延迟情况，以上的缺陷在多轴协同运动中，需要增大轴运动间的安全距离以避免发生轴碰撞、针对真空操作需要延长真空稳定等待时间。
2、为了缩短晶粒分选无用的时间消耗，亟需一种新通信架构的晶粒分选设备的控制系统。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是提供一种晶粒分选设备的控制系统和控制方法，解决现有控制系统的执行分选过程中等待时间较长的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种晶粒分选设备的控制系统，包括：晶粒分选软件和片上系统，所述片上系统包括运动控制器、专用挑晶控制器和伺服驱动器，所述运动控制器与所述晶粒分选软件通信连接，所述伺服驱动器与晶粒分选设备通信连接；其中，所述晶粒分选软件用于获取晶圆图像，对所述晶圆图像进行处理获得晶粒坐标位置，发送晶粒分选指令给运动控制器；所述运动控制器用于缓存所述晶粒分选指令，并发送触发指令给所述专用挑晶控制器；所述专用挑晶控制器用于根据所述触发指令触
3、可选地，所述dma控制器采用dma链表模式将所述运动控制器内存中晶粒分选指令搬运到专用挑晶控制器内存中，将专用挑晶控制器内存中的晶粒分选指令搬运到伺服驱动器内存中。
4、可选地，所述伺服驱动器还用于跟踪所述晶粒分选设备的运动状态；所述专用挑晶控制器还用于通过自身的dma控制器将所述晶粒分选设备的运动状态搬运至专用挑晶控制器内存中，并监听所述晶粒分选设备的运动状态是否满足预设条件，当满足预设条件时，控制所述晶粒分选设备执行预操作，所述预操作包括预触发io接口。
5、可选地，所述专用挑晶控制器用于监听到晶粒分选设备的wafer模块运动时，触发晶粒分选设备的ccd相机模块的拍照io接口，使得所述ccd相机模块拍摄所述晶圆图像。
6、可选地，所述预操作还包括预动作，所述专用挑晶控制器用于监听到晶粒分选设备的wafer模块运动时，触发晶粒分选设备的ppx摆臂开始运动，使得所述wafer模块和所述ppx摆臂同时到达目标位置。
7、可选地，所述片上系统还包括同步中断控制模块，所述同步中断控制模块用于同步所述专用挑晶控制器和所述伺服驱动器的系统时钟。
8、可选地，所述晶粒分选软件位于所述片上系统中。
9、可选地，还包括：工控机，所述工控机与所述运动控制器通信连接，所述晶粒分选软件位于所述工控机中。
10、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种晶粒分选设备的控制方法，适用于前文所述的晶粒分选设备的控制系统，包括：获取晶圆图像，对所述晶圆图像进行处理获得晶粒坐标位置，发送晶粒分选指令给运动控制器；运动控制器缓存所述晶粒分选指令，并发送触发指令给专用挑晶控制器；专用挑晶控制器根据所述触发指令触发专用挑晶控制器的dma控制器将所述运动控制器内存中晶粒分选指令搬运到专用挑晶控制器内存中，将专用挑晶控制器内存中的晶粒分选指令搬运到伺服驱动器内存中；伺服驱动器根据所述晶粒分选指令进行轨迹规划，获得运动指令，将所述运动指令发送给晶粒分选设备。
11、可选地，还包括：所述伺服驱动器跟踪所述晶粒分选设备的运动状态；所述专用挑晶控制器通过自身的dma控制器将所述晶粒分选设备的运动状态搬运至专用挑晶控制器内存中，并监听所述晶粒分选设备的运动状态是否满足预设条件，当满足预设条件时，控制所述晶粒分选设备执行预操作，所述预操作包括预触发io接口。
12、可选地，当满足预设条件时，控制所述晶粒分选设备执行预操作包括：当监听到晶粒分选设备的顶针帽的剩余轨迹长度等于预设长度时，专用挑晶控制器触发顶针帽的真空电磁阀io接口，使得所述真空电磁阀为打开状态。
13、可选地，当满足预设条件时，控制所述晶粒分选设备执行预操作包括：当监听到晶粒分选设备的wafer模块运动时，专用挑晶控制器触发晶粒分选设备的ppx摆臂开始运动，使得所述wafer模块和所述ppx摆臂同时到达目标位置。
14、与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
15、本专利技术的晶粒分选设备的控制系统和控制方法，采用工控机和片上系统的新通信架构，将运动控制器、专用挑晶控制器和伺服驱动器都置于片上系统，简化了硬件架构，高度集成了控制部分；运动控制器、专用挑晶控制器和伺服驱动器之间采用直接存储器访问通信，缩减了通信延迟时间；本专利技术的晶粒分选设备的控制系统的专用挑晶控制器监听到晶粒分选设备的运动状态满足预设条件时，控制所述晶粒分选设备执行预操作，缩短了等待时间，使得晶粒分选的周期更快。
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1.一种晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述DMA控制器采用DMA链表模式将所述运动控制器内存中晶粒分选指令搬运到专用挑晶控制器内存中，将专用挑晶控制器内存中的晶粒分选指令搬运到伺服驱动器内存中。
3.如权利要求1所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，
4.如权利要求3所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述专用挑晶控制器用于监听到晶粒分选设备的顶针帽的剩余轨迹长度等于预设长度时，触发顶针帽的真空电磁阀IO接口，使得所述真空电磁阀为打开状态。
5.如权利要求3所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述专用挑晶控制器用于监听到晶粒分选设备的Wafer模块运动时，触发晶粒分选设备的CCD相机模块的拍照IO接口，使得所述CCD相机模块拍摄所述晶圆图像。
6.如权利要求3所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述预操作还包括预动作，所述专用挑晶控制器用于监听到晶粒分选设备的Wafer模块运动时，触发晶粒分选设备的PPX摆臂开始运动，使得所述W
7.如权利要求1所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述片上系统还包括同步中断控制模块，所述同步中断控制模块用于同步所述专用挑晶控制器和所述伺服驱动器的系统时钟。
8.如权利要求1所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述晶粒分选软件位于所述片上系统中。
9.如权利要求1所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，还包括：工控机，所述工控机与所述运动控制器通信连接，所述晶粒分选软件位于所述工控机中。
10.一种晶粒分选设备的控制方法，适用于如权利要求1～9任一项所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，包括：
11.如权利要求10所述的晶粒分选设备的控制方法，其特征在于，还包括：
12.如权利要求11所述的晶粒分选设备的控制方法，其特征在于，当满足预设条件时，控制所述晶粒分选设备执行预操作包括：
13.如权利要求11所述的晶粒分选设备的控制方法，其特征在于，所述预操作还包括预动作，当满足预设条件时，控制所述晶粒分选设备执行预操作包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述dma控制器采用dma链表模式将所述运动控制器内存中晶粒分选指令搬运到专用挑晶控制器内存中，将专用挑晶控制器内存中的晶粒分选指令搬运到伺服驱动器内存中。
3.如权利要求1所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，
4.如权利要求3所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述专用挑晶控制器用于监听到晶粒分选设备的顶针帽的剩余轨迹长度等于预设长度时，触发顶针帽的真空电磁阀io接口，使得所述真空电磁阀为打开状态。
5.如权利要求3所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述专用挑晶控制器用于监听到晶粒分选设备的wafer模块运动时，触发晶粒分选设备的ccd相机模块的拍照io接口，使得所述ccd相机模块拍摄所述晶圆图像。
6.如权利要求3所述的晶粒分选设备的控制系统，其特征在于，所述预操作还包括预动作，所述专用挑晶控制器用于监听到晶粒分选设备的wafer模块运动时，触发晶粒分选设备的ppx摆臂开始运动，使得所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王启超，胡跃进，李睿钦，钱进，
申请(专利权)人：实时侠智能控制技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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